一种激光切割用晶圆片柔性夹持结构的制作方法

1.本实用新型涉及柔性夹持结构领域，具体为一种激光切割用晶圆片柔性夹持结构。


背景技术：

2.传统的固定型夹具需要根据所夹持的零部件的曲面形状来设计相对应的固定曲面夹持夹具，并且这类夹具只能对单一曲面零件进行夹持。当涉及到大型复杂的曲面零件时，传统型的固定型夹具不仅其设计制作过程复杂，具有成本高，只能加持一种形状、大小的晶圆片，具有适应性差的缺点。
3.为了解决目前市场上所存在的缺点，急需改善传统夹具的技术，能够更好的保证晶圆片的生产。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种激光切割用晶圆片柔性夹持结构，以解决上述背景技术中提出的只能对单一曲面零件进行夹持。当涉及到大型复杂的曲面零件时，传统型的固定型夹具不仅其设计制作过程复杂，具有成本高，只能加持一种形状、大小的晶圆片，具有适应性差的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种激光切割用晶圆片柔性夹持结构，包括夹具、夹具连接块、弹簧柱和六角螺栓，所述夹具通过夹具连接块下方连接有安装座，且安装座内部安装有滑块，所述安装座右侧通过衔接片连接有衔接杆，且衔接杆一端连接有支撑块，所述支撑块下方焊接有底座，且滑块下通过夹具连接块连接有滑动导轨，所述滑动导轨内部安装有钢珠，且钢珠内部设置有下保持器，所述钢珠上方设置有上保持器，且滑动导轨上表面安装有定位螺栓，所述滑块左右侧安装有端盖，且端盖通过端面密封垫片连接有油嘴，所述夹具内部焊接有弹簧柱。
6.优选的，所述夹具内部设置有弹簧柱，夹具呈半圆弧状，且弹簧柱由弹簧和底板构成。
7.优选的，所述滑动导轨、滑块、油嘴、端盖、端面密封垫片、弹簧柱和定位螺栓构成了柔性调节装置。
8.优选的，所述底座通过六角螺栓安装在工作台上，且夹具和滑块有两个，呈中心对称。
9.优选的，所述滑动导轨采用的材质是淬硬钢，且滑动导轨的表面进行一层喷砂处理。
10.优选的，所述钢珠是通过在上保持器和下保持器的沟槽内滑动，来达到调节夹具夹持。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该激光切割用晶圆片柔性夹持结构，结构设置合理，在夹具下方设置了由滑块、导轨组成的调节装置，便于调节夹具之间的大
小，且夹具中加入弹簧柱，形成柔性结构，能够夹持更多大小形状不同的晶圆片，提高了夹持装置的适应性，避免了更多夹具的生产，节约了夹具的生产成本，能够更好的保证晶圆片的生产。
附图说明
12.图1为本实用新型结构正视示意图；
13.图2为本实用新型结构正视展开示意图；
14.图3为本实用新型结构滑动导轨示意图。
15.图中：1、夹具；2、安装座；3、滑块；4、弹簧柱；5、衔接片；6、衔接杆；7、支撑块；8、底座；9、六角螺栓；10、滑动导轨，11、夹具连接块；12、油嘴；13、定位螺栓；14、弹簧；15、底板 16、端盖；17、端面密封垫片；18、上保持器；19、下保持器；20、钢珠。
具体实施方式
16.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
17.请参阅图1—3，本实用新型提供一种技术方案：一种电激光切割用晶圆片柔性夹持结构，包括夹具1、夹具连接块11、弹簧柱4和六角螺栓9，夹具1通过夹具连接块11下方连接有安装座2，且安装座2内部安装有滑块3，安装座2右侧通过衔接片5连接有衔接杆6，且衔接杆6一端连接有支撑块7，支撑块7下方焊接有底座8，起到夹持结构的固定作用，且滑块3下通过夹具连接块11连接有滑动导轨10，滑动导轨10内部安装有钢珠18，且钢珠18内部设置有下保持器17，钢珠18上方设置有上保持器16，且滑动导轨10上表面安装有定位螺栓13，滑块3左右侧安装有端盖14，且端盖14通过端面密封垫片15连接有油嘴12，油嘴12具有润滑，便于滑块3的滑动，夹具1内部焊接有弹簧柱4，夹具1内部设置有弹簧柱4，夹具1呈半圆弧状，且弹簧柱4由弹簧14和底板15构成，弹簧柱4起到柔性功能，适应形状、大小不一的晶圆片，滑动导轨10、滑块3、油嘴12、端盖14、端面密封垫片15、弹簧柱4和定位螺栓13构成了柔性调节装置，调节夹具1的大小，来适应更多形状大小不同的晶圆片，底座8通过六角螺栓9安装在工作台上，且夹具1和滑块3有两个，呈中心对称，滑动导轨10采用的材质是淬硬钢，且滑动导轨10的表面进行一层喷砂处理，清理滑动导轨10表面，使表面粗化，提高表面涂层的结合力，而且还可提高滑动导轨10的疲劳性能，钢珠18是通过在上保持器16和下保持器17的沟槽内滑动，来达到调节夹具1夹持。
18.工作原理：在使用该激光切割用晶圆片柔性夹持结构时，当将底座8通过六角螺栓9固定在工作台上时，一侧的夹具1用定位螺栓13固定在滑动导轨10，使之不滑动，晶圆片放入夹具1内的弹簧柱4中，将另一侧的夹具1的滑块3调整合适的位置，钢珠18在上保持器16和下保持器17的沟槽滑动，以达到调整，用定位螺栓13固定，这就是该激光切割用晶圆片柔性夹持结构工作的整个过程。
19.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修
改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。