1.一种用于电解加工平面曲折群沟槽的装置,其特征在于,包括:腔体,连接在所述腔体里的衬底,安装在所述衬底上的工件,设置在所述工件的上表面的掩模板,以及设置在所述掩模板的上表面的阴极块;其中,
所述掩模板的内部设置有加工区弯折主流道,以及与所述加工区弯折主流道的弯折处连接的辅助供液流道。
2.如权利要求1所述的用于电解加工平面曲折群沟槽的装置,其特征在于,所述加工区弯折主流道为镂空结构,所述辅助供液流道为凹槽结构。
3.如权利要求2所述的用于电解加工平面曲折群沟槽的装置,其特征在于,一条所述加工区弯折主流道具有两个弯折处;
各所述弯折处具有一条所述辅助供液流道。
4.如权利要求3所述的用于电解加工平面曲折群沟槽的装置,其特征在于,所述辅助供液流道的延伸方向均相同。
5.如权利要求2所述的用于电解加工平面曲折群沟槽的装置,其特征在于,所述加工区弯折主流道的宽度比所述辅助供液流道的宽度宽;
所述加工区弯折主流道的高度比所述辅助供液流道的高度高。
6.如权利要求1-5任一项所述的用于电解加工平面曲折群沟槽的装置,其特征在于,所述工件的上表面与所述掩模板的下表面紧密贴合;
所述阴极块的下表面与所述掩模板的上表面紧密贴合。
7.如权利要求6所述的用于电解加工平面曲折群沟槽的装置,其特征在于,还包括:直流电源;
所述直流电源的正极与所述工件电性连接;负极与所述阴极块的外壁电性连接。
8.如权利要求7所述的用于电解加工平面曲折群沟槽的装置,其特征在于,还包括:水泵、水槽和夹具;
所述水泵的一端与所述水槽连接,所述水泵的另一端与所述夹具的入液口连接;
所述夹具的入液口与所述掩模板连接,所述夹具的出液口与所述水槽连接。
9.一种平面曲折群沟槽的电解加工方法,其特征在于,包括:
在水泵的作用下将电解液从水槽中抽出;
所述电解液流入夹具的入液口,并流入掩模板的加工区弯折主流道,以及与所述加工区弯折主流道的弯折处连接的辅助供液流道;
所述电解液从所述夹具的出液口流回所述水槽。
10.如权利要求9所述的电解加工方法,其特征在于,所述掩模板的加工区弯折主流道和辅助供液流道的图形通过3D打印工艺或微铣削工艺形成。