专利名称：Pecvd设备上料及下料端的输送台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及太阳电池生产设备技术领域，尤其是一种PECVD设备上 料及下料端的输送台。
背景技术：
目前我们的电池生产线PECVD部分对石墨条的损耗以及设备卡框破片的 现象比较严重。纵观目前PECVD设备的机台的上料端和下料端的输送台，如
图1所示，在总长80cm的输送台共有4组2对的轮子负责带动石墨框进入反 应腔内，这样同侧的输送主动轮之间的距离就有25cm，距离过大就直接导致 带动石墨框时，轮子对石墨条的摩擦力会变大以及运行中稍有不平稳会直接 引起石墨框在腔体里发生卡框。石墨框在进框体时因不平稳而发生抖动，直 接会导致石墨条的松动以及损坏，甚至整个石墨框卡在反应腔体内，使石墨 框上的硅片产生破片。同时现在石墨框的价格不断上涨。
实用新型内容
为了克服原有设备容易损坏放置硅片的石墨框的不足，本实用新型提供 一种使石墨框更加稳定地移动进入反应腔的PECVD设备上料及下料端的输送
台o
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是 一种PECVD设备上料
及下料端的输送台，具有石墨框输送主动轮，输送主动轮之间设置至少一个 惰轮，组成惰轮单元。这些惰轮给石墨框更多的支撑点，在增加石墨框运行 的平稳性外，轮子对石墨条的摩擦也会更小，增加石墨条的使用寿命。
为了避免对PECVD设备机台原有结构的破坏，惰轮单元中的每个惰轮通过独立的支架安装在输送台上。
为了解决因为石墨框的石墨条底部凹凸不平吃不上力而使石墨框在惰轮 上打滑的现象，惰轮通过弹簧调节器安装支架上，使惰轮和石墨条底部充分 接触。
为了使惰轮在工作是更加稳定，惰轮单元中的相邻的惰轮支架彼此固定， 成为一个整体。
本实用新型的有益效果是，在同一段空间里增加了足够多的支撑点使得 石墨框在运行中更加平稳，避免了因为石墨框抖动而磕坏石墨条，石墨条的 寿命增加，同时石墨框的卡框现象减少，硅片的破片率下降，在实际生产中
安装好惰轮后破片率下降了 0. 16%。以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是原来的PECVD设备上料及下料端的输送台的结构示意图。
图2是本实用新型的结构示意图。
图3是本实用新型的惰轮的安装结构示意图。
图中l.石墨框输送主动轮，2.惰轮，3.支架，4.弹簧调节器，5.石墨框。
具体实施方式
如图2和3中所示， 一种PECVD设备上料及下料端的输送台，具有石墨 框输送主动轮1，输送主动轮1之间设置至少一个惰轮2，组成惰轮单元，在 本实施例中除了靠紧反应腔处设置三个惰轮2，其他的石墨框输送主动轮1 之间设置四个惰轮2。惰轮单元中的每个惰轮2通过独立的支架3安装在输 送台上，支架3成L型，方便安装。惰轮2以及支架3都是不锈钢制成的，不会因为石墨框5温度过高而受影响，惰轮2的高度会和原有的石墨框输送 主动轮l的高度一致，确保石墨框5在上面的平稳。惰轮2通过弹簧调节器 4安装支架3上，使惰轮2和石墨框5底部充分接触。惰轮单元中的相邻的 惰轮2的支架3彼此固定，成为一个整体。
权利要求1、一种PECVD设备上料及下料端的输送台，具有石墨框输送主动轮(1)，其特征是所述的输送主动轮(1)之间设置至少一个惰轮(2)，组成惰轮单元。
2、 根据权利要求1所述的PECVD设备上料及下料端的输送台，其特征是 所述的惰轮单元中的每个惰轮(2)通过独立的支架(3)安装在输送台上。
3、 根据权利要求2所述的PECVD设备上料及下料端的输送台，其特征是 所述的惰轮(2)通过弹簧调节器(4)安装支架(3)上。
4、 根据权利要求2所述的PECVD设备上料及下料端的输送台，其特征是-所述的惰轮单元中的相邻的惰轮(2)的支架(3)彼此固定，成为一个整体。
专利摘要本实用新型涉及太阳电池生产设备技术领域，尤其是一种PECVD设备上料及下料端的输送台，具有石墨框输送主动轮，输送主动轮之间设置至少一个惰轮，组成惰轮单元。这些惰轮给石墨框更多的支撑点，在增加石墨框运行的平稳性外，轮子对石墨条的摩擦也会更小，增加石墨条的使用寿命。
文档编号C23C16/44GK201258359SQ20082016020
公开日2009年6月17日 申请日期2008年9月12日 优先权日2008年9月12日
发明者寅 沈, 王仁杰 申请人:常州天合光能有限公司