平面位置调整装置的制作方法

文档序号:2969283阅读:310来源:国知局
专利名称:平面位置调整装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种平面位置调整装置,具体涉及一种荫罩型PDP对准机的平面位置调整装置。
背景技术
在显示、半导体、光刻等很多领域,都需要将两个工件进行对准的工艺过程,要完成这一过程,就需要进行平面位置的调整。现阶段的对准设备主要为用于光刻领域的硅片对准,这种设备一般可对准的零件都比较小,设备成本非常高;在PDP生产工艺中,国内尚无专荫罩型PDP对准机设备。
实用新型内容本实用新型的目是为了完成荫罩型PDP对准机而专门研发的,它可以完成零件在一个平面内的位置调整,从而达到对准的目的。
本实用新型是按如下技术方案来实现的,在平面位置调整装置支架上设置有旋转运动机构和X向运动机构(1)所述旋转运动机构由带摇把的转动手柄、条形的拨杆及转动关节联结组成;其中两个设置在安装板上的转动手柄分别通过齿形带各与一个丝杠传动连接,所述丝杠通过螺母分别与一个带有固定转轴的拨杆一端活动连接,所述拨杆的另一端设置有关节轴承;所述转动关节的两端分别设置有关节轴承;两个拨杆上的关节轴承与所述转动关节两端的关节轴承通过关节轴承连接杆分别活动连接;所述转动关节由水平放置在安装板上的上连接板与下连接板组成;所述上连接板与下连接板两端分别设置有固定转轴及活动转轴;
(2)所述X向的运动机构由固定在底板上的转动手柄、直线导轨、设置在所述直线导轨上的直线导轨滑块及拨杆组成;所述转动手柄通过齿形带与丝杠传动连接。
本实用新型的平面位置调整装置的优点在于,本实用新型调整过程对零件的大小没有限制,而且大大降低了设备的成本,可进行各种零件的中高精度位置调节。


下面,结合附图对本实用新型及其实施例作进一步说明图1为平面位置调整示意图;图2为旋转运动机构示意图;图3为图2的A-A向视图;图4为X方向运动机构示意图;图5为图4中A-A向示意图;图6为平面位置调整应用示意图。
1转动手柄、2齿形带、3丝杠、4转动关节、5关节轴承、6关节轴承连接杆、7拨杆、8转动手柄、9固定转轴、10连接块、11安装板、12关节轴承支架、13球形支撑、14活动转轴A、15滚针轴承、16下连接板、17上连接板、18固定转轴B、19转动手柄、20直线导轨、21底板、22丝杠、23齿形带、24拨杆、25球形支撑、26活动转轴、27凸轮从动轴承、28固定转轴、29直线导轨滑块、30荫罩、31基板、32真空吸盘、33监视器、34支架。
具体实施方式
如图1所示,平面位置调整装置主要实现工件在同一水平面的运动,平面位置调整装置可以实现工件沿X方向的平移运动以及沿支撑A或B的旋转运动。
如图2所示,平面位置调整装置的旋转运动主要由转动手柄1、8,齿形带2、螺母丝杠3、转动关节4等几部分组成。转动手柄1、8和螺母丝杠3通过安装支座固定在安装板11上,拨杆10通过固定转轴9安装于安装板11上,拨杆10一端开长圆孔与螺母连接,另一端安装一关节轴承5,又通过关节轴承连接杆6分别与转动关节4上的关节轴承连接。
如图3所示为转动关节4的A-A向视图,下连接板16下方一端设置有活动转轴14,活动转轴14下装有球形支撑13,所述球形支撑13与安装板11相接;下连接板16下方另一端设置有固定转轴18,球形支撑13以及固定转轴18组成转动关节4的两个转动支撑点;转动关节4上的一个关节轴承支架12与下连接板16连接在一起,并将关节轴承5安装于支架上;另一个关节轴承支架12与上连接板17连接在一起,并将关节轴承5安装与支架上。转动关节的上连接板17和下连接板16可以在活动转轴14的连接下绕固定转轴18转动,同时上连接板17也可以单独绕活动转轴14转动。
调整时,将需要调整的工件放置于转动关节4的上连接板17上。摇动转动手柄1,则转动手柄1通过齿形带2带动丝杠3转动,连接于丝杠3上的螺母带动拨杆7一起运动,拨杆7绕固定转轴9旋转后,由固定于拨杆7另一端的关节轴承5带动转动关节4绕固定转轴18转动;摇动另一转动手柄8,则通过齿形带2带动丝杠3转动,连接于丝杠3上的螺母带动另一拨杆7一起运动,拨杆7绕固定转轴9旋转后,由固定于拨杆7另一端的关节轴承5带动转动关节5绕活动转轴14转动,从而实现工件的水平转动微调。
图4-图5给出了平面位置调整装置沿X向的运动机的结构。如图所示,转动手柄19和螺母丝杠22通过安装支座固定在底板21上,拨杆24通过固定转轴28和一个球形支撑25及活动转轴26安装于底板21上,拨杆24一端开长圆孔与螺母连接,另一端安装一凸轮从动轴承27,该凸轮从动轴承27放置于连接块10与安装板11之间的凹槽内,直线导轨20固定于底板21上,并将直线导轨滑块29固定于安装板11上。
调整时,摇动转动手柄19,则转动手柄19通过齿形带23带动丝杠22转动,连接于丝杠22上的螺母带动拨杆24一起运动,拨杆24绕固定转轴28旋转后,由固定于拨杆24上的凸轮从动轴承27带动Y方向运动机构整体进行X方向的运动;由于底板21与Y方向运动机构的安装板11之间安装有直线导轨20,可以保证X方向运动的直线性。所述上连接板、下连接板与固定转轴或活动转轴连接处设置有滚针轴承,可进一步增加转动的稳定性。
图6给出了应用实例示意图,对准机是荫罩型PDP显示屏制造过程中必不可少的设备之一,它用于将基板31与荫罩30对齐,荫罩30上分布有很多象素点,其大小只有0.36×3mm。对齐时,将基板31以真空吸盘32吸附于平面位置调整装置的正上方,将荫罩30置于平面位置调整装置上,平面位置调整装置设置在专用支架34上,旋转相关调整手柄并通过监视器33实时监控,可很方便地将荫罩30与基板31调到对齐的状态。
权利要求1.一种平面位置调整装置,包括支架,其特征是在支架上设置有旋转运动机构和X向运动机构(1)所述旋转运动机构由带摇把的转动手柄、条形的拨杆及转动关节联结组成;其中两个设置在安装板上的转动手柄分别通过齿形带各与一个丝杠传动连接,所述丝杠通过螺母分别与一个带有固定转轴的拨杆一端活动连接,所述拨杆的另一端设置有关节轴承;所述转动关节的两端分别设置有关节轴承;两个拨杆上的关节轴承与所述转动关节两端的关节轴承通过关节轴承连接杆分别活动连接;所述转动关节由水平放置在安装板上的上连接板与下连接板组成;所述上连接板与下连接板两端分别设置有固定转轴及活动转轴;(2)X向的运动机构由固定在底板上的转动手柄、直线导轨、设置在所述直线导轨上的直线导轨滑块及拨杆组成;所述转动手柄通过齿形带与丝杠传动连接,拨杆一端开长圆孔与丝杆上的螺母活动连接。
2.如权利要求1所述的平面位置调整装置,其特征是在所述X向运动机构的拨杆上远离丝杠一端的上部安装一凸轮从动轴承,该凸轮从动轴承放置于连接块与安装板之间的凹槽内;拨杆下面通过一个活动转轴及球形支撑安装于底板上。
3.如权利要求1所述的平面位置调整装置,其特征是所述直线导轨滑块可在直线导轨上滑动,且直线导轨滑块与所述安装板固定连接。
4.如权利要求1所述的平面位置调整装置,其特征是所述下连接板下方一端设置有活动转轴,该活动转轴下装有球形支撑,所述球形支撑与安装板滑动接触。
5.如权利要求1所述的平面位置调整装置,其特征是在所述上连接板下方设置有固定转轴,上连接板可以与下连接板一起绕固定转轴转动,也可以单独绕所述活动转轴转动
6.如权利要求1所述的平面位置调整装置,其特征是所述转动关节上设置的关节轴承下安装有关节轴承支架,其中一个关节轴承支架与下连接板连接在一起;另一个关节轴承支架与上连接板连接在一起。
7.如权利要求1所述的平面位置调整装置,其特征是在所述上连接板、下连接板与固定转轴或活动转轴连接处设置有滚针轴承。
专利摘要本实用新型涉及一种荫罩型PDP对准机的平面位置调整装置,在平面位置调整装置支架上设置有旋转运动机构和X向运动机构,所述旋转运动机构由带摇把的转动手柄、条形的拨杆及转动关节联结组成;所述转动关节由水平放置在安装板上的上连接板与下连接板组成;所述X向的运动机构由固定在底板上的转动手柄、直线导轨、设置在所述直线导轨上的直线导轨滑块及拨杆组成;本实用新型的优点是用它调整工件平面位置时,对零件的大小没有限制,而且大大降低了设备的成本,可进行各种零件的中高精度位置调节。
文档编号H01J9/00GK2826680SQ20052012980
公开日2006年10月11日 申请日期2005年10月18日 优先权日2005年10月18日
发明者谭三成, 常晓鱼 申请人:北京七星华创电子股份有限公司
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