一种制备高性能铁磁性靶材的方法与流程

技术总结
本发明公开了属于靶材制备技术领域的一种制备高性能铁磁性靶材的方法。该方法包括将铁磁性靶坯通过旋压使靶坯均匀变形的步骤。利用本发明方法制备的铁磁性金属靶材透磁率高、均匀性好。均匀性好。


技术研发人员：罗俊锋 张巧霞 徐国进 张博厚 李勇军 庞欣 熊晓东 冯昭伟 滕海涛
受保护的技术使用者：有研科技集团有限公司
技术研发日：2020.12.31
技术公布日：2021/5/18