一种压膜机分区吸膜组的制作方法

本实用新型涉及一种吸膜组，尤其涉及一种压膜机分区吸膜组。

背景技术：

在压模设备例如压模机中，现有的吸盘底盒没有分区。在吸光阻膜时，光阻膜的宽度小于吸盘宽度时，吸盘没盖住光阻膜的地方会漏气，造成真空不够，光阻膜吸附不紧。

技术实现要素：

为了解决上述技术所存在的不足之处，本实用新型提供了一种压膜机分区吸膜组。

为了解决以上技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种压膜机分区吸膜组，包括吸膜组、电磁阀和总真空管路；吸膜组包括平吸盘板、弧型吸盘和平吸盘板底盒；平吸盘底盒通过紧固螺丝固定在弧型吸盘上；平吸盘板通过紧固螺丝固定在平吸板底盒上；

弧型吸盘为L形，竖直面为平面，水平面的下端面为弧形面；平吸板底盒设置在弧型吸盘的竖直面上，平吸盘板与平吸板底盒平行，设置在弧型吸盘的水平面的外侧；

真空管路对应连接在平吸盘底盒的接管管口；平吸盘板上和弧型吸盘的弧面上均设置有真空吸附孔。

平吸盘板的表面上设置有方形的分区凹槽格。

真空管路上设置有对应的电磁阀。

平吸盘板底盒包括五个单独的真空吸膜区，每个真空吸膜区分别与PLC控制器连接。

真空吸附孔呈矩形阵列分布。

本实用新型可根据产品宽度，通过人机界面操作，选择合适的吸盘吸膜宽度，在生产宽度窄的基板、光阻膜时，关闭两侧的电磁阀，从而达到关闭两侧吸膜盘的目的，解决了因生产窄板时，两端没有光阻膜吸附在吸盘组上，吸盘没有吸附光阻膜段就会泄漏真空，真空度下降的问题。本实用新型通过吸盘组分区设计，关闭泄漏段的电磁阀，有效保证了吸盘组的真空度。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型的分解结构示意图。

图2是本实用新型吸膜组的整体结构图。

图3是本实用新型的整体动作示意图。

图中：1、吸膜组；2、平吸盘板；3、弧型吸盘；4、平吸盘板底盒；5、电磁阀；6、总真空管路；7、光阻膜；8、导膜轮轴；9、上、下压模轮；10、基板。

具体实施方式

如图1～图3所示，本实用新型包括吸膜组1、电磁阀5和总真空管路6；吸膜组1包括平吸盘板2、弧型吸盘3和平吸盘板底盒4；平吸盘底盒4通过紧固螺丝固定在弧型吸盘3上；平吸盘板2通过紧固螺丝固定在平吸板底盒4上；

弧型吸盘3为L形，竖直面为平面，水平面的下端面为弧形面；平吸板底盒 4设置在弧型吸盘3的竖直面上，平吸盘板2与平吸板底盒4平行，设置在弧型吸盘3的水平面的外侧；真空管路6对应连接在平吸盘底盒4的接管管口；平吸盘板2上和弧型吸盘3的弧面上均设置有真空吸附孔，具体地，真空吸附孔呈矩形阵列分布。

平吸盘板2的表面上设置有方形的分区凹槽格。

真空管路6上设置有对应的电磁阀5。

平吸盘板底盒4包括五个单独的真空吸膜区，每个真空吸膜区分别与PLC控制器连接。

本实用新型的分区吸盘组可以调整吸盘的吸膜宽度，以适应不同宽度的基板10和光阻膜7(基板、光阻膜宽度0-650MM)。平吸盘板底盒分为5个单独的真空吸膜区，通过人机界面操作、PLC控制器控制。PLC控制器分别控制安装在吸盘组真空管路6上的电磁阀5：当电磁阀5打开，对应的真空管路6打开，电磁阀5关闭，对应于的真空管路6关闭。因此，在具体使用时，可通过组合选择电磁阀5的打开位数，从而调整吸盘组的吸膜宽度。

在生产宽度窄的基板和光阻膜时，可通过关闭两侧的电磁阀5，进而关闭两侧的吸膜盘。解决了因生产窄板时，两端没有光阻膜吸附在吸盘组上，吸盘没有吸附光阻膜段就会泄漏真空，真空度下降的问题。由于真空度下降会造成光阻膜吸附力不够，光阻膜整平不良，引起膜皱、压膜不良等问题。本实用新型通过吸盘组分区设计后，关闭泄漏段的电磁阀5，保证了吸盘组的真空度。

上述实施方式并非是对本实用新型的限制，本实用新型也并不仅限于上述举例，本技术领域的技术人员在本实用新型的技术方案范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也均属于本实用新型的保护范围。