一种装置及该装置的使用方法

文档序号:9859572
一种装置及该装置的使用方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种装置及该装置的使用方法。
【背景技术】
[0002]化学气相沉积(Chemical Vapor Deposit1n,CVD)维修(Repair)设备是薄膜晶体管液晶显不器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,TFT_LCD)面板领域在阵列段主要的维修设备,对阵列基板的线不良和点不良进行查看、判级和维修。其原理是通过激光的热效应和光效应,沉积钨粉对导电金属线进行连接,维修断路(Open)类不良。CVD维修设备也可以对基板上导电薄膜的金属残留物进行切割,切割后可以沉积钨粉对导电金属线进彳丁跨接,维修残留(Remain)类不良,提尚广品的良率。
[0003]如图1所示,现有技术的CVD维修设备包括加热的钨粉储藏罐、与钨粉储藏罐连接的氩气(Ar)的进气管道11,以及加热管道12、与加热管道12连接的气体腔体14、物镜15、镜筒透镜16、分离器17、波长选择器18和弯曲棱镜19,该CVD维修设备可以对阵列基板13的线不良和点不良进行查看、判级和维修。
[0004]现有技术采用该CVD维修设备对阵列基板进行维修时,存在以下问题:
[0005]第一、CVD维修设备中的钨粉储藏罐的进气口和出气口为圆柱形;进气口为圆柱形的设计吹气方向单一,局部气流量较大,会导致出气口钨粉堆积,另外也会导致部分区域无法吹到,形成饱和钨蒸气,引起的钨粉结晶和堆积;以上均会引起气体腔体内钨粉含量降低,钨粉沉积薄膜变薄。在背光不透光情况下,无法知悉维修状况,即若钨粉沉积薄膜后,背光的光会穿透该薄膜,则说明维修失败,若背光的光不穿透该薄膜,还需要保证该薄膜的厚度在不透光的情况下不能太薄,而在这种情况下,由于钨粉沉积薄膜变薄,则会导致维修失败逐渐增加;
[0006]第二、钨粉在使用过程中,目前只是记录设备的运行时间作为钨粉使用时间,而在设备运行过程中,多数时间钨粉并没在使用,而且每台设备钨粉消耗也不同,因此记录不准确,按照运行时间更换钨粉,大大降低了钨粉使用率,造成钨粉的浪费;
[0007]第三、在设备保养或异常停电过程中,钨粉管道或其它位置阻塞以及钨粉使用末期,反应气体中钨粉含量会降低,无法监控;另外,目前钨粉储藏罐的设计,即使发现沉积的薄膜明显变薄,且透光,采取的手段仅仅是更换钨粉,方法单一,不能充分确认钨粉状况,导致钨粉的浪费,影响设备嫁动。
[0008]综上所述,现有技术采用CVD维修设备对阵列基板进行维修时,钨粉在使用异常时,如:使用耗尽、管道堵塞、钨粉结晶等,钨粉无法被及时监控到,因此导致钨粉沉积的薄膜质量下降,维修失败率上升;另外,在钨粉明显发生异常下,无法进行有效的调整,只能从更换钨粉方面入手,方法单一且影响设备嫁动,影响产能。

【发明内容】

[0009]本发明实施例提供了一种装置及该装置的使用方法,用以降低对基板线路维修时失败的几率,提尚基板的品质。
[0010]本发明实施例提供的一种装置,包括粉末储藏罐和气体腔体,所述粉末储藏罐设置有出气管道,所述出气管道与所述气体腔体连接,其中,还包括监控装置、第一开关和第二开关,
[0011]所述第一开关设置在所述监控装置与所述出气管道之间,所述第二开关设置在所述监控装置与所述气体腔体之间;
[0012]所述监控装置设置在所述粉末储藏罐和所述气体腔体之间,与所述出气管道连通,用于在所述第二开关关闭,所述第一开关打开时,监控所述出气管道中单位体积内粉末的含量。
[0013]由本发明实施例提供的装置,由于该装置包括监控装置,用于在第二开关关闭,第一开关打开时,监控出气管道中单位体积内粉末的含量。本发明具体实施例通过监控装置监控粉末的含量和使用状况,与现有技术只能记录设备运行时间和观察钨粉沉积薄膜透光性记录钨粉使用状况相比,大大提高了输出的粉末的含量稳定性,保证了维修过程中薄膜的质量,提升了维修的成功率。
[0014]较佳地,所述监控装置包括:粉末收集装置、弹簧和压力传感器;
[0015]所述粉末收集装置用于,在所述第一开关打开,所述第二开关关闭时,收集所述出气管道中的气态物,并将收集到的气态物凝固为固态物;
[0016]所述压力传感器通过所述弹簧与所述粉末收集装置连接,用于在气态物凝固为固态物时,通过检测弹簧的压力,得到随时间变化的压力转化为数字信号的数值,根据预先建立的压力与单位体积的粉末含量的对应关系,得到出气管道中单位体积内粉末的含量。
[0017]较佳地,所述粉末收集装置包括:用于收集固态物的空心柱状收集器,以及与所述空心柱状收集器连接的温度调节装置,
[0018]所述温度调节装置,用于在所述第一开关打开,所述第二开关关闭时,对所述空心柱状收集器进行降温,使得气态物凝固为固态物。
[0019]较佳地,所述温度调节装置还用于,在所述第一开关关闭,所述第二开关打开时,对所述空心柱状收集器进行升温,使得收集在该空心柱状收集器中的固态物升华为气态物。
[0020]较佳地,所述温度调节装置为装有水的容器,
[0021 ]在所述第一开关打开,所述第二开关关闭时,将水的温度设置为第一预设温度,在第一预设温度下,气态物凝固为固态物;
[0022]在所述第一开关关闭,所述第二开关打开时,将水的温度设置为第二预设温度,在第二预设温度下,固态物升华为气态物。
[0023 ]较佳地,所述监控装置中设置有回收栗,用于对所述监控装置进行清洁。
[0024]较佳地,所述监控装置包括:降温装置、采样室和颗粒浓度检测仪;
[0025]所述降温装置紧邻所述采样室设置,用于在所述第一开关打开,所述第二开关关闭时,将出气管道中的气态物凝固为固态物;
[0026]所述采样室,用于收集所述固态物;
[0027]所述颗粒浓度检测仪设置在所述采样室内,用于检测所述固态物的浓度。
[0028]较佳地,所述粉末储藏罐的底端设置为一移动结构,该移动结构用于调节所述粉末储藏罐的体积;
[0029]还包括:与粉末储藏罐和所述监控装置连接的报警调节装置,所述报警调节装置用于接收所述监控装置反馈的出气管道中单位体积内粉末的含量,将单位体积内粉末的含量值与预设范围比较,当所述单位体积内粉末的含量值超出所述预设范围时,发出警报,并控制所述移动结构运动,直到警报消除。
[0030]较佳地,所述移动结构为一活塞。
[0031]较佳地,所述出气管道与所述粉末储藏罐连接的出气口的截面形状为梯形。
[0032]较佳地,所述粉末储藏罐设置有进气管道,所述进气管道用于通入惰性气体,所述进气管道与所述粉末储藏罐连接的进气口的截面形状为梯形。
[0033]较佳地,所述
再多了解一些
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