4的整数，η 2是1~5的整数， η。是0~4的整数。）
[0180] 本实施方式的抗蚀剂组合物包含含有抗蚀基材的固体成分和溶剂，该抗蚀基材含 有式（1)所示的化合物和式（3)所示的化合物。另外，本实施方式的抗蚀剂组合物含有固 体成分1~80质量％和溶剂20~99质量％。本实施方式的抗蚀剂组合物更优选含有固 体成分1~50质量％和溶剂50~99质量％，进一步优选含有固体成分1~40质量％和 溶剂60~99质量％，特别优选含有固体成分1~10质量％和溶剂90~99质量％。
[0181] 前述式（1)所示的化合物在抗蚀基材中所占的比例为65~99质量％，从抗蚀图 案形状的观点考虑，优选为70~99质量％、更优选为80~99质量％、进一步优选为90~ 99质量％。
[0182] 前述式（3)所示的化合物与式（1)所示的化合物的质量比率为0. 01~0. 53,从抗 蚀图案形状的观点考虑，优选为0.0 l~0. 30、更优选为0.0 l~0. 20、进一步优选为0.0 l~ 0· 15〇
[0183] 本实施方式的抗蚀剂组合物可以通过旋涂形成非晶膜。旋涂本实施方式的抗蚀 剂组合物而形成的非晶膜在23°C的显影液中的溶解速度优选为 1()人/彳沙以上、更优选为 10~1000 OA/秒、进一步优选为100~1000 A/秒。溶解速度为10 A/秒以上时，在显影液 中的溶解性变得更良好，有形成更良好的抗蚀剂的倾向。另外，具有10000A/秒以下的溶 解速度时，有时分辨率也提高。推测这是由于，前述化合物的混合物的曝光前后的溶解性的 变化，导致溶解于显影液的未曝光部与不溶解于显影液的曝光部的界面的对比度变大。另 外，有LER的降低、缺陷的降低效果。
[0184] 旋涂本实施方式的抗蚀剂组合物而形成的非晶膜通过KrF准分子激光、超紫外 线、电子束或X射线等辐射线进行了曝光的部分在23 tC的显影液中的溶解速度优选为 5A/秒以下、更优选为0.05~5A/秒、进一步优选为〇,〇〇〇5~5A/秒。对于在2〇~25〇°C 下加热后的前述非晶膜在显影液中的溶解速度也相同。该溶解速度为5A/f少以下时，不溶 于显影液，有形成更良好的抗蚀剂的倾向。另外，具有0.0005M少以上的溶解速度时，有时 分辨率也提高。推测这是由于，前述化合物的混合物的微小的表面部位溶解，使LER降低。 另外，有缺陷的降低效果。
[0185] 抗蚀基材优选为固体成分总质量（抗蚀基材、产酸剂（C)、酸交联剂（G)、酸扩散 控制剂（E)及其它成分（F)等任意使用的固体成分的总和，以下相同）的20~99. 498质 量％。更优选为30~90质量％、进一步优选为40~80质量％、特别优选为50~70质 量％。为上述配混比例时，有得到更高分辨率的倾向，有线边缘粗糙度变得更小的倾向。
[0186] 本实施方式的抗蚀剂组合物优选含有一种以上的产酸剂（C)，所述产酸剂（C)通 过照射选自可见光线、紫外线、准分子激光、电子束、超紫外线（EUV)、X射线和离子束中的 任意一种辐射线而直接地或间接地产生酸。产酸剂（C)的用量优选为固体成分总质量的 0. 001~49质量％、更优选为1~40质量％、进一步优选为3~30质量％、特别优选为 10~25质量％。通过在上述范围内使用，有得到更高灵敏度、且低边缘粗糙度的图案轮廓 的倾向。本实施方式中，只要在体系内产生酸，则对酸的产生方法没有特别限定。如果使用 准分子激光代替g射线、i射线等紫外线，则可以进行更微细加工，另外如果使用电子束、超 紫外线、X射线、离子束作为高能量射线，则可以进行更微细加工。
[0187] 作为前述产酸剂（C)，优选为选自由下式（7-1)~（7-8)所示的化合物组成的组中 的至少一种。
[0188]
[0189] (式（7-1)中，R13任选相同或不同，分别独立地为氢原子、直链状、支链状或环状烷 基、直链状、支链状或环状烷氧基、羟基或卤原子；X为具有烷基、芳基、卤素取代烷基或卤 素取代芳基的磺酸根离子或卤化物离子。）
[0190] 前述式（7-1)所示的化合物没有特别限定，优选为选自由三苯基锍三氟甲烷磺 酸酯、三苯基锍九氟-正丁烷磺酸酯、二苯基甲苯基锍九氟-正丁烷磺酸酯、三苯基锍全 氟-正辛烷磺酸酯、二苯基-4-甲基苯基锍三氟甲烷磺酸酯、二-2, 4, 6-三甲基苯基锍三 氟甲烷磺酸酯、二苯基-4-叔丁氧基苯基锍三氟甲烷磺酸酯、二苯基-4-叔丁氧基苯基锍 九氟-正丁烷磺酸酯、二苯基-4-羟基苯基锍三氟甲烷磺酸酯、双（4-氟苯基）-4-羟基苯 基锍三氟甲烷磺酸酯、二苯基-4-羟基苯基锍九氟-正丁烷磺酸酯、双（4-羟基苯基）-苯 基锍三氟甲烷磺酸酯、三（4-甲氧基苯基）锍三氟甲烷磺酸酯、三（4-氟苯基）锍三氟甲 烷磺酸酯、三苯基锍对甲苯磺酸酯、三苯基锍苯磺酸酯、二苯基-2, 4, 6-三甲基苯基锍-对 甲苯磺酸酯、二苯基-2, 4, 6-三甲基苯基锍-2-三氟甲基苯磺酸酯、二苯基-2, 4, 6-三甲基 苯基锍-4-三氟甲基苯磺酸酯、二苯基-2, 4, 6-三甲基苯基锍-2, 4-二氟苯磺酸酯、二苯 基-2, 4, 6-三甲基苯基锍六氟苯磺酸酯、二苯基萘基锍三氟甲烷磺酸酯、二苯基-4-羟基苯 基锍-对甲苯磺酸酯、三苯基锍IO -樟脑磺酸酯、二苯基-4-羟基苯基锍10-樟脑磺酸酯和 环（1，3-全氟丙烷二磺酸）亚胺盐组成的组中的至少一种。
[0192] (式（7-2)中，R14任选相同或不同，分别独立地表示氢原子、直链状、支链状或环状 烷基、直链状、支链状或环状烷氧基、羟基或卤原子。X与式（7-1)的X同样。）
[0193] 前述式（7-2)所示的化合物没有特别限定，优选为选自由双（4-叔丁基苯基）碘 鑰三氟甲烷磺酸酯、双（4-叔丁基苯基）碘鑰九氟正丁烷磺酸酯、双（4-叔丁基苯基）碘鑰 全氟正辛烷磺酸酯、双（4-叔丁基苯基）碘鑰对甲苯磺酸酯、双（4-叔丁基苯基）碘鑰苯磺 酸酯、双（4-叔丁基苯基）碘鑰-2-三氟甲基苯磺酸酯、双（4-叔丁基苯基）碘鑰-4-三氟 甲基苯磺酸酯、双（4-叔丁基苯基）碘鑰-2, 4-二氟苯磺酸酯、双（4-叔丁基苯基）碘鑰六 氟苯磺酸酯、双（4-叔丁基苯基）碘鑰10-樟脑磺酸酯、二苯基碘鑰三氟甲烷磺酸酯、二苯 基碘鑰九氟正丁烷磺酸酯、二苯基碘鑰全氟正辛烷磺酸酯、二苯基碘鑰对甲苯磺酸酯、二苯 基碘鑰苯磺酸酯、二苯基碘鑰10-樟脑磺酸酯、二苯基碘鑰-2-三氟甲基苯磺酸酯、二苯基 碘鑰-4-三氟甲基苯磺酸酯、二苯基碘鑰-2, 4-二氟苯磺酸酯、二苯基碘鑰六氟苯磺酸酯、 二（4-三氟甲基苯基）碘鑰三氟甲烷磺酸酯、二（4-三氟甲基苯基）碘鑰九氟正丁烷磺酸 酯、二（4-三氟甲基苯基）碘鑰全氟正辛烷磺酸酯、二（4-三氟甲基苯基）碘鑰对甲苯磺酸 酯、二（4-三氟甲基苯基）碘鑰苯磺酸酯以及二（4-三氟甲基苯基）碘鑰10-樟脑磺酸酯 组成的组中的至少一种。
[0195] (式（7-3)中，Q为亚烷基、亚芳基或亚烷氧基，R15为烷基、芳基、卤素取代烷基或 卤素取代芳基。）
[0196] 前述式（7-3)所示的化合物没有特别限定，优选为选自由N-(三氟甲基磺酰氧基） 琥珀酰亚胺、N-(三氟甲基磺酰氧基）邻苯二甲酰亚胺、N-(三氟甲基磺酰氧基）二苯基马 来酰亚胺、N-(三氟甲基磺酰氧基）双环[2.2. 1]庚-5-烯-2, 3-二甲酰亚胺、N-(三氟甲 基磺酰氧基）萘基酰亚胺、N-(K)-樟脑磺酰氧基）琥珀酰亚胺、N-(K)-樟脑磺酰氧基）邻 苯二甲酰亚胺、N-(l〇-樟脑磺酰氧基）二苯基马来酰亚胺、N-(l〇-樟脑磺酰氧基）双环 [2. 2. 1]庚-5-烯-2, 3-二甲酰亚胺、N-(l〇-樟脑磺酰氧基）萘基酰亚胺、N-(正辛烷磺酰 氧基）双环[2.2. 1]庚-5-烯-2, 3-二甲酰亚胺、N-(正辛烷磺酰氧基）萘基酰亚胺、N-(对 甲苯磺酰氧基）双环[2.2. 1]庚-5-烯-2, 3-二甲酰亚胺、N-(对甲苯磺酰氧基）萘基酰亚 胺、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基）双环[2.2. 1]庚-5-烯-2, 3-二甲酰亚胺、N-(2-三氟甲 基苯磺酰氧基）萘基酰亚胺、N-(4-三氟甲基苯磺酰氧基）双环[2.2. 1]庚-5-烯-2, 3-二 甲酰亚胺、N-(4-三氟甲基苯磺酰氧基）萘基酰亚胺、N-(全氟苯磺酰氧基）双环[2. 2. 1] 庚-5-烯-2, 3-二甲酰亚胺、N-(全氟苯磺酰氧基）萘基酰亚胺、N-(l-萘磺酰氧基）双环 [2. 2. 1]庚-5-烯-2, 3-二甲酰亚胺、N-(l-萘磺酰氧基）萘基酰亚胺、Ν-(九氟正丁烷磺 酰氧基）双环[2. 2. 1]庚-5-烯-2, 3-二甲酰亚胺、N-(九氟正丁烷磺酰氧基）萘基酰亚 胺、N-(全氟正辛烷磺酰氧基）双环[2.2. 1]庚-5-烯-2, 3-二甲酰亚胺以及Ν-(全氟正 辛烷磺酰氧基）萘基酰亚胺组成的组中的至少一种。
[0198] (式（7-4)中，R16任选相同或不同，分别独立地为被任选取代的直链、支链或者环 状烷基、被任选取代的芳基、被任选取代的杂芳基或被任选取代的芳烷基。）
[0199] 前述式（7-4)所示的化合物没有特别限定，优选为选自由二苯基二砜、二（4-甲基 苯基）二砜、二萘基二砜、二（4-叔丁基苯基）二砜、二（4-羟基苯基）二砜、二（3-羟基萘 基）二砜、二（4-氟苯基）二砜、二（2-氟苯基）二砜以及二（4-三氟甲基苯基）二砜组成 的组中的至少一种。
[0201] (式（7-5)中，R17任选相同或不同，分别独立地为被任选取代的直链、支链或者环 状烷基、被任选取代的芳基、被任选取代的杂芳基或被任选取代的芳烷基。）
[0202] 前述式（7-5)所示的化合物没有特别限定，优选为选自由α -(甲基磺酰氧基亚 氨基）-苯基乙腈、α-(甲基磺酰氧基亚氨基）-4_甲氧基苯基乙腈、α -(三氟甲基磺酰氧 基亚氨基）_苯基乙腈、α-(三氟甲基磺酰氧基亚氨基）-4_甲氧基苯基乙腈、α-(乙基磺 酰氧基亚氨基）-4_甲氧基苯基乙腈、α_(丙基磺酰氧基亚氨基）-4_甲基苯基乙腈以及 α -(甲基磺酰氧基亚氨基）-4_溴苯基乙腈组成的组中的至少一种。
[0204] (式（7-6)中，Ris任选相同或不同，分别独立地为具有1个以上氯原子和1个以上 溴原子的卤化烷基。卤化烷基的碳原子数优选为1~5。）
[0205]
[0206] 式（7-7)和（7-8)中，R19和R2°分别独立地为甲基、乙基、正丙基、异丙基等碳原 子数1~3的烷基；环戊基、环己基等环烷基；甲氧基、乙氧基、丙氧基等碳原子数1~3的 烷氧基；或苯基、甲苯甲酰基、萘基等芳基；优选为碳原子数6~10的芳基。L 19以及L 2°分 别独立地为具有1，2-萘醌二叠氮基的有机基团。作为具有1，2-萘醌二叠氮基的有机基团 没有特别限定，具体而言，优选1，2-萘醌二叠氮基-4-磺酰基、1，2-萘醌二叠氮基-5-磺 酰基、1，2-萘醌二叠氮基-6-磺酰基等1，2-苯醌二叠氮基磺酰基。特别优选1，2-萘醌二 叠氮基-4-磺酰基以及1，2-萘醌二叠氮基-5-磺酰基。p为1~3的整数、q为0~4的 整数并且1彡P+q彡5。J 19为单键、碳原子数1~4的多亚甲基、环亚烷基、亚苯基、下式 (7-7-1)所示的基团、羰基、酯基、酰胺基或醚基，Y 19为氢原子、烷基或芳基，X 2°分别独立地 为下式（7-8-1)所示的基团。
[0208] (式（7-8-1)中，Z22分别独立地为烷基、环烷基或芳基，R22为烷基、环烷基或烷氧 基，r为0~3的整数。）
[0209] 作为其它的产酸剂，没有特别限定，可列举出例如：双（对甲苯磺酰基）重氮甲烷、 双（2, 4-二甲基苯基磺酰基）重氮甲烷、双（叔丁基磺酰基）重氮甲烷、双（正丁基磺酰基） 重氮甲烷、双（异丁基磺酰基）重氮甲烷、双（异丙基磺酰基）重氮甲烷、双（正丙基磺酰 基）重氮甲烷、双（环己基磺酰基）重氮甲烷、双（异丙基磺酰基）重氮甲烷、1，3-双（环 己基磺酰基偶氮甲基磺酰基）丙烷、1，4-双（苯基磺酰基偶氮甲基磺酰基）丁烷、1，6-双 (苯基磺酰基偶氮甲基磺酰基）己烷、1，10-双（环己基磺酰基偶氮甲基磺酰基）癸烷等双 磺酰基重氮甲烷类；2-(4-甲氧基苯基）-4, 6-(双三氯甲基）-1，3, 5-三嗪、2-(4-甲氧基萘 基）-4, 6-(双三氯甲基）-1，3, 5-三嗪、三（2, 3-二溴丙基）-1，3, 5-三嗪、三（2, 3-二溴丙 基）异氰脲酸酯等含卤素的三嗪衍生物等。
[0210] 上述产酸剂中，优选具有芳香环的产酸剂，更优选式（7-1)或（7-2)所示的产酸 剂。进一步优选具有式（7-1)或（7-2)的X为具有芳基或者卤素取代芳基的磺酸根离子的 产酸剂，特别优选具有式（7-1)或（7-2)的X为具有芳基的磺酸根离子的产酸剂，特别优选 为二苯基三甲基苯基锍对甲苯磺酸酯、三苯基锍对甲苯磺酸酯、三苯基锍三氟甲烷磺酸酯、 三苯基锍九氟甲烷磺酸酯。通过使用该产酸剂，有进一步降低LER的倾向。
[0211] 上述产酸剂（C)可以单独使用或使用2种以上。
[0212] 本实施方式的抗蚀剂组合物优选包含一种以上的酸交联剂（G)。酸交联剂（G)是 能够在由产酸剂（C)产生的酸的存在下使式（1)所示的化合物和/或式（3)所示的化合物 发生分子内或分子间交联的化合物。作为这样的酸交联剂（G)，没有特别限定，可列举出例 如：具有能够使具有式（1)的立体配置的化合物及该化合物的混合物发生交联的一种以上 的基团（以下也称作"交联性基团"）的化合物。
[0213] 作为这样的交联性基团的具体例，没有特别限定，可列举出例如（i)羟基（C1-C6 烷基）、C1-C6烷氧基（C1-C6烷基）、乙酰氧基（C1-C6烷基）等羟基烷基或由它们衍生的基 团；（ii)甲酰基、羧基（C1-C6烷基）等羰基或由它们衍生的基团；（iii)二甲基氨基甲基、 二乙基氨基甲基、二羟甲基氨基甲基、二羟乙基氨基甲基、吗啉基甲基等含氮的基团；（iv) 缩水甘油醚基、缩水甘油酯基、缩水甘油氨基等含缩水甘油基的基团；(V)苄氧基甲基、苯 甲酰氧基甲基等由C1-C6烯丙氧基（C1-C6烷基）、C1-C6芳烷基氧基（C1-C6烷基）等芳香 族基团衍生的基团；(vi)乙烯基、异丙烯基等含有聚合性多键的基团等。作为本实施方式 中使用的酸交联剂（G)的交联性基团，优选羟基烷基以及烷氧基烷基等，特别优选烷氧基 甲基。
[0214] 作为具有前述交联性基团的酸交联剂（G)，没有特别限定，可列举出例如（i)含有 羟甲基的三聚氰胺化合物、含有羟甲基的苯并胍胺化合物、含有羟甲基的脲化合物、含有羟 甲基的甘脲化合物、含有羟甲基的酚化合物等含有羟甲基的化合物；（ii)含有烷氧基烷基 的三聚氰胺化合物、含有烷氧基烷基的苯并胍胺化合物、含有烷氧基烷基的脲化合物、含有 烷氧基烷基的甘脲化合物、含有烷氧基烷基的酚化合物等含有烷氧基烷基的化合物；（iii) 含有羧基甲基的三聚氰胺化合物、含有羧基甲基的苯并胍胺化合物、含有羧基甲基的脲化 合物、含有羧基甲基的甘脲化合物、含有羧基甲基的酚化合物等含有羧基甲基的化合物； (iv)双酚A系环氧化合物、双酚F系环氧化合物、双酚S系环氧化合物、酚醛树脂系环氧化 合物、甲阶酚醛树脂系环氧化合物、聚（羟基苯乙烯）系环氧化合物等环氧化合物等。
[0215] 作为酸交联剂（G)，进而可以使用在具有酚羟基的化合物以及在碱可溶性树脂中 的酸性官能团中引入前述交联性基团从而赋予了交联性的化合物以及树脂。此时的交联性 基团的引入率通常被调节至相对于具有酚羟基的化合物以及碱可溶性树脂中的总酸性官 能团优选为5~100摩尔％、更优选为10~60摩尔％、进一步优选为15~40摩尔％。交 联性基团的导入率为上述范围时，充分进行交联反应，能够避免残膜率的降低、图案的溶胀 现象、弯曲等，故而是优选的。
[0216] 本实施方式的抗蚀剂组合物中，酸交联剂（G)优选烷氧基烷基化脲化合物或其树 月旨，或者烷氧基烷基化甘脲化合物或其树脂。作为特别优选的酸交联剂（G)，可列举出下式 (8-1)~（8-3)所示的化合物以及烷氧基甲基化三聚氰胺化合物（酸交联剂（Gl))。
[0218] (上述式（8-1)~（8-3)中，R7分别独立地表示氢原子、烷基或酰基；R8~R11分别 独立地表不氣原子、羟基、烷基或烷氧基；X 2表不单键、亚甲基或氧原子。）
[0219] R7表示的烷基优选为碳数1~6、更优选为碳数1~3,可列举出例如甲基、乙基、丙 基。R7表示的酰基优选为碳数2~6、更优选为碳数2~4,可列举出例如乙酰基、丙酰基。 R8~R 11表示的烷基优选为碳数1~6、更优选为碳数1~3,可列举出例如甲基、乙基、丙 基。R8~R 11表示的烷氧基优选为碳数1~6、更优选为碳数1~3,可列举出例如甲氧基、 乙氧基、丙氧基。X 2优选为单键或亚甲基。R7~R n、X2也可以被甲基、乙基等烷基、甲氧基、 乙氧基等烷氧基、羟基、卤原子等取代。多个R 7、R8~R 11任选彼此相同或不同。
[0220] 作为式（8-1)所示的化合物，具体而言，可列举出例如以下所示的化合物等。
[0222] 作为式（8-2)所示的化合物，没有特别限定，具体而言，可列举出例如N，N，N，N-四 (甲氧基甲基）甘脲、N，N，N，N-四（乙氧基甲基）甘脲、N，N，N，N-四（正丙氧基甲基）甘 脲、N，N，N，N-四（异丙氧基甲基）甘脲、N，N，N，N-四（正丁氧基甲基）甘脲、N，N，N，N-四 (叔丁氧基甲基）甘脲等。其中，特别优选N，N，N，N-四（甲氧基甲基）甘脲。
[0223] 作为式（8-3)所示的化合物，具体而言，可列举出例如以下所示的化合物等。
[0224]
[0225] 作为烷氧基甲基化三聚氰胺化合物，没有特别限定，具体而言，可列举出例如 ^^1六（甲氧基甲基）三聚氰胺、^^^六（乙氧基甲基）三聚氰胺、 ^^1六（正丙氧基甲基）三聚氰胺、^^^六（异丙氧基甲基）三聚氰 胺、N，N，N，N，N，N-六（正丁氧基甲基）三聚氰胺、N，N，N，N，N，N-六（叔丁氧基甲基）三聚 氰胺等。其中，特别优选^^^六（甲氧基甲基）三聚氰胺。
[0226] 前述酸交联剂（Gl)例如可以如下得到：通过使尿素化合物或甘脲化合物和福尔 马林发生缩合反应而引入羟甲基之后，再用甲醇、乙醇、丙醇、丁醇等低级醇类使其醚化， 接着将反应液冷却，回收所析出的化合物或其树脂。另外，前述酸交联剂（Gl)还可以以 CYMEL (商品名，Mitsui Cytec Co.，Ltd.制）、NIKALAC (SANWA CHEMICAL CO.，LTD.制）之 类的市售品的形式获得。
[0227] 另外，作为其它特别优选的酸交联剂（G)，可列举出分子内具有1~6个苯环、整个 分子内具有2个以上羟基烷基和/或烷氧基烷基、且该羟基烷基和/或烷氧基烷基与前述 任一苯环结合的酚衍生物（酸交联剂（G2))。优选可列举出分子量为1500以下、分子内具 有1~6个苯环、共具有2个以上羟基烷基和/或烷氧基烷基、且该羟基烷基和/或烷氧基 烷基与前述任一苯环、或多个苯环结合的酚衍生物。
[0228] 作为与苯环结合的羟基烷基，优选羟基甲基、2-羟基乙基、2-羟基-1-丙基等碳数 1~6的羟基烷基。作为与苯环结合的烷氧基烷基，优选碳数2~6的烷氧基烷基。作为与 苯环结合的烷氧基烷基，具体而言，优选甲氧基甲基、乙氧基甲基、正丙氧基甲基、异丙氧基 甲基、正丁氧基甲基、异丁氧基甲基、仲丁氧基甲基、叔丁氧基甲基、2-甲氧基乙基或2-甲 氧基-1-丙基 。
[0229] 这些酚衍生物中，以下列举出特别优选的例子。
[0230]
[0233] 上述式中，L1~L 8任选相同或不同，分别独立地表示羟基甲基、甲氧基甲基或乙氧 基甲基。具有羟基甲基的酚衍生物可以通过在碱催化剂下使对应的不具有羟基甲基的酚化 合物（上述式中，L 1~L8为氢原子的化合物）与甲醛反应而得到。此时，为了防止树脂化、 胶凝化，优选在60°C以下的反应温度下进行。具体而言，可以通过日本特开平6-282067号 公报、日本特开平7-64285号公报等中记载的方法来合成。
[0234] 具有烷氧基甲基的酚衍生物可以通过在酸催化剂下使对应的具有羟基甲基的酚 衍生物与醇反应而得到。此时，为了防止树脂化、胶凝化，优选在l〇〇°C以下的反应温度下进 行。具体而言，可以通过EP632003A1等中记载的方法来合成。
[0235] 在保存时稳定性方面，优选的是这样操作而合成的具有羟基甲基和/或烷氧基甲 基的酚衍生物，从保存时稳定性的观点考虑，特别优选具有烷氧基甲基的酚衍生物。酸交联 剂（G2)可以单独使用，另外也可以组合使用2种以上。
[0236] 另外，作为其它特别优选的酸交联剂（G)，可列举出具有至少一个α-羟基异丙基 的化合物（酸交联剂（G3))。只要具有α-羟基异丙基，则对其