技术特征：
1.一种激光加工装置，其通过对于对象物照射激光，在所述对象物的内部沿着假想面形成改性区域，所述激光加工装置的特征在于，包括：支承所述对象物的支承部；对由所述支承部支承着的所述对象物照射所述激光的照射部；使所述支承部和所述照射部中的至少一者移动的移动机构；和控制所述照射部和所述移动机构的控制部，所述照射部具有：调制所述激光的空间光调制器；和使由所述空间光调制器调制后的所述激光聚光于所述对象物的聚光部，所述控制部执行第1控制，该第1控制利用所述空间光调制器调制所述激光，以使所述激光分束成多束加工光，并且多束所述加工光的多个聚光点在与所述激光的照射方向垂直的方向上位于彼此不同的位置，在所述第1控制中，调制所述激光，使得在所述照射方向上在所述激光的非调制光的聚光点与所述对象物的跟激光入射面相反的一侧的相反面之间，存在所述改性区域。2.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：在所述第1控制中，利用多束所述加工光中包括的0级光的聚光，在所述照射方向上在所述激光的非调制光的聚光点与所述相反面之间，形成所述改性区域。3.如权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于：所述0级光的输出在多束所述加工光的输出中最小。4.如权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于：所述0级光的输出与多束所述加工光中的所述0级光以外的至少一束加工光的输出相同。5.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：在所述第1控制中，使多束所述加工光的多个聚光点在与所述激光的照射方向垂直的方向移动，以使得已形成的所述改性区域在所述照射方向上位于所述激光的非调制光的聚光点与所述相反面之间。6.如权利要求1～5中任一项所述的激光加工装置，其特征在于：所述对象物包括基板和设置在所述基板的与激光入射侧相反的一侧的功能元件层。7.如权利要求1～6中任一项所述的激光加工装置，其特征在于：所述控制部执行第2控制，该第2控制利用所述移动机构使所述支承部和所述照射部中的至少一者移动，以使多束所述加工光的所述聚光点的位置沿着所述假想面移动。8.如权利要求1～7中任一项所述的激光加工装置，其特征在于：在所述第1控制中，调制所述激光，以使得在所述照射方向上多束所述加工光各自的聚光点相对于该加工光的理想聚光点位于与所述激光的非调制光的聚光点相反的一侧，或者，多束所述加工光各自的聚光点相对于所述非调制光的聚光点位于与该加工光的理想聚光点相反的一侧。9.一种激光加工方法，通过对于对象物照射激光，在所述对象物的内部沿着假想面形成改性区域，所述激光加工方法的特征在于，包括：使所述激光分束成多束加工光，并使多束所述加工光的多个聚光点在与所述激光的照射方向垂直的方向上位于彼此不同的位置的工序，
在该工序中，使得在所述照射方向上在所述激光的非调制光的聚光点与所述对象物的跟激光入射面相反的一侧的相反面之间，存在所述改性区域。
技术总结
激光加工装置包括照射部和控制部。照射部具有空间光调制器和使由空间光调制器调制后的激光聚光于对象物的聚光部。控制部执行第1控制，该第1控制利用空间光调制器调制激光，以使激光分束成多束加工光，并且多束加工光的多个聚光点在与激光的照射方向垂直的方向上位于彼此不同的位置。在第1控制中，调制激光，以使得在照射方向上在激光的非调制光的聚光点与对象物的同激光入射面相反的一侧的相反面之间，存在改性区域。存在改性区域。存在改性区域。
技术研发人员：坂本刚志 是松克洋 荻原孝文
受保护的技术使用者：浜松光子学株式会社
技术研发日：2021.07.13
技术公布日：2023/3/17