专利名称：一种微波管栅极的成型制造装置及成型制造方法
技术领域：
本发明涉及微波管制造技术，具体地说涉及一种微波管栅极的成型制造装 置及成型制造方法。
背景技术：
微波管中的栅控电子枪重要组成部分是栅极，栅极的栅网制造和栅网对栅 极的性能影响很大。传统栅网制造工艺一般采用电火花加工。即先把钼片冲压 成具有一定曲率半径的弧面，然后采用电火花加工工艺把弧面钼片镂空加工成 所需要的结构。但是电火花加工工艺加工出的栅网在精度方面还不尽人意。由 于平面栅网已经具有了一定的结构图案，因此在冲压成型的过程中极易发生变 形现象。任何一根栅丝的拉伸不均匀或者冲头与平面栅网表面的稍微不垂直以 及冲头与平面栅网定位的偏差都会造成栅网成型后结构上的不对称，使栅网成 型不合格。在微波器件结构尺寸日益小型化的今天，对其零部件的尺寸精度要 求也日益提高。目前，通过传统栅网制造工艺加工出的栅网精度已很难满足这些要求。另 外由于电火花加工出来的栅网表面不容易处理干净，制成的栅网上的网丝上常 常有毛刺和其它黑色附着物导致表面不光滑，容易造成栅极打火，这样，栅控 电子枪栅极截获电流偏大，从而影响微波管的性能和产品的成品率。 发明内容本发明所要解决的技术问题是，针对现有技术的不足，提供一种微波管栅极 的成型制造装置及成型制造方法，以达到通过栅极的成型制造装置及成型制造 方法加工出的微波管栅极具有加工精度高、光洁度高、合格率高等目的。为解决上述技术问题，本发明的技术方案是， 一种微波管栅极的成型制造 装置，其特征在于所述成型制造装置包括成型阳模、成型阴模、定位销、成 型基座组成，所述成型阳模呈销钉状，通过垫圈插入成型阴模的销孔内，所述 的成型阴模与成型基座上对应的设有至少两个以上定位销孔，成型阴模通过插 入定位销孔的定位销、栅极栅网与成型基座相连接。微波管栅极的成型制造装置，所述的成型阴模与成型基座的连接端面为相 适配的曲面。微波管栅极的成型制造装置，所述的成型阴模与成型基座上对应的设有四 个定位销孔。微波管栅极的成型制造装置，所述的成型阴模和成型基座采用硬度不同的 材料。微波管栅极的成型制造装置，所述的成型基座与定位销为滑动配合。 微波管栅极的成型制造装置，所述的成型基座材料为无氧铜。 本发明另一种技术方案是， 一种微波管栅极的成型制造方法，其特征在于 采用光刻方法制作出的平面栅网装配栅极的成型制造装置中，通过采取一定的 工艺手段，使平面栅网成型为有一定曲率半径的曲面栅网，该方法包含下列步 骤；a) 用定位销把平面栅网安装到成型阴模上；b) 通过定位销3连接成型基座上面的定位销孔，把安装有平面栅网的成型 阴模安装到成型基座上；c) 把成型阳模1通过成型阴模上面的销孔安装到上述组件中；d) 把上述装配好的成型制造装置加热至一定的温度，然后放到压力机的工 作台面上，对成型阳模的受力面施加一定的压力，使平面栅网成型在成型基座中；e)拆下带有成型栅网的成型基座，把其放入特殊的溶液中，使成型栅网与 成型基座分离。微波管栅极的成型制造方法，所述的成型制造装置加热温度为300°C±20。C。微波管栅极的成型制造方法，所述溶液为刻蚀溶液可以刻蚀铜的刻蚀溶液。微波管栅极的成型制造方法，所述刻蚀溶液浓度为某酸酐28%，某酸2% 质量分数。借鉴现代集成电路制造工艺，采用光刻法加工平面栅网，将平面栅网的 加工精度由原来的机械加工精度提高到光学精度。通过上述的微波管栅极的 成型制造方法使平面栅网成型为具有一定曲率半径的曲面栅网。一种微波管栅极的成型制造装置及成型制造方法，由于采用上述的微波管 栅极的成型制造装置及成型制造方法，与现有技术相比；加工出的栅极栅网具 有加工精度高，光洁度高，合格率高等优点。与电火花加工相比，光刻工艺加 工具有精度高，定位准等优点，表面处理干净，不需要电火花加工后复杂的表 面处理工作，节省了人力物力，极大的克服了微波管栅极打火这一缺点。通过 栅极的成型制造装置能够使平面栅网在受力后能够陷进基座中成型。同时平面 栅网的设计上具有定位孔，从而可以通过定位销的作用来保证成型阳模和平面 栅网的精确定位，提高栅网成型后结构上对称度的精度。
图1为本发明微波管栅极的成型制造装置剖面结构示意图； 在图1中，1、成型阳模；2、成型阴模；3、定位销；4、成型基座；5、垫 圈；6、销孔；7、定位销孔；8、栅网。
具体实施方式
下面对照附图，通过对实施例的描述，对本发明的具体实施方式
如所涉及 的各构件的形状、构造、各部分之间的相互位置及连接关系、各部分的作用及 工作原理、制造工艺及方法等，作进一步详细的说明，以帮助本领域的技术人 员对本发明的发明构思、技术方案有更完整、准确和深入的理解。如图1所示， 一种微波管栅极的成型制造装置，所述成型制造装置包括成型阳模l、成型阴模2、定位销3、成型基座4组成，所述成型阳模l呈销钉状， 通过垫圈5插入成型阴模2的销孔6内，所述的成型阴模2与成型基座4上对 应的设有四个定位销孔7，成型阴模2通过插入定位销孔7的定位销3、栅极栅 网8与成型基座4相连接。成型阴模2与成型基座4的连接端面为相适配的曲 面。成型基座4与定位销3为滑动配合。成型阴模2和成型基座4采用硬度不 同的材料，成型基座4材料为无氧铜，成型基座4为一次性夹具。成型阳模1 和成型阴模2选用硬度较高并且耐磨的材料，成型阳模1和成型阴模2之间配 合的公差设计尺寸为滑配。成型基座4选用比较软的材料，以能够使平面栅网8 在受力后能够陷进基座中成型。同时平面栅网8的设计上具有定位孔，从而可 以通过定位销3的作用来保证成型阳模1和平面栅网8的精确定位，提高栅网8 成型后结构上对称度的精度。一种微波管栅极的成型制造方法，微波管中的栅极通常要求具有一定的曲 率半径。这就要求在采用光刻方法加工出平面栅网后，还需要再采用一定的工 艺手段把平面栅网加工成为所需要的曲面栅网。采用光刻方法制作出的平面栅 网装配栅极的成型制造装置中，通过采取栅极的成型制造方法栅极的成型制造 方法，使平面栅网成型为有一定曲率半径的曲面栅网，该方法包含下列步骤； a)用定位销3把平面栅网8安装到成型阴模2上；b)通过定位销3连接成型基座4上面的定位销孔7，把安装有平面栅网8的成型阴模2安装到成型基座4上; c)把成型阳模1通过成型阴模2上面的销孔6安装到上述组件中；d)把上述 装配好的成型制造装置加热至一定的温度，成型制造装置加热温度为300°C±20 °C，然后放到压力机的工作台面上，对成型阳模1的受力面施加一定的压力， 使平面栅网8成型在成型基座4中；e)拆下带有成型栅网的成型基座4，把其放 入刻蚀溶液可以刻蚀铜的刻蚀溶液。刻蚀溶液浓度为某酸酐28%，某酸2°/。质量 分数，使成型栅网8与成型基座4分离。曲面栅网8从成型基座4中分离出来 后的尺寸会有一些回弹，回弹量的大小与成型基座4的硬度有关。上面结合附图对本发明进行了示例性描述，显然本发明具体实现并不受上 述方式的限制，只要采用了本发明的方法构思和技术方案进行的各种非实质性 的改进，或未经改进将本发明的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在 本发明的保护范围之内。
权利要求
1、一种微波管栅极的成型制造装置，其特征在于所述成型制造装置包括成型阳模(1)、成型阴模(2)、定位销(3)、成型基座(4)组成，所述成型阳模(1)呈销钉状，通过垫圈(5)插入成型阴模(2)的销孔(6)内，所述的成型阴模(2)与成型基座(4)上对应的设有至少两个以上定位销孔(7)，成型阴模(2)通过插入定位销孔(7)的定位销(3)、栅极栅网(8)与成型基座(4)相连接。
2、 根据权利要求1所述的微波管栅极的成型制造装置，其特征在于所述 的成型阴模(2)与成型基座(4)的连接端面为相适配的曲面。
3、 根据权利要求1所述的微波管栅极的成型制造装置，其特征在于所述 的成型阴模(2)与成型基座(4)上对应的设有四个定位销孔(7)。
4、 根据权利要求1或2所述的微波管栅极的成型制造装置，其特征在于 所述的成型阴模(2)和成型基座(4)采用硬度不同的材料。
5、 根据权利要求1或2所述的微波管栅极的成型制造装置，其特征在于 所述的成型基座(4)与定位销(3)为滑动配合。
6、 根据权利要求3所述的微波管栅极的成型制造装置，其特征在于所述 的成型基座(4)材料为无氧铜。
7、 一种微波管栅极的成型制造方法，其特征在于采用光刻方法制作出的 平面栅网装配栅极的成型制造装置中，通过采取一定的工艺手段，使平面栅网 成型为有一定曲率半径的曲面栅网，该方法包含下列步骤；a) 用定位销(3)把平面栅网安装到成型阴模(2)上；b) 通过定位销3连接成型基座(4)上面的定位销孔(7)，把安装有平面栅网(8)的成型阴模(2)安装到成型基座(4)上；c) 把成型阳模l通过成型阴模2上面的销孔(6)安装到上述组件中；d) 把上述装配好的成型制造装置加热至一定的温度，然后放到压力机的工作 台面上，对成型阳模(1)的受力面施加一定的压力，使平面栅网(8)成型在成型基座(4)中；e) 拆下带有成型栅网的成型基座(4)，把其放入特殊的溶液中，使成型栅网 O与成型基座(4)分离。
8、 根据权利要求7所述的微波管栅极的成型制造方法，其特征在于所述 的成型制造装置加热温度为300°C±20°C。
9、 根据权利要求7所述的微波管栅极的成型制造方法，其特征在于所述 溶液为刻蚀溶液可以刻蚀铜的刻蚀溶液。
10、根据权利要求9所述的微波管栅极的成型制造方法，其特征在于所述 刻蚀溶液浓度为-某酸酐28%，某酸2%质量分数。
全文摘要
本发明公开了一种微波管栅极的成型制造装置及成型制造方法，一种微波管栅极的成型制造装置，其特征在于所述成型制造装置包括成型阳模、成型阴模、定位销、成型基座组成，所述成型阳模呈销钉状，通过垫圈插入成型阴模的销孔内，所述的成型阴模与成型基座上对应的设有至少两个以上定位销孔，成型阴模通过插入定位销孔的定位销、栅极栅网与成型基座相连接。与现有技术相比；加工出的栅极栅网具有加工精度高，光洁度高，合格率高等优点。通过栅极的成型制造装置能够使平面栅网在受力后能够陷进基座中成型。同时平面栅网的设计上具有定位孔，从而可以通过定位销的作用来保证成型阳模和平面栅网的精确定位，提高栅网成型后结构上对称度的精度。
文档编号H01J9/02GK101256923SQ20071030253
公开日2008年9月3日 申请日期2007年12月28日 优先权日2007年12月28日
发明者任振国, 侯信磊, 吴华夏, 荣 李, 沙莹莹, 赵艳珩, 邓清东 申请人:安徽华东光电技术研究所