探测器9g合计4个引脚的探测器的状态，其它点亮用端子7a成为仅连接着I个引脚的探测器9a、9c的状态。
[0185]如图15那样，在检查用端子部7与探测器9的相对位置正常的情况下，点亮用端子7a为与属于探测器群A的探测器9a、属于探测器群C的探测器9c和属于探测器群G的探测器9g全部接触的状态。
[0186]另外，检查单元8中对构成检查用端子部7的点亮用端子7a分别设有切换开关
11(切换部)。而且，仅对设有探测器9g的外端的点亮用端子7a设有开关SW1。
[0187]该切换开关11切换检查单元8与探测器群A、C的电连接。即，切换开关11将与检查单元8电连接的探测器群从探测器群A切换为探测器群C，或者从探测器群C切换为探测器群A。因此，探测器群A、C经过切换开关11与检查单元8连接。本实施方式的点亮检查方法包括切换工序，针对构成检查用端子部7的各点亮用端子7a，将与检查单元8电连接的探测器群从探测器群A切换为探测器群C，或者从探测器群C切换为探测器群A。
[0188]另外，探测器9a和探测器9c按与构成检查用端子部7的点亮用端子7a相同的间距配置。而且，探测器9a和探测器9c在与同一点亮用端子7a接触的范围中错开配置位置。优选探测器9a和探测器9c相对于同一点亮用端子7a隔着该点亮用端子7a的中央线配置于两侧。
[0189]在图15所示的构成中，例如，端子宽度W(参照图14)为0.25mm，探测器9a和探测器9c的错开量为0.2mm。另一方面，探测器9g相对于探测器9a距离0.066mm配置，使2个引脚的探测器9g为相对于探测器9a、9c的错开量0.2_等间隔地配置的状态。因此，在如图15那样检查用端子部7与探测器9的相对位置正常的情况下，点亮用端子7a为与属于探测器群A的探测器9a和属于探测器群C的探测器9c两者接触的状态。另外，外端的点亮用端子7a为与属于探测器群A的探测器9a、属于探测器群C的探测器9c和属于探测器群G的探测器9g全部接触的状态。
[0190]2个引脚构成的探测器9g经开关SWl经电阻测量部12与切换开关11的上游侧(检查单元8侧)连接。
[0191]在具备图15所示的构成的本实施方式的点亮检查装置中，在上述确认工序中，利用电阻测量部12测量连接有4个引脚的探测器9a、9c、9g的各检查用端子部7的外端的点亮用端子7a的电阻值R。此时，首先，在使开关SWl为导通状态后，利用切换开关11将检查单元8与探测器群的电连接切换为探测器群A侧来确认测量值(切换工序、确认工序)。
[0192]并且，在探测器9a对点亮用端子7a的接触位置正确的情况下，测量值表示电阻值Ro如果能确认测量值为电阻值R，则探测器9a与检查用端子部7之间没有错位。
[0193]确认工序中探测器9a与检查用端子部7之间没有错位时，切断开关SW1，从检查单元8对点亮用端子7a施加点亮检查用电压，实施测定用面板20的点亮检查(检查工序)。
[0194]另外，在确认工序中无法确认连接着4个引脚的探测器的点亮用端子7a间的电阻值R的情况下，在切换工序中将开关SWl设为导通状态后，利用切换开关11将检查单元8与探测器群的电连接切换到探测器群C侧来确认电阻测量部12的测量值。
[0195]在此，在图15所示的构成中，如上所述，各检查用端子部7的外端的点亮用端子7a为与属于探测器群A的探测器9a、属于探测器群C的探测器9c和属于探测器群G的探测器9g全部接触的状态。因此，在上述确认工序中，在将开关SWl设为导通状态的状态下，利用切换开关11切换到包括探测器9a的探测器群A侧或者切换到包括探测器9c的探测器群C侦U，电阻测量部12的测量值都示出电阻值R。因此，如果不需要利用切换开关11切换探测器群A侧和探测器群C侧的电连接就能确认电阻测量部12的测量值为电阻值R，则能切断开关SW1，从检查单元8对点亮用端子7a施加点亮检查用电压，实施测定用面板20的点亮检查。
[0196]另一方面，与图15所示的构成不同，在检查用端子部7 (点亮用端子7a)与探测器9的相对位置不正常的情况(切割时使得从测定用面板20的端部到检查用端子部7的距离L(参照图14)大于或者小于设定值的情况)下，点亮用端子7a为与探测器9a和探测器9c中的某一个接触的状态。而且，为与2个引脚的探测器9g中的至少一方接触的状态。在这种情况下，需要利用切换开关11切换探测器群A侧和探测器群C侧的电连接。
[0197]图16是示出检查用端子部7与探测器9的相对错位量小于正常值的情况下的探测器9与检查用端子部7的相对位置关系的俯视概略图。在此所说的小于正常值的情况是指例如从测定用面板20的端部到检查用端子部7的距离L (参照图14)小于设定值的情况。
[0198]在具备图16所示的构成的本实施方式的点亮检查装置中，在上述确认工序中，也利用电阻测量部12测量连接着4个引脚的探测器9a、9c、9g的各检查用端子部7的外端的点亮用端子7a的电阻值R。此时，首先，在将开关SWl设为导通状态后，利用切换开关11将检查单元8与探测器群的电连接切换为探测器群A侧来确认测量值(切换工序、确认工序)。
[0199]并且，在探测器9a对点亮用端子7a的接触位置正确的情况下，测量值表示电阻值Ro如果能确认测量值为电阻值R，则探测器9a与检查用端子部7之间没有错位。
[0200]但是，有时会由于上述距离L的偏差(±0.1mm)、测定用面板20的外形定位时的偏差、探测器的位置偏差等导致图16所示检查用端子部7 (点亮用端子7a)与探测器9的相对错位量小于正常值的情况。在这种情况下，在上述确认工序中，利用电阻测量部12测量连接着4个引脚的探测器9a、9c、9g的各检查用端子部7的外端的点亮用端子7a的电阻值Ro此时，首先，在将开关SWl设为导通状态后，利用切换开关11将检查单元8与探测器群的电连接切换为探测器群A侧来确认测量值(切换工序、确认工序)。
[0201]如图16所示，探测器9a的接触位置与各点亮用端子7a对应，各探测器9a对点亮用端子7a的接触位置是正确的。因此，在将开关SWl设为导通状态的状态下，利用切换开关11将电连接切换到探测器群A侧，由此能确认电阻测量部12的测量值为电阻值R。如果能这样确认电阻值R，则能切断开关SW1，从检查单元8经探测器9a对点亮用端子7a施加点亮检查用电压，实施测定用面板20的点亮检查。在这种情况下，不需要为了确认电阻值R而利用切换开关11将电连接切换到探测器群C侦U。
[0202]与此相对，如图16所示，探测器9c的接触位置未与各点亮用端子7a对应。S卩，在多个探测器9c中存在未与点亮用端子7a接触的探测器9c。在这种情况下，在将开关SWl设为导通状态的状态下，利用切换开关11切换到包括探测器9c的探测器群C侧时，测量各检查用端子部7的外端的点亮用端子7a的电阻值R。在这样将电连接切换到探测器群C侧的状态下，利用电阻测量部12测量各检查用端子部7的外端的点亮用端子7a的电阻值R，结果无法确认电阻值R的情况下，利用切换开关11将电连接切换到探测器群A侧。由此，如上所述，能确认电阻值R，因此能实施测定用面板20的点亮检查。
[0203]这样，根据本实施方式的点亮检查方法，在确认工序中，在无法确认各检查用端子部7的外端的点亮用端子7a的电阻值R的情况下，也不需要调整点亮用端子7a与探测器9的相对位置。即，在由于错位而与电阻测量部12连接的探测器9与点亮用端子7a不对应的情况下，也不需要调整点亮用端子7a与探测器9的相对位置。在这种情况下，在将开关Sffl设为导通状态的状态下，利用切换开关11切换检查单元8与探测器群A或者探测器群C的电连接，确认各检查用端子部7的外端的点亮用端子7a的电阻值R。并且，在确认了电阻值R后，能经从检查单元8切换的探测器群A或者探测器群C对全部的点亮用端子7a施加点亮检查用电压，实施测定用面板20的点亮检查。
[0204]因此，根据本实施方式的点亮检查装置和点亮检查方法，在未如实施方式I那样形成确认端子7b (位置确认用端子部)的测定用面板20中，也能确认探测器9的接触位置。即，各检查用端子部7的外端的点亮用端子7a发挥点亮检查用和确认探测器9的接触位置用这2个功能。由此，不需要另外设置确认端子7b，因此能简化点亮检查装置的构成。此外，在本实施方式中确认了各检查用端子部7的外端的点亮用端子7a的电阻值R，但是确认电阻值R的点亮用端子7a不限于此，任一个点亮用端子7a都可以。
[0205]而且，利用切换开关11切换探测器群A、C，确认由哪个探测器群实施了点亮检查，由此能确认探测器9的相对位置相对于正常值向哪个方向错开。并且，将与该错开有关的确认结果反馈给测定用面板20的切割工序，能使切割位置的错开方向合理化。
[0206]如以上那样，根据本实施方式的点亮检查装置和点亮检查方法，能通过确认多个探测器群A、C中的至少I个探测器群的电连接状态(电阻值R)来实施测定用面板20的点亮检查。因此，在再次调整构成检查用端子部7的点亮用端子7a与探测器9的相对位置时，不需要对准用的CCD照相机、促动机构就能实现廉价并且可靠的检查。
[0207]〔总结〕
[0208]本发明的实施方式I的基板检查探测装置(点亮检查装置10、10A)具备检查单元8，上述检查单元8具有与被检查基板(TFT面板基板6、FPC22)上的检查用的端子部(检查用端子部7、驱动电极24)接触的探测器9，上述基板检查探测装置(点亮检查装置10、10A)检查上述端子部(检查用端子部7、驱动电极24)与上述探测器9的导通，具备多个按照构成上述端子部(检查用端子部7、驱动电极24)的多个端子(点亮用端子7a、24a，确认端子7b,24b)各彼此的排列间距P而配置的探测器群A、C，上述探测器群A、C彼此在端子(点亮用端子7a、24a，确认端子7b、24b)的排列方向上错开配置，设有:连接状态确认部(电阻测量部12)，其确认上述多个探测器群A、C中的至少I个探测器群的电连接状态；以及切换部(切换开关11)，其针对各端子(点亮用端子7a、24a，确认端子7b、24b)将与上述与检查单元8电连接的探测器群切换为其它探测器群。
[0209]根据上述构成，在确认检查用的端子部(检查用端子部7、驱动电极24)与探测器9的接触的确认工序中，在无法确认探测器群A、C中的一方电连接状态的情况下，也不需要调整端子部(检查用端子部7、驱动电极24)与探测器9的相对位置。只要利用上述切换部(切换开关11)将检查单元8与探测器群A、C的电连接切换为另一方探测器群，确认再次切换的探测器群的电连接状态即可。并且，在确认后，能从检查单元8经切换后的探测器群实施被检查基板(TFT面板基板6、FPC22)的导通检查。
[0210]如以上那样，根据上述构成，在再次调整端子与探测器9的相对位置时，不需要对准用的CXD照相机、促动机构就能实现检查。
[0211]本发明的实施方式2的基板检查探测装置(点亮检查装置10，10A)也可以构成为，在上述实施方式I中，上述连接状态确认部在上述多个端子(点亮用端子7a)中的I个端子内确认规定的电连接状态。
[0212]根据上述构成，连接状态确认部在I个端子内确认电连接状态，因此能简便地实施基板检查。<