0098]报警调节装置接收监控装置反馈的出气管道中单位体积内粉末的含量，将单位体积内粉末的含量值与预设范围比较，当单位体积内粉末的含量值超出预设范围时，发出警报，并控制移动结构运动，直到警报消除。
[0099]综上所述，本发明具体实施例提供一种装置，包括粉末储藏罐和气体腔体，粉末储藏罐设置有出气管道，出气管道与气体腔体连接，其中，还包括监控装置、第一开关和第二开关，第一开关设置在监控装置与出气管道之间，第二开关设置在监控装置与气体腔体之间；监控装置设置在粉末储藏罐和气体腔体之间，与出气管道连通，用于在第二开关关闭，第一开关打开时，监控出气管道中单位体积内粉末的含量。本发明具体实施例通过监控装置监控粉末的含量和使用状况，与现有技术只能记录设备运行时间和观察钨粉沉积薄膜透光性记录钨粉使用状况相比，大大提高了输出的粉末的含量稳定性，保证了维修过程中薄膜的质量，提升了维修的成功率。
[0100]显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种装置，包括粉末储藏罐和气体腔体，所述粉末储藏罐设置有出气管道，所述出气管道与所述气体腔体连接，其特征在于，还包括监控装置、第一开关和第二开关， 所述第一开关设置在所述监控装置与所述出气管道之间，所述第二开关设置在所述监控装置与所述气体腔体之间； 所述监控装置设置在所述粉末储藏罐和所述气体腔体之间，与所述出气管道连通，用于在所述第二开关关闭，所述第一开关打开时，监控所述出气管道中单位体积内粉末的含量。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述监控装置包括:粉末收集装置、弹簧和压力传感器； 所述粉末收集装置用于，在所述第一开关打开，所述第二开关关闭时，收集所述出气管道中的气态物，并将收集到的气态物凝固为固态物； 所述压力传感器通过所述弹簧与所述粉末收集装置连接，用于在气态物凝固为固态物时，通过检测弹簧的压力，得到随时间变化的压力转化为数字信号的数值，根据预先建立的压力与单位体积的粉末含量的对应关系，得到出气管道中单位体积内粉末的含量。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述粉末收集装置包括:用于收集固态物的空心柱状收集器，以及与所述空心柱状收集器连接的温度调节装置， 所述温度调节装置，用于在所述第一开关打开，所述第二开关关闭时，对所述空心柱状收集器进行降温，使得气态物凝固为固态物。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述温度调节装置还用于，在所述第一开关关闭，所述第二开关打开时，对所述空心柱状收集器进行升温，使得收集在该空心柱状收集器中的固态物升华为气态物。5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述温度调节装置为装有水的容器， 在所述第一开关打开，所述第二开关关闭时，将水的温度设置为第一预设温度，在第一预设温度下，气态物凝固为固态物； 在所述第一开关关闭，所述第二开关打开时，将水的温度设置为第二预设温度，在第二预设温度下，固态物升华为气态物。6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述监控装置中设置有回收栗，用于对所述监控装置进行清洁。7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述监控装置包括:降温装置、采样室和颗粒浓度检测仪； 所述降温装置紧邻所述采样室设置，用于在所述第一开关打开，所述第二开关关闭时，将出气管道中的气态物凝固为固态物； 所述采样室，用于收集所述固态物； 所述颗粒浓度检测仪设置在所述采样室内，用于检测所述固态物的浓度。8.根据权利要求6或7所述的装置，其特征在于，所述粉末储藏罐的底端设置为一移动结构，该移动结构用于调节所述粉末储藏罐的体积； 还包括:与粉末储藏罐和所述监控装置连接的报警调节装置，所述报警调节装置用于接收所述监控装置反馈的出气管道中单位体积内粉末的含量，将单位体积内粉末的含量值与预设范围比较，当所述单位体积内粉末的含量值超出所述预设范围时，发出警报，并控制所述移动结构运动，直到警报消除。9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述移动结构为一活塞。10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述出气管道与所述粉末储藏罐连接的出气口的截面形状为梯形。11.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述粉末储藏罐设置有进气管道，所述进气管道用于通入惰性气体，所述进气管道与所述粉末储藏罐连接的进气口的截面形状为梯形。12.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，所述第一开关为电磁阀门；所述第二开关为电磁阀门。13.—种采用权利要求1-12任一权利要求所述的装置的使用方法，其特征在于，包括: 控制监控装置与气体腔体之间的第二开关关闭，并控制监控装置与出气管道之间的第一开关开启，监控出气管道中单位体积内粉末的含量； 控制监控装置与气体腔体之间的第二开关开启，并控制监控装置与出气管道之间的第一开关关闭，输出气体进行薄膜沉积。14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述监控装置包括:粉末收集装置、弹簧和压力传感器，所述压力传感器通过所述弹簧与所述粉末收集装置连接； 所述监控出气管道中单位体积内粉末的含量，包括: 所述粉末收集装置收集出气管道中的气态物，并将收集到的气态物凝固为固态物； 所述压力传感器通过检测所述弹簧的压力，得到随时间变化的压力转化为数字信号的数值，根据预先建立的压力与单位体积的粉末含量的对应关系，得到出气管道中单位体积内粉末的含量。15.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，粉末储藏罐的底端设置为一移动结构，该移动结构用于调节所述粉末储藏罐的体积； 还包括:与粉末储藏罐和所述监控装置连接的报警调节装置，所述监控出气管道中单位体积内粉末的含量后，所述方法还包括: 报警调节装置接收所述监控装置反馈的出气管道中单位体积内粉末的含量，将单位体积内粉末的含量值与预设范围比较，当所述单位体积内粉末的含量值超出所述预设范围时，发出警报，并控制所述移动结构运动，直到警报消除。
【专利摘要】本发明公开了一种装置及该装置的使用方法，用以降低对基板线路维修时失败的几率，提高基板的品质。所述装置包括粉末储藏罐和气体腔体，所述粉末储藏罐设置出气管道，所述出气管道与所述气体腔体连接，其中，还包括监控装置、第一开关和第二开关，监控装置设置在粉末储藏罐和气体腔体之间，与出气管道连通，用于在监控装置与气体腔体之间的气路处于关闭状态时，监控出气管道中单位体积内粉末的含量；第一开关设置在监控装置与出气管道之间，第二开关设置在监控装置与气体腔体之间。
【IPC分类】C23C16/52, C23C16/455
【公开号】CN105624650
【申请号】CN201610004251
【发明人】王海涛, 田牛, 孙文园, 高耸
【申请人】京东方科技集团股份有限公司, 合肥京东方光电科技有限公司
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2016年1月4日