光掩模铬版修补的合束系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于图纹面的照相制版的制造设备技术领域，涉及一种光掩模修补的合束系统，尤其涉及一种将光掩模铬版的修和补技术集为一体的合束系统。
【背景技术】
[0002]众所周知，光掩模版是一种形成不透光图像于玻璃或石英材料基材的图形转移工具或模版，现已广泛应用于芯片制造、IXD、PCB等技术领域。常见的光掩模版主要有铬版、干版、凸版、液体凸版等类别，但均主要由基板和不透光材料两成分组成。对于光掩模铬版而言，基板通常由高纯度、低反射率、低热膨胀系数的石英玻璃制成，其不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。不可避免地，在光掩模铬版的制作过程中，由于工艺、设备、环境等因素的影响，初次生产出的光掩模铬版会存在黑缺陷和/或白缺陷等不足，其中，相对于设计图形而言，所谓的黑缺陷是指在基材区域溅射有多余的铬层而产生的不透光区域，对应地，所谓的白缺陷是指在铬层图形区域缺少铬层而形成的透光区域。
[0003]现有技术中，为克服这些缺陷，通常，需要用一台修光掩模铬版的设备对黑缺陷用激光来气化掉多余的铬层以修复光掩模铬版，对应地，需要另一台补光掩模铬版的设备对白缺陷用激光化学辅助沉积铬层以填补光掩模铬版，也即，光掩模铬版的修和补这两道工序分别需要用两台不同的设备来完成。然而，通常，一张光掩模铬版会同时存在有黑缺陷和白缺陷，这样，在修补光掩模铬版的过程中，就需要用到光掩模铬版的修和补两台不同的设备来处理，可以理解地，这就需要一张光掩模铬版在两台不同设备上共上下两次激光，显然，不仅耗费人力，还耗费工时，整个处理过程中设备所占用的面积也较大。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于提供一种光掩模铬版修补的合束系统，用以解决现有的光掩模铬版的修和补两道工序需要用两台不同的设备来分别实现而导致的耗费人力和工时，以及两设备共同占用的面积较大的技术问题。
[0005]为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是:提供一种光掩模铬版修补的合束系统，该合束系统包括合束总成，所述合束总成包括用以发射出第一分束光的第一分束装置和用以发射出第二分束光的第二分束装置；
[0006]该系统还包括偏振分光元件，用以直接透过所述第一分束光，以及用以反射所述第二分束光并使反射出的所述第二分束光的光轴与从所述偏振分光元件透出的所述第一分束光的光轴位于同一轴线上；
[0007]该系统还包括光路转折总成，用以辅助传送从所述偏振分光元件射出的所述第一分束光或所述第二分束光以使照射到光掩模铬版上。
[0008]进一步地，所述第一分束装置包括第一激光器和用以调整所述第一激光器发射出的光线的偏振方向以形成所述第一分束光的第一波片；所述第二分束装置包括第二激光器和用以调整所述第一激光器发射出的光线的偏振方向以形成所述第二分束光的第二波片。
[0009]进一步地，所述第一分束装置还包括用以将所述第一分束光反射至所述偏振分光元件的第一反射镜。
[0010]进一步地，所述第一分束光由后往前垂直射入并透光所述偏振分光元件，所述第二分束光由右往左垂直射入所述偏振分光元件，经所述偏振分光元件反射后由后往前射出所述偏振分光兀件。
[0011]进一步地，所述光路转折总成顺次包括第二反射镜、第一分光镜、可变狭缝、第二分光镜、第三分光镜和反应腔，经所述偏振分光元件射出的所述第一分束光或所述第二分束光依次经所述第二反射镜、第一分光镜、可变狭缝、第二分光镜、第三分光镜和反应腔照射到该光掩模铬版上。
[0012]进一步地，该合束系统还包括反射照明总成，所述反射照明总成顺次包括用以发射出第一照明光线的第一点光源、用以透射该第一照明光线的第一透镜、用以反射该第一照明光线的第三反射镜和用以将该第一照明光线透射至所述第三分光镜的第二透镜。
[0013]进一步地，该合束系统还包括指示照明总成，所述指示照明总成顺次包括用以发射第二照明光线的第二点光源和用以将该第二照明光线透射至所述第一分光镜的第三透镜。
[0014]进一步地，该合束系统还包括显微成像总成，所述显微成像总成顺次包括成像器、用以反射所述第一照明光线或所述第二照明光线至所述成像器内的第四反射镜和用以透射从所述第二分光镜反射出的所述第一照明光线或所述第二照明光线至所述第四反射镜上的第四透镜。
[0015]更进一步地，所述偏振分光兀件为偏振分光棱镜。
[0016]更进一步地，所述第一分束光为P-偏光，所述第二分束光为S-偏光。
[0017]与现有技术相比，本实用新型提供的光掩模铬版修补的合束系统的有益效果在于:
[0018]通过在同一设备平台上既设置用以修复光掩模铬版的黑缺陷的第一分束装置，还设置用以填补光掩模铬版的白缺陷的第二分束装置，并让第一分束装置发出的P-偏光由偏振分光兀件(如偏振分光棱镜)直接透射而出，还让第二分束装置发出的S-偏光由该偏振分光兀件从上述P-偏光的同一光轴线上反射而出，这样，即可实现P-偏光和S-偏光从同一光轴线射出，并经由同一光路转折总成处理，最终照射到光掩模铬版上，由此，一张光掩模铬版的修和/或补均可在该合束系统上完成，大大地节省了人力和工时，一定程度上还节约了设备的占用面积。
【附图说明】
[0019]图1是本实用新型实施例中光掩模铬版修补的合束系统的平面结构示意图；
[0020]图2是本实用新型实施例中光掩模铬版修补的合束系统中偏振分光元件的将P-偏光和S-偏光的光轴整合到同一直线上的立体的合光原理示意图；
[0021]图3是图2的俯视图；
[0022]图4是本实用新型实施例中光掩模铬版修补的合束系统的合束总成的平面结构不意简图；
[0023]图5是本实用新型实施例中光掩模铬版修补的合束系统的反射照明总成的平面结构示意简图；
[0024]图6是本实用新型实施例中光掩模铬版修补的合束系统的指示照明总成的平面结构示意简图；
[0025]图7是本实用新型实施例中光掩模铬版修补的合束系统的显微成像总成的平面结构示意简图；
[0026]附图中的标号如下:
[0027]O光掩模铬版；
[0028]I合束总成、11第一分束装置、111第一激光器、1111第一分束光、112第一波片、113第一反射镜；
[0029]12第二分束装置、121第二激光器、1211第二分束光、122第二波片；
[0030]2偏振分光兀件；
[0031]3光路转折总成、31第二反射镜、32第一分光镜、33可变狭缝、34第二分光镜、35管镜、36第三分光镜、37物镜、38反应腔；
[0032]4反射照明总成、41第一点光源、42第一透镜、43第三反射镜、44第二透镜；
[0033]5指示照明总成、51第二点光源、52第三透镜；
[0034]6显微成像总成、61成像器、62第四反射镜、63第四透镜。
【具体实施方式】
[0035]为了使本实用新型的所要解决的技术问题、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0036]以下结合具体附图对本实用新型的实现进行详细的描述。
[0037]需说明的是，当部件被称为“固定于”或“设置于”另一个部件，它可以直接在另一个部件上或者可能同时存在居中部件。当一个部件被称为是“连接于”另一个部件，它可以是直接连接到另一个部件或者可能同时存在居中部件。
[0038]还需说明的是，本实用新型实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本实用新型的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此，附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
[0039]如图1?图7所示，为本实用新型一较佳实施例提供的一种光掩模铬版修补的合束系统。
[0040]如图1?图7所示，该光掩模铬版修补的合束系统包括合束总成1，该合束总成I包括第一分束装置11和第二分束装置12，需说明的是，实际上，根据第一分束装置11和第二分束装置12发射出的光线的不同，第一分束装置11可用以填补白缺陷，对应地，第二分束装置12可用以修复黑缺陷，但通常，特别是在本实施例中，第一分束装置11主要用以发射出第一分束光1111以气化掉多余的铬层来修复光掩模铬版O的黑缺陷，对应地，第二分束装置12主要用以发射出第二分束光1211以化学辅助沉积铬层来填补光掩模铬版O的白缺陷，因而，本文也将以此种情况为例来介绍该合束系统。
[0041]在本实施例中，为便于将第一分束光1111和第二分束光1211整合到同一光轴上射出，该系统还包括偏振分光兀件2，其中，第一分束光1111能直接透过偏振分光兀件2，不仅如此，第二分束光1211经偏振分光元件2反射后再射出，且第二分束光1211经反射后射出的光轴与从偏振分光元件2透出的第一分束光1111的光轴位于同一轴线上，这样，第一分束光1111和第二分束光1211即可整合到同一光轴上。
[0042]另外，在本实施例中，为便于辅助传送从偏振分光元件2射出的第一分束光1111或第二分束光1211以使它们均能照射到光掩模铬版O上，不可或缺地，该系统还包括光路转折总成3，可以理解地，经偏振分光元件2发出的第一分束光1111即可经该光路转折总成3照射到光掩模铬版O上，对应地，第二分束光1211也可经该光路转折总成3照射到光掩模铬版O上。
[0043]还可理解地，第一分束光1111或第二分束光1211从偏振分光元件2发出后不仅可共用光路转折总成3，还可共用该合束系统中的其它部件，显然，通过这种方式即可将光掩模铬版O的修复和填补的工序整合到该合束系统中。其中，有关第一分束光1111和第二分束光1211合束的不意图如图2和图3所不。
[0044]需说明的是，在本实施例中，优选地，第一分束光1111为平行偏振光(简称P-偏光)，第二分束光1211为垂直偏振光(简称S-