基板检查探测装置和基板检查方法_3

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切换探测器群A侧和探测器群C侧的电连接就能确认电阻测量部12的测量值是电阻值R,则能从检查单元8对点亮用端子7a施加点亮检查用电压来实施测定用面板20的点亮检查。
[0116]另一方面,与图5所示的构成不同,在检查用端子部7与探测器9的相对位置不正常的情况(切割时使得从测定用面板20的端部到检查用端子部7的距离L大于或小于设定值的情况)下,构成检查用端子部7的端子为与探测器9a和探测器9c中的某一个接触的状态。在这种情况下,需要利用切换开关11切换探测器群A侧和探测器群C侧的电连接。
[0117]图6是示出检查用端子部7与探测器9的相对错位量小于正常值的情况下的探测器9与检查用端子部7的相对位置关系的俯视概略图。在此所说的小于正常值的情况是指例如从测定用面板20的端部到检查用端子部7的距离L小于设定值的情况。
[0118]有时会有如下情况:由于上述距离L的偏差(±0.1mm)、测定用面板20的外形定位时的偏差、探测器的位置偏差等,检查用端子部7与探测器9的相对错位量小于正常值。在这种情况下,在上述确认工序中,在利用电阻测量部12测量确认端子7b间的电阻值R时,首先,利用切换开关11将检查单元8与探测器群的电连接切换为探测器群A侧来确认测量值。
[0119]如图6所示,探测器9a的接触位置未与点亮用端子7a和确认端子7b分别对应。即,在多个探测器9a中,存在未与点亮用端子7a和确认端子7b接触的探测器9a。在这种情况下,无法测量到电阻值R作为测量值。在这样将电连接切换到探测器群A侧的状态下利用电阻测量部12测量确认端子7b间的电阻值的结果是,在无法确认电阻值R的情况下,利用切换开关11将电连接切换到探测器群C侦U。
[0120]如图6所示,探测器9c的接触位置与点亮用端子7a和确认端子7b分别对应,探测器9c分别对点亮用端子7a和确认端子7b的接触位置是正确的。因此,利用切换开关11将电连接切换到探测器群C侧,由此能确认电阻测量部12的测量值为电阻值R。如果能这样确认电阻值R,就能从检查单元8经探测器9c对点亮用端子7a施加点亮检查用电压,能实施测定用面板20的点亮检查。
[0121]图7是示出检查用端子部7与探测器9的相对错位量大于正常值的情况下的探测器9与检查用端子部7的相对位置关系的俯视概略图。在此所说的大于正常值的情况是指例如从测定用面板20的端部到检查用端子部7的距离L大于设定值的情况。
[0122]有时也会有如下情况:由于上述距离L的偏差(±0.1mm)、测定用面板20的外形定位时的偏差、探测器的位置偏差等,检查用端子部7与探测器9的相对错位量大于正常值。在这种情况下,在上述确认工序中,利用电阻测量部12测量确认端子7b间的电阻值R时,首先,利用切换开关11将检查单元8与探测器群的电连接切换为探测器群A侧来确认测量值。
[0123]如图7所示,探测器9a的接触位置与点亮用端子7a和确认端子7b分别对应,探测器9a分别对点亮用端子7a和确认端子7b的接触位置是正确的。因此,利用切换开关11将电连接切换到探测器群A侧,由此能确认电阻测量部12的测量值为电阻值R。如果能这样确认电阻值R,就能从检查单元8经探测器9a对点亮用端子7a施加点亮检查用电压,实施测定用面板20的点亮检查。
[0124]这样,根据使用本实施方式的点亮检查装置10的点亮检查方法,即使在确认工序中无法确认确认端子7b间的电阻值R的情况下,也无需调整确认端子7b与探测器9的相对位置。利用切换开关11切换检查单元8与探测器群的电连接,再次确认确认端子7b间的电阻值R。并且,在确认后,能从检查单元8经切换后的探测器群对点亮用端子7a施加点亮检查用电压,来实施测定用面板20的点亮检查。
[0125]另外,能利用切换开关11切换探测器群,确认用哪一方探测器群实施了点亮检查,由此能确认探测器9的相对位置相对于正常值向哪个方向错开。并且,能将关于该错开的确认结果反馈给测定用面板20的切割工序,使切割位置的错开方向合理化。
[0126]如以上那样,根据本实施方式的点亮检查装置和点亮检查方法,能确认多个探测器群A、C中的至少I个探测器群的电连接状态(电阻值R),由此能实施测定用面板20的点亮检查。因此,在再次调整构成检查用端子部7的端子与测器9的相对位置时,不需要对准用的CCD照相机、促动机构,能实现廉价并且可靠的检查。
[0127]〔实施方式2〕
[0128]基于图8至图11如下说明本发明的另一实施方式。此外,为了便于说明,对具有与在上述实施方式中说明的构件相同的功能的构件标注相同的附图标记,省略其说明。
[0129]图8是示出作为本实施方式的点亮检查装置1A的检查对象的检查用模块30的概要构成的俯视图。图9是示出本实施方式的点亮检查装置1A的概要构成的俯视图。图
10是示出本实施方式的点亮检查装置1A的概要构成的侧视图。图11是放大示出检查用模块30中的外部驱动用的FPC (柔性印刷电路基板)22的构成的俯视图。
[0130]如图8所示,检查用模块30具备:测定用面板20 ;以及贴合于该测定用面板20的里侧的背光源25。测定用面板20的构成与上述实施方式I同样,因此省略说明。在检查用模块30中,在测定用面板20的TFT面板基板6的形成有检查用端子部7的表面,搭载有用于驱动TFT面板基板6的IC芯片21。另外,在TFT面板基板6的上述表面,连接着外部驱动用的FPC22 (被检查基板)。外部驱动用的FPC22具备定位用的基准孔23以及驱动电极24(检查用的端子部)。
[0131]在本实施方式的点亮检查装置1A中,使检查单元8的探测器9与检查用模块30的FPC22的驱动电极24接触,施加点亮检查用电压,对检查用模块30的测定用面板20的点亮状态进行检查。点亮检查装置1A具备搭载检查用模块30的夹具部51。
[0132]如图9和图10所示,夹具部51构成为能同时搭载2个检查用模块30。此外,图9所示的夹具部51的左侧部分示出了未搭载检查用模块30的状态。右侧部分示出了搭载有检查用模块30的状态。
[0133]夹具部51包括电木板、尤尼莱特等工程塑料材料。在夹具部51中设有拐角部52、FPC基准销53以及用于定位检查用模块30的掘入部54。掘入部54设于夹具部51中的搭载检查用模块30的背光源25的区域。该掘入部54形成为与背光源25大致相同形状。拐角部52形成于掘入部54的四角。另外,FPC基准销53设于在检查用模块30搭载于夹具部51时与基准孔23对应的位置。
[0134]以下,说明使用了点亮检查装置1A的检查用模块30的点亮检查方法(基板检查方法)。
[0135]在检查用模块30的点亮检查方法的定位工序中,将检查用模块30搭载于点亮检查装置1A的夹具部51,进行测定用面板20的外形定位(定位基板的工序)。在该定位工序中,首先,将检查用模块30放入掘入部54,由此进行检查用模块30的概略定位。然后,在FPC22的定位用的基准孔23中插入FPC基准销53,由此进行检查用模块30的定位。FPC基准销53是为了将检查用模块30的FPC22定位而设置的。FPC基准销53按与FPC22的定位用的基准孔23相同直径、相同间距形成。
[0136]接下来,在探测器接触工序中,使配置在检查用模块30的FPC22的驱动电极24的上侧的检查单元8下降,使探测器9与驱动电极24接触。此外,在检查单元8中以与驱动电极24对应的方式设有多个探测器9。
[0137]图11是示出检查用模块30的外部驱动用的FPC22的概要构成的放大俯视图。FPC22中的驱动电极24由光刻技术形成,以高精度加工。另外,基准孔23由冲切加工形成。
[0138]如图11所示,驱动电极24具备:用于进行点亮检查的点亮用端子24a ;以及用于确认与探测器9的接触位置的确认端子24b。在驱动电极24中,点亮用端子24a和确认端子24b排列成一列,在点亮用端子24a的两侧分别配置有2个确认端子24b。并且,相邻的2个确认端子24b间的电连接为短路的状态。此外,附图虽未示出,但是在点亮检查装置1A中,设有用于确认相邻的2个确认端子24b间的短路(规定的电连接状态)的短路确认部。
[0139]在此,驱动电极24以高精度形成,而通过冲切加工形成的基准孔23会发生冲切模具的加工精度、冲切模具的定位精度的偏差。由于该偏差,驱动电极24与基准孔23之间的距离L会相对于设定值产生±0.1mm程度的偏差。而且,也会发生如下情况:由于FPC基准销53的位置精度、探测器9的位置的偏差等,在上述探测器接触工序中,在使检查单元8的探测器9下降时,探测器9不与驱动电极24接触。
[0140]因此,在检查用模块30的点亮检查方法中,在确认工序中,确认探测器9与驱动电极24之间有无错位。
[0141]探测器9是与上述图5所示的构成同样的构成,包括:包括多个探测器9a的探测器群A ;以及包括多个探测器9c的探测器群C。在本实施方式中,构成探测器群A的探测器9a按照构成驱动电极24的端子(点亮用端子24a和确认端子24b)的排列间距而配置,这一点与上述图5所示的构成不同。同样,构成探测器群C的探测器9c按照构成驱动电极24的端子的排列间距而配置。另外,在检查单元8中,对构成驱动电极24的端子分别设有切换开关11 (切换部)。该切换开关11切换检查单元8与探测器群A、C的电连接。
[0142]利用上述探测器接触工序,使点亮用端子24a和确认端子24b成为与探测器9接触的状态。在上述确认工序中,确认相邻的2个确认端子24b间的短路(规定的电连接状态)。在此,探测器9与点亮用端子24a和确认端子24b分别相对应地设置。因此,在探测器9分别对点亮用端子24a和确认端子24b的接触位置正确的情况下,即,存在对点亮用端子24a和确认端子24b分别接触的探测器9的情况下,确认相邻的2个确认端子24b间的短路。因此,通过确认分别配置在点亮用端子24a的两侧的相邻的2个确认端子24b间的短路,能确认探测器9与驱动电极24之间有无错位。
[0143]在上述确认工序中,首先,利用切换开关11将检查单元8与探测器群的电连接切换为探测器群A侧,确认相邻的2个确认端子24b间的短路(切换工序、确认工序)。
[0144]并且,在探测器9a分别对点亮用端子24a和确认端子24b的接触位置正确的情况下,确认相邻的2个确认端子24b间的短路。如果能确认相邻的2个确认端子24b间的短路,则探测器9a与驱动电极24之间没有错位。
[0145]在确认工序中确认了探测器9a与驱动电极24之间没有错位时,从检查单元8对点亮用端子24a施加点亮检查用电压,实施检查用模块30的点亮检查(检查工序)。
[0146]另外,在确认工序中无法确认相邻的2个确认端子24b间的短路的情况下,在切换工序中,利用切换开关11将检查单元8与探测器群的电连接切换到探测器群C侧,确认相邻的2个确认端子24b间的短路(规定的电连接状态)。并且,在确认短路后,从检查单元8对点亮用端子24a施加点亮检查用电压,实施检查用模块30的点亮检查。
[0147]在此,本实施方式中,构成探测器群A的探测器9a与构成探测器群C的探测器9c之间的错开量根据构成驱动电极24的端子的宽
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