专利名称：制备电子显微镜检测样品用的夹具的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体器件品质检测中用的样品夹具，具体涉及制备电子显微镜检测样品用的夹具。
背景技术：
在半导体器件制造中，扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)已经成为监测产品质量不可或缺的工具，随着半导体器件制造厂生产规模的不断扩大，产量不断提高，需要检测的样品数量也不断增加，作为产品品质监测工具的扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)的负担也越来越重。电子显微镜属于贵重的精密设备，半导体器件生产厂不可能增加更多的电子显微镜，在不增加设备和人力的情况下，要想完成越来越多的产品品质监测，就只有提高处理效率和更有效地利用检测设备，才能缓解检测量大和不能增加人力和检测设备之间的矛盾。
当前半导体器件的品质检测工作大致分为两大步骤，首先是制备待检测的样品，第二步骤是用电子显微镜观察样品。作为检测工作第一步骤的样品制备步骤包括切片和腐蚀处理(stain)切片两个步骤。当前腐蚀处理切片步骤中，是每一次腐蚀处理一片样品，而一组检测样品包括至少四个样品，所以，要制备一组检测样品就必须进行四次样品腐蚀处理步骤。当前用的样品制备方法不仅仅是费工费时，由于用于腐蚀处理样品的腐蚀溶液的浓度和温度等条件随着处理次数的增加和时间的流逝而变化，所以制备出来的样品质量不一致，很难保证样品检测结果的可靠性。
为了克服上述的现有技术中的缺点和局限所造成的各种问题提出本发明。
发明内容
本发明的目的是，提供一种化学腐蚀处理用的夹具。
本发明的夹具有多个样品夹，每个样品夹持一个样品，化学腐蚀溶液每次处理用夹具夹持的多个样品，因而缩短了用化学腐蚀溶液处理样品的时间，保证同批次处理的多个样品的品质一致，大大提高了样品的腐蚀处理效率。克服了现有技术中存储的缺点。
按本发明的夹具包括手柄1、支撑架2、夹子3、和连接装置4。
支撑架2与手柄1连接，连接装置4的一端连接夹子3另一端连接支撑架2，夹子3按固定间隔用连接装置4固定在支撑架4上。
手柄1的形状是适合操作者手握的任意形状。支撑架2根据需要可以是任意形状，例如，支撑杆、圆环形框架或其他多边形框架；。夹子3的结构和形状与通用的衣服夹相同，只是夹子的两个固定件是用耐化学腐蚀材料构成，夹子中的弹簧用不锈钢构成，不锈钢弹簧的外表面用耐化学腐蚀材料包覆；耐化学腐蚀材料例如是聚四氟乙烯等含氟塑料。还有连接夹子3与支撑架2的连接装置4。支撑架2上设置的夹子3的数量可以是两个以上的任意数量，夹子2的数量根据需要确定。手柄1、支撑架2和连接装置4也用耐化学腐蚀材料构成。
夹持在夹子3上的多个样品同时浸泡在浓度和温度相同的腐蚀溶液中进行化学腐蚀处理，处理的时间相同。因此，同一批次化学腐蚀处理获得的多个样品的品质一致。
通过结合附图进行的以下描述可以更好地理解本发明目的和本发明的优点，附图是说明书的一个组成部分，附图与说明书的文字部分一起说明本发明的原理和特征，附图中显示出代表本发明原理和特征的实施例。全部附图中相同的部分用相同的参考数字指示。附图中图1是按本发明一个实施例的制备电子显微镜检测样品用的夹具的透视图，支撑架是一个矩形杆；图2是显示夹子的各个构成部分的参数关系的示意图；图3是显示夹子、连接装置、支撑架和手柄之间装配参数的示意图；图4是按本发明另一个实施例的制备电子显微镜检测样品用的夹具的透视图，支撑架是圆形；和图5是按本发明另一个实施例的制备电子显微镜检测样品用的夹具的透视图，显示手柄与支撑架之间的角度可以任意调节。
图6是按本发明另一个实施例的制备电子显微镜检测样品用的夹具的透视图，支撑架是圆形；图7是按本发明另一个实施例的制备电子显微镜检测样品用的夹具的手柄与支撑架装配关系示意图，说明手柄与支撑架之间的角度可以任意调节；附图中参考数字指示的部分说明；3a-构成夹子3的固定片；3b-构成夹子3的弹簧；4a-连接的夹子3连接杆；和4b-连接支撑架2的连接杆。
具体实施例方式
以下参见附图，用附图中显示的实施例详细说明本发明。
图1是按本发明一个实施例的制备电子显微镜检测样品用的夹具的透视图。图2是显示夹子的各个构成部分的参数关系的示意图。
图3是显示夹子、连接装置、支撑架和手柄之间装配参数的示意图。
参见图1，图1中显示的按本发明的制备电子显微镜检测样品用的夹具，包括手柄1、支撑架2、夹子3、和连接装置4。支撑架2与手柄1连接，连接装置4的一端连接夹子3另一端连接支撑架2，夹子3按固定间隔g用连接装置4固定在支撑架4上。
按本实施例的制备电子显微镜检测样品用的夹具中，手柄1是一根长方形的直杆，支撑架2也是一杆长方形的直杆，手柄1和支撑架2相互垂直地连接在一起，连接装置4由相互成钝角的两根长方形杆4a和4b，构成，连接装置的一端连接到夹子3，另一端连接到支撑架2。本例中支撑架2上设置有四个夹子。但是夹子的数量可以是根据要求的任意数量。
参见图2，图2中显示出夹子各个部分的参考尺寸，构成夹子3的固定片3a的水平投影长度a的尺寸范围是3cm到6cm；构成夹子3的固定片3a的宽度b的尺寸范围是0.5cm到1cm；构成夹子3的弹簧3b到固定片3a夹持样品的一端的水平投影距离c的尺寸范围的1cm到3cm；构成夹子3的两个固定片3a不夹持样品的末端之间的间隔高度d的尺寸范围是2cm到4cm。
参见图3，图3中显示出手柄1、支撑架2、连接装置4的参考尺寸范围，和夹子3在支撑架2上的安装参考尺寸。
手柄1的长度e的尺寸范围是15cm到30cm；支撑架2的长度f的尺寸范围是15cm到30cm；构成连接装置4的连接杆4a的长度i的尺寸范围是6cm到12cm；构成连接装置4的连接杆4b的长度h的尺寸范围是5cm到10cm；安装在支撑架2上的两个相邻夹子之间的间隔距离g的尺寸范围是4cm到8cm。
构成按本实施例的制备电子显微镜检测样品用的夹具的各个部件都用耐化学腐蚀的材料构成，例如，用聚四氟乙烯等含氟塑料构成。
按本实施例制备电子显微镜检测样品用的夹具的结构和各个部件的尺寸与第一实施例的夹具基本相同，只是支撑架上固定的夹子数量是根据需要的任意数量，手柄的形状是适合操作人员手握的任意形状，支撑架2的形状是根据需要的任意形状，例如参见图4和图5，支撑架2可以是圆形、半圆、椭圆或多边形。支撑架可以固定在手柄上；也可以相对手柄旋转、移动和左右晃动，然后以螺丝固定。夹子相对于支撑架也可以做类似的移动。
以上详细描述了按本发明的制备电子显微镜检测样品用的夹具。但是本发明不限于本文中的详细描述。本行业的技术人员应了解，本发明能以其他的形式实施。因此，按本发明的全部技术方案，所列举的实施方式只是用于说明本发明而不是限制本发明，并且，本发明不局限于本文中描述的细节。本发明要求保护的范围由所附的权利要求书界定。
权利要求
1.制备电子显微镜检测样品用的夹具，其特征是，包括手柄(1)、支撑架(2)、夹子(3)、和连接装置(4)，支撑架(2)与手柄(1)连接在一起，连接装置(4)的一端连接夹子(3)另一端连接支撑架(2)，夹子(3)按固定间隔g用连接装置(4)固定在支撑架(2)上。
2.按照权利要求1的夹具，其特征是，手柄1的形状是适合于操作人员手握的任意形状；支撑架(2)的形状根据需要可以是例如一根矩形长杆、圆形、半圆、椭圆或多边形或其他适合的任意形状；支撑架(2)可以固定在手柄上(1)；也可以相对手柄(1)旋转、移动和左右晃动，然后以螺丝固定，夹子(3)相对于支撑架(2)也可以做类似的移动，固定在支撑架(2)上的夹子(3)的数量可以是根据需要的任意数量。
3.按照权利要求1的夹具，其特征是，夹具的零部件用耐化学腐蚀的材料构成，弹簧用包覆耐化学腐蚀材料的不锈钢构成。
4.按照权利要求3的夹具，其特征是，构成夹具零部件用的耐化学腐蚀材料是含氟塑料。
5.按照权利要求3的夹具，其特征是，构成夹具零部件用的耐化学腐蚀材料是聚四氟乙烯。
全文摘要
制备电子显微镜检测样品用的夹具，包括手柄1、支撑架2、夹子3和连接装置4，支撑架2与手柄1连接在一起，连接装置4的一端连接夹子3，另一端连接支撑架2，夹子3按固定间隔g用连接装置4固定在支撑架4上。夹具的零部件用耐化学腐蚀材料构成。
文档编号H01J37/20GK1796966SQ200410093400
公开日2006年7月5日 申请日期2004年12月22日 优先权日2004年12月22日
发明者郭志蓉, 周娟, 张启华, 潘敏 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司