专利名称：多工位旋转样品台的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种高真空多靶共溅射镀膜设备中的多工位旋转样品台背景技术：
目前，多靶共溅射镀膜装置中使用的样品台都是单工位样品台。单工位样品台具有结构简单，体积小，使用方便，但在一个样品台上只能放置一个样品夹，一个样品夹上也只能放置一个基片，每做一次溅射试验，需要打开溅射镀膜装置的腔体，换基片，抽本底真空，而且抽本底真空的时间通常需要10几个小时，所以试验效率很低。JGP450G型高真空三靶共溅射镀膜装置中使用的样品台就是单工位样品台。
该设备的生产厂家虽然有多工位样品台，但它并不能配备在多靶共溅射设备中，而是用于多靶单溅射镀膜装置。而且它的结构也完全不同于本发明。其工位调节方式是通过步进电机带动一套齿轮机构来实现的，其结构复杂，体积庞大，成本高(大约5万/套)。
发明内容本发明所要解决的技术问题，就是在多靶共溅射镀膜装置中配备多工位旋转样品台，做到只需开一次腔体，换一次基片，抽一次本底真空，就可以对多个基片进行多次的溅射试验。
为了解决上述技术问题，采取了以下技术方案。本发明的多工位旋转样品台包括了连接原旋转底座的过渡圆盘、调节工位用的从动齿轮盘、放置基片的多工位基片插槽、基片夹、基片挡板、弹簧、滚珠定工位孔、调工位的扇形主动齿轮和旋转调节杆。
本发明提供的多工位旋转样品台，是在原设备的旋转轴底座上附加一个过渡圆盘，在过渡圆盘的偏心位置有一个连接轴，连接轴上依次安装有从动齿轮盘、多工位基片插槽板和开有一个溅射孔的基片挡板，基片夹插入多工位基片插槽板的安装槽内，与从动齿轮盘啮合的扇形主动齿轮安装在原磁力旋转调节杆的末端，用来调整工位。
多工位基片插槽板上可以设置4至10个基片插槽(根据需要设计)。
在过渡圆盘和从动齿轮盘之间用弹簧、滚珠定位孔定工位，使从动齿轮盘能步进式转动。
本发明的优点和积极效果本发明就是在多靶共溅射镀膜设备中配备多工位旋转样品台，从而在试验时只需要打开一次腔体，换一次基片，抽一次本底真空，就可以对多个基片进行多次多靶溅射试验。采用该装置后，不仅使试验效率提高了6-7倍，还由于该多工位旋转样品台采用了手动调节工位的方式，极大地降低了投资成本。该发明装置换位准确，装卡试样简单，试验效率高，使用维修方便，性能价格比高。
图1是本发明多工位旋转样品台的结构示意图；图2是图1的俯视图；图3是将本发明样品台安装在多靶共溅射镀膜装置中的示意图。
具体实施方式实施例1图1标号分别表示1、弹簧、滚珠定位孔2、扇形主动齿轮3、6个基片夹4、多工位基片插槽5、过渡圆盘6、磁力旋转调节杆
7、连接轴8、基片挡板9、从动齿轮盘10、原样品台的旋转底座。
图2标号分别表示10、原样品台的旋转底座11、多工位旋转样品台(本发明)12、溅射靶13、溅射离子束。
如图1、2所示，本发明包括过渡圆盘(5)，调节工位用的从动齿轮盘(9)，与从动齿轮盘同步转动的多工位基片插槽板(4)，安装试样片的6个基片夹(3)，基片挡板(8)，在过渡圆盘和从动齿轮盘之间的弹簧、滚珠定工位孔(1)调节工位的扇形主动齿轮(2)，磁力旋转调节杆(6)，连接在过渡圆盘偏心位置的连接轴(7)组成。
本发明的工作原理及过程参见图2、3，拆除原设备上的单工位样品台及基片挡板，在连接原样品台的旋转轴底座(10)上，固定一个过渡圆盘(5)，在过渡圆盘的下方加工3个弹簧、滚珠定位孔(1)并在孔内安装弹簧、滚珠，同时在从动齿轮盘上加工6个工位孔，通过弹簧和滚珠的作用，为从动齿轮盘作步进式旋转定位，在过渡圆盘(5)的偏心位置加工一个螺孔，用来连接调节工位的从动齿轮盘(9)，在从动齿轮盘的下方固定放基片用的多工位基片插槽板(4)，使多工位基片插槽板(4)与从动齿轮盘(9)同步转动，基片挡板(8)安装在多工位基片插槽板(4)的外面，此基片挡板只开一个溅射孔，试验时，将被溅射基片旋转到该溅射孔就可以了。利用原来装基片挡板的磁力旋转调节杆(6)，安装调工位的扇形主动齿轮(2)，该扇形主动齿轮(2)和从动齿轮盘(9)处于同一水平线，通过两者的啮合来调整工位，参见图3。
权利要求1.一种多工位旋转样品台，包括原设备的旋转轴底座，基片夹和基片挡板构成，其特征是在原设备的旋转轴底座上附加一个过渡圆盘，在过渡圆盘的偏心位置配有一个连接轴，该连接轴上依次安装有从动齿轮盘、多工位基片插槽板和开有一个溅射孔的基片挡板，基片夹插入多工位基片插槽板的安装槽内，与从动齿轮盘啮合的扇形主动齿轮安装在原磁力旋转调节杆的末端。
2.根据权利要求1所述的多工位旋转样品台，其特征是多工位基片插槽板上设置有4至10个基片夹安装槽。
3.根据权利要求2所述的多工位旋转样品台，其特征是从动齿轮盘上设置有与基片夹安装槽即工位数量相同的弹簧定位孔，并通过弹簧、滚珠实现定位。
4.根据权利要求1所述的多工位旋转样品台，其特征是多工位基片插槽板的步进式转动是通过扇形主动齿轮与从动齿轮盘相啮合传动实现的。
专利摘要一种多工位旋转样品台。本实用新型提供的多工位旋转样品台，是在原设备的旋转轴底座上附加一个过渡圆盘，在过渡圆盘的偏心位置，安装一个连接轴，其上依次安装有从动齿轮盘、多工位基片插槽和开有一个溅射孔的基片挡板，基片夹插入多工位基片插槽内，与从动齿轮盘啮合的扇形主动齿轮安装在原磁力旋转调节杆的末端。本实用新型是在多靶共溅射镀膜设备中配备了多工位样品台，从而作到了开一次腔体，换一次基片，抽一次本底真空，就可以对多个基片分别进行多靶共溅射试验，可以提高试验效率6－7倍，另外，由于采用了手动调节工位的设计方案，降低了投资成本。该装置换位准确，装卡试样简单，使用维修方便，性能价格比高。
文档编号C23C14/34GK2923741SQ20062002591
公开日2007年7月18日 申请日期2006年4月25日 优先权日2006年4月25日
发明者李群英, 杜希文, 孙景, 赵兴 申请人:天津大学