专利名称：光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积真空设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及光伏组件制造领域，尤其是涉及一种光伏组件规模制造 用等离子体化学气相沉积真空设备。
背景技术：
现有技术中，用于光伏组件规模制造的等离子体化学气相沉积真空设 备，包括真空沉积腔室以及电极盒子等主要部件。 一个沉积电极盒子包含多 个射频电极，每个电极可以沉积4片太阳电池，将预热完成的电极盒子放入 一个真空沉积腔室当中，在真空室里完成非晶硅薄膜太阳电池的沉积，沉积 完成后将电极盒子取出进行冷却。
现有技术所存在的缺点在于每次在沉积前需要将装有待沉积玻璃的电
极盒子在其它装置预热好后，推入沉积腔室，然后将电极盒子的电极安装好；
而沉积完毕后，又需要将沉积好非晶硅薄膜太阳电池的电极盒子的电极卸 下，并将电极盒子拉出真空腔室，在其它辅助装置冷却。电极接头如此的频 繁装卸，对电极的接触产生及其不好的影响，电极的接触不好又将导致射频 辉光的不稳定，从而导致生产过程中的合格率不高。同时，现有系统也增加 了额外的预热装置和冷却装置，增加了生产线当中流水线的过程。
实用新型内容
本实用新型的目的是公开一种光伏组件规模制造用等离子体化学气相 沉积真空设备，它能提高产品的合格率，并且系统结构简单，能减少生产制 造的成本。
本实用新型的技术方案是一种光伏组件规模制造用等离子体化学气相 沉积真空设备，其特征在于它包括有真空腔体、电极盒子，所述真空腔体 为可分离式真空腔体，它包括相对固定的主体部和可分离部；所述电极盒子 装设在真空腔体主体部内，且在沉积前、沉积过程中、沉积后都保持与真空 腔体主体部相对静止。下面对上述方案进行进一步的解释
所述真空腔体优选的结构是包括 一个位于中段部位的主体部和分别位 于两端部位的可分离部，所述主体部和两端的可分离部可密闭构成真空腔 体，也可在需要装、卸沉积产品时分离开。
所述真空腔体的主体部设置有射频引入电极。
所述电极盒子设置有与射频引入电极对应连接的电极接头，且在沉积 前、沉积过程中、沉积后，射频引入电极都与电极接头保持接触。
所述电极盒子上部设置有进气口 ，进气口依次通过两个带筛状气孔的气 盒子与电极盒子内腔相通，第二个气盒子的筛状气孔的分布面积足够覆盖整 个电极盒子上方。
本实用新型与现有技术相比具有下列优点-
1. 本实用新型的光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积真空设备， 通过移动真空腔体的一部分，来避免电极盒子的运动，在生产过程中保持电 极盒子静止。这样避免了现有装置在每次沉积过程都需要将电极盒子推入、 推出导致电极频繁装卸接触而严重受损；避免了因电极受损而使得射频辉光 不稳定，导致产品的合格率降低。因此，本实用新型可以大大的提高生产的 合格率。
2. 本实用新型将预热、冷却系统和沉积系统并入一个系统设备内，减 少了生产线所需的设备数量，使得生产线变的更加简洁。
3. 本实用新型还可优选设计成用同一个抽气系统给两个沉积室抽气， 用同一套射频电源和气路供应系统为两套沉积室共同使用，可以大大的降低 设备的造价，从而实质性的降低了非晶硅薄膜太阳电池的每瓦制造成本。
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步的描述
图1为本实用新型真空腔体密闭时的结构示意图； 图2为本实用新型的真空腔体分离时的示意图； 图3为本实用新型真空腔体的截面示意图； 图4为本实用新型电极盒子的截面示意图。
其中10真空腔体；11真空腔体的主体部；12真空腔体的可分离部;
413真空腔体的可分离部；18射频引入电极；20电极盒子；21电极接头； 22电极板；23待沉积的玻璃；24进气口； 25气盒子一；26气孔；27气 盒子二； 28气孔。
具体实施方式实施例
如图l、图2所示， 一种光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积真 空设备，它包括有真空腔体IO、电极盒子20。
参考图2，真空腔体10为可分离式真空腔体，它包括一个位于中段部 位的相对固定的主体部11和分别位于两端部位的可分离部12、 13。主体部 11和两端的可分离部12、 13可在工作需要时密闭构成真空腔体，也可在需 要装、卸沉积产品时分离开。
参考
图1、图2，电极盒子20装设在真空腔体10内，且在沉积前、沉 积过程中、沉积后都保持与真空腔体10的主体部11相对静止。
如图3所示，真空腔体IO的主体部ll设置有射频引入电极18。如图4 所示，电极盒子20设置有与射频引入电极18对应连接的电极接头21。在 沉积前、沉积过程中、沉积后，电极盒子保持静止，因此射频引入电极18 都与电极接头21保持静止接触。这样避免了电极接头的频繁装卸而导致磨 损，避免因此而使射频辉光不稳定。
在现有技术的生产过程中，每次沉积完成后都需要将电极盒子拉出，而 沉积前将电极盒子推进去。本实用新型通过移动真空腔体的一部分，来避免 电极盒子的运动，为在整个生产过程中保持射频引入电极18与电极接头21 的静止接触带来了条件。
如图4所示，电极盒子20上部设置有进气口 24，进气口24依次通过 带筛状气孔26的气盒子一 25、带筛状气孔28的气盒子二 27与电极盒子20 内腔相通，气盒子二 27的筛状气孔28的分布面积足够覆盖整个电极盒子 20上方。进气的气流方向可参考图4中的箭头表示。
在整个工作过程当中，保持电极盒子20是静止的；沉积前，先往电极 盒子20当中装载待沉积玻璃23;装完毕后，将真空腔体10的主体部11和
可分离部12、 13相结合，组成一个真空腔体；然后，开始抽真空，沉积；沉积完毕后，将真空腔室10的可分离部12、 13部分往两边拉出，这样可以 保证电极盒子20保持静止，避免射频引入电极18与电极接头21频繁接触 而磨损。
应当指出，对于经充分说明的本实用新型来说，还可具有多种变换及改 型的实施方案，并不局限于上述实施方式的具体实施例。上述实施例仅仅作 为本实用新型的说明，而不是对本实用新型的限制。总之，本实用新型的保 护范围应包括那些对于本领域普通技术人员来说显而易见的变换或替代以 及改型。
权利要求1. 一种光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积真空设备，其特征在于它包括有真空腔体(10)、电极盒子(20)；所述真空腔体(10)为可分离式真空腔体，它包括相对固定的主体部(11)和可分离部；所述电极盒子(20)装设在真空腔体主体部(11)内，且在沉积前、沉积过程中、沉积后都保持与真空腔体主体部(11)相对静止。
2. 根据权利要求1所述的光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积 真空设备，其特征在于所述真空腔体(10)包括有一个位于中段部位的主体部(11)，以及分别位于两端部位的可在需要装、卸沉积产品时分离开的可分离部(12、 13)。
3. 根据权利要求1或2所述的光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积真空设备，其特征在于所述真空腔体(10)的主体部(11)设置有射频引入电极(18)。
4. 根据权利要求3所述的光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积 真空设备，其特征在于所述电极盒子(20)设置有与射频引入电极(18) 对应连接的且在沉积前、沉积过程中、沉积后都与射频引入电极(18)保持 接触的电极接头(21)。
5. 根据权利要求1所述的光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积 真空设备，其特征在于所述电极盒子(20)上部设置有进气口 (24)，进 气口 (24)通过带筛状气孔的气盒子与电极盒子(20)内腔相通。
6. 根据权利要求1所述的光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积 真空设备，其特征在于所述电极盒子(20)上部设置有进气口 (24),进 气口 (24)依次通过带筛状气孔(26)的气盒子一(25)、带筛状气孔(28) 的气盒子二 (27)与电极盒子(20)内腔相通。
7. 根据权利要求6所述的光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积 真空设备，其特征在于所述气盒子二 (27)的筛状气孔(28)的分布面积 足够覆盖整个电极盒子(20)上方。
专利摘要本实用新型公开了一种光伏组件规模制造用等离子体化学气相沉积真空设备，它包括有真空腔体(10)、电极盒子(20)；真空腔体(10)为可分离式真空腔体，它包括一个位于中段部位的主体部(11)和分别位于两端部位的可分离部(12、13)，主体部(11)和两端的可分离部(12、13)可密闭构成真空腔体，也可在需要装、卸沉积产品时分离开；电极盒子(20)装设在真空腔体主体部(11)内，且在工作中保持与真空腔体主体部(11)相对静止。本实用新型通过移动真空腔体的一部分，来避免电极盒子的运动，避免了电极频繁装卸接触而严重受损；避免了因电极受损而使得射频辉光不稳定进而导致产品合格率降低。此外，它结构简单，降低了制造成本。
文档编号C23C16/44GK201288217SQ200820160180
公开日2009年8月12日 申请日期2008年9月28日 优先权日2008年9月28日
发明者周子彬, 奚建平 申请人:奚建平