近红外线截止滤光片的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及一种近红外线截止滤光片，特别是设及具备形成于基板上的电介质多 层膜的近红外线截止滤光片。
【背景技术】
[0002] 在数码照相机和数码摄像机等中使用CCD(电荷禪合元件，化argeCoup1ed Device)图像传感器和CMOS(互补金属氧化物半导体，ComplementaryMetalOxide Semicomluctor)图像传感器等（W下称为固体摄像元件）。该些固体摄像元件的光的灵敏 度特性与人类的视觉灵敏度特性相比，对红外光具有较强的灵敏度。于是，在数码照相机和 数码摄像机等中，利用近红外线截止滤光片进行光谱修正。
[0003] 作为近红外线截止滤光片，例如使用含有化"离子作为着色成分的氣磯酸类玻璃 等近红外线吸收型的彩色玻璃滤光片。然而，单靠彩色玻璃滤光片无法充分地截止近红外 区域的光，因此现在正在研究具有近红外区域的光的截止特性的电介质多层膜。
[0004] 电介质多层膜通过在透明基板上交替层叠由高折射率的电介质（例如Ti化）构成 的薄膜和由低折射率的电介质（例如Si化）构成的薄膜而形成。采用该种电介质多层膜的 近红外线滤光片利用多层膜的干设效果来实现红外光的反射，从而抑制红外光的透射。
[0005] 已知采用电介质多层膜的近红外线截止滤光片的光谱特性的入射角依赖性高。提 出了一种近红外线截止滤光片，其中，关于近红外线截止滤光片的光谱特性，将从短波长侧 的透射频带到长波长侧的反射频带的跃迁区域的透射率为50%时的波长记作半值波长的 情况下，入射角为0°的半值波长和入射角为25°的半值波长的位移量（变动量）小，入射 角依赖性得到了缓解（例如参照专利文献1)。
[0006] 现有技术文献
[0007] 专利文献
[0008] 专利文献1;日本专利特开2007-183525号公报
【发明内容】
[0009] 发明所要解决的技术问题
[0010] 近年来，由于数码照相机、手机、智能手机等电子设备的薄壁化，该些电子设备中 内置的摄像装置也进行着低型面化，光学透镜和近红外线截止滤光片和固体摄像元件彼此 之间的间隔变得非常小。因此，固体摄像元件上有来自更宽的角度的光入射。
[0011] 此外，作为固体摄像元件，越来越多地使用背面照射型CMOS传感器。背面照射型 CMOS传感器的结构是透过彩色滤光片的光不经由配线层入射至光电二极管，入射的光量 多，能进行灵敏度高的摄像。另一方面，因为不会因配线层导致光的损失，所W倾斜入射至 光电二极管的光多。
[0012] 如此，固体摄像元件存在光W比W往更大的角度入射的倾向，要求开发出具有能 应对大入射角的光透射特性的近红外线截止滤光片。
[0013] 本发明人考察了使用电介质多层膜的近红外线截止滤光片的光的入射角与光谱 特性的关系，结果发现，入射角大到超过30°的情况下，在可见波长区域内会发生当入射角 在30°W下时无法见到的透射率的局部下降。预计可见波长区域的透射率的局部下降会对 摄像图像的色调造成不良影响。
[0014] 专利文献1中记载的近红外线截止滤光片虽然能抑制入射角从0°变化至25°时 的半值波长的位移量，但根本未考虑到入射角增大时的可见波长区域的透射率的局部下降 的发生。此外，半值波长的位移和可见波长区域的透射率的局部下降随着入射角的增大，表 现出的影响更大，即便在入射角25°时能抑制入射角依赖性，在入射角超过25°时也不一 定能同样地应对。
[0015]W往，关于使用电介质多层膜的近红外线截止滤光片的光的入射角与光谱特性的 关系，认为抑制半值波长的位移量能抑制入射角依赖性。然而，如上所述，可见波长区域的 透射率的局部下降会破坏透过近红外线截止滤光片的光的颜色的平衡，导致摄像图像的色 调与外观有差异，该些现象在入射角非常大时显著地表现出来，W往完全没有考虑过。
[0016] 本发明是鉴于上述课题而完成的发明，其目的是提供一种能抑制光相对于近红外 线截止滤光片的入射角大时对摄像图像的影响的近红外线截止滤光片。
[0017] 解决技术问题所采用的技术方案
[0018] 本发明将W下的构成作为技术内容。
[0019] (1)一种近红外线截止滤光片，其具备至少透过可见波长区域的光的基板，W及在 所述基板的至少一面上的由重复层叠膜构成的红外线反射层；该重复层叠膜由高折射率膜 H和低折射率膜L构成，或者由高折射率膜H和中折射率膜M和低折射率膜L'构成，所述低 折射率膜L由波长500nm处的折射率比高折射率膜H的构成材料小的构成材料构成，所述 中折射率膜M由波长500nm处的折射率比高折射率膜H的构成材料小的构成材料构成，所 述低折射率膜L'由波长500nm处的折射率比中折射率膜M的构成材料小的构成材料构成， 其特征在于，
[0020] 具有如下所述的光透射特性：分别用下式（1)~（3)算出R区域、G区域和B区域 的平均透射率的下降率，其中的最大值和最小值之差在0. 05W下；
[0021] (T(R0)-T(R40))/T(R0) . . . (1)
[0022] (T(G0)-T(G40))/T(G0) ? ? ? (2)
[0023] (T炬0)-T炬40))/T炬0) . . . (3)
[0024] 式中，将600~620皿的波长带记作R区域，将500~560皿的波长带记作G区域， 并且将440~480皿的波长带记作B区域，
[00巧]将垂直入射条件下的R区域、G区域和B区域的各平均透射率分别记作T(R0)、 T化0)和T炬0)，
[0026]将40°入射条件下的R区域、G区域和B区域的各平均透射率分别定义为T(R40)、 T(G40)和 T炬40)。
[0027] (2) -种近红外线截止滤光片，其具备至少透过可见波长区域的光的基板，W及在 所述基板的至少一面上的由重复层叠膜构成的红外线反射层；该重复层叠膜由高折射率膜 H和低折射率膜L构成，其特征在于，
[002引具有如下所述的光透射特性：分别用下式（1)~（3)算出R区域、G区域和B区域 的平均透射率的下降率，其中的最大值和最小值之差在0. 04w下；
[0029] (T(R0)-T(R40))/T(R0) . . . (1)
[0030] (T化0)-T化40))/T化0) ? ? ? (2)
[0031] (T炬0)-T炬40))/T炬0) ? ? ? (3)
[003引式中，将600~620皿的波长带记作R区域，将500~560皿的波长带记作G区域， 并且将440~480nm的波长带记作B区域，
[0033]将垂直入射条件下的R区域、G区域和B区域的各平均透射率分别记作T(R0)、 T(GO)和T炬0)，
[0034]将40°入射条件下的R区域、G区域和B区域的各平均透射率分别定义为T(R40)、 T(G40)和T炬40)。
[00巧](3) -种近红外线截止滤光片，其具备至少透过可见波长区域的光的基板，W及在 所述基板的至少一面上的由重复层叠膜构成的红外线反射层；该重复层叠膜由高折射率膜 H和低折射率膜L构成，或者由高折射率膜H和中折射率膜M和低折射率膜L'构成，所述低 折射率膜L由波长500nm处的折射率比高折射率膜H的构成材料小的构成材料构成，所述 中折射率膜M由波长500nm处的折射率比高折射率膜H的构成材料小的构成材料构成，所 述低折射率膜L'由波长500nm处的折射率比中折射率膜M的构成材料小的构成材料构成， 其特征在于，
[0036] 具有如下所述的光透射特性；用下式（4)~（5)算出的G区域和B区域的平均透 射率的下降率均在0.09W下；
[0037] (T(G0)-T(G45))/T(G0) ? ? ? (4)
[0038] (T炬0)-T炬45))/T炬0)...巧）
[0039]式中，将500~560皿的波长带记作G区域，并且将440~480皿的波长带记作B 区域，
[0040] 将垂直入射条件下的G区域和B区域的各平均透射率分别记作T(GO)和T炬0)，
[0041]将45°入射条件下的G区域和B区域的各平均透射率分别定义为T佑45)和 T炬45)。
[0042] (4) 一种近红外线截止滤光片，其具备至少透过可见波长区域的光的基板，W及在 所述基板的至少一面上的由重复层叠膜构成的红外线反射层；该重复层叠膜由高折射率膜 H和低折射率膜L构成，其特征在于，
[0043] 具有如下所述的光透射特性；用下式（4)~（5)算出的G区域和B区域的平均透 射率的下降率均在0.09W下；
[0044] (T(G0)-T(G45))/T(G0) ? ? ? (4)
[0045] (T炬0)-T炬45))/T炬0)...巧）
[0046] 式中，将500~560皿的波长带记作G区域，并且将440~480皿的波长带记作B 区域，
[0047]将垂直入射条件下的G区域和B区域的各平均透射率分别记作T(GO)和T炬0)，
[0048] 将45°入射条件下的G区域和B区域的各平均透射率分别定义为T佑45)和 T炬45)。
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