一种制备高性能铁磁性靶材的方法与流程

文档序号:25088551发布日期:2021-05-18 21:10阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种制备高性能铁磁性靶材的方法,其特征在于,包括将铁磁性靶坯通过旋压使靶坯均匀变形的步骤。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述铁磁性靶坯的初始厚度3

5mm。3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述旋压为以圆形铁磁性靶坯圆心为中心点进行旋压。4.根据权利要求1~3任一项所述的方法,其特征在于,所述旋压用模具底部设置永磁铁。5.根据权利要求1~3任一项所述的方法,其特征在于,所述旋压总的压下变形量为5%

30%,压下道次变形量5%

15%。6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,旋压主轴转速300

2000转/分钟,旋轮进给速度50

300米/分钟。7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,旋压后靶坯形状为平面型、球面型或异型。8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,旋压前,铁磁性靶坯通过将高纯铁磁性金属铸锭进行锻造、轧制、再结晶热处理得到板坯,对所得板坯机加工为圆形靶坯制得。9.根据权利要求1或8所述的方法,其特征在于,旋压后,对所得靶坯进行焊接、机加工,得到铁磁性靶材。10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,相比所述板坯,所得铁磁性靶材透磁率增加20%以上,圆周方向透磁率波动≤1%。
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