专利名称：一种模块化太阳能选择性涂层连续镀膜设备的制作方法
技术领域：
一种模块化太阳能选择性涂层连续镀膜设备技术领域：
本实用新型属于太阳能设备中的集热片镀膜领域，尤其涉及一种采用模块 化设计，可以灵活进行组装调整，能够同时适合多种不同镀膜工艺的连续太阳 能选择性吸收膜层的镀膜生产设备。背景技术：
太阳能热水器就是吸收太阳的辐射热能，加热冷水提供给人们在生活、生 产中使用的节能设备。它是我国太阳能热利用中最为成熟和最为先进的产品。 为百姓提供环保、安全、节能、卫生的新型热水器产品。我过前些年的太阳能 热水器主要是以真空管太阳能热水器为主，但是真空管太阳能热水气只时候使 用在小型独立使用的太阳能热水器中。随着太阳能利用的不断进步，现在一些 大型太阳能热水器多采用平板式太阳能热水器，由于这种太阳能热水器中的集 热板采用的都是金属板，在坚固耐用方面具有显著的优点，基本可以达到与建 造物具有相同的使用寿命。在平板式的太阳能设备中，其中的集热片表面镀制 的选择性太阳能吸收膜层是决定太阳能吸收利用效率的关键部件，现在针对膜 层镀制的方法和设备也比较多。从镀制方法上来看，现在有很多的膜层镀制方 法，使用不同的方法也同样可以镀制具有不同吸收性能的膜层，而这些膜层又 具有不同的吸收特点。从镀制设备上来讲这些膜层又需要不同的设备来制作。 现在主要的制作设备都是采用单独的工艺室，依次镀制不同的膜层。例如首先对膜层表面进行预处理，就需要把上述的集热片基材方到预处理室中进行处 理之后，在放到多个工艺室中分别进行不同膜层的镀制。由于上述膜层的镀制 过程需要在真空环境下进行，所以每一个工艺过程在放入集热片基材之后，进 行抽真空和镀制过程，因此其生产效率非常低。另外还有一种是就是将上述的 多个工艺室连接成一体，并在各个工艺室之间设置一个连续的传输装置，并在 每一个工艺室的两端设置真空锁的方式，制作成一条生产线。但是这种方式中 虽然提高了生产效率，但是这种设备由于已经安装成为一个整体，而其中的各 个工艺室的位置也相对固定，所以这种设备只能使用在一种固定的镀膜工艺中。 即使进行改装用于其他镀膜工艺中，也需要进行大量的改制才可以实现。而针 对不同的工艺，配备一条生产线，不但投资巨大，而且由于不同膜层的需求量 不同，所以必然会有一些设备经常闲置，导致很大的浪费。上述的问题一致存 在于行业中，至今没有一个非常有效的解决方案。
发明内容本实用新型的目的是提供一种采用模块化设计，通过灵活组装的方式进行 调整的太阳能选择性吸收膜层的镀膜生产设备。该生产设备可以通过增减不同 的工艺室和调整不同工艺室在生产线中的位置，实现适应多种不同生产加工工 艺的新型镀膜生产设备。为了达到上述的技术目的。本实用新型采用的技术解决方案包括以下技术 内容 一种模块化太阳能选择性涂层连续镀膜设备,包括预处理室、至少一个工艺室组成，所述的预处理室和工艺室中均设置有真空泵，预处理室和工艺室的两端分别设置有进料口和出料口，且上述的预处理室和工艺室的两端均设置有 真空锁闭装置，其特征在于所述的预处理室和工艺室的两端的进料口和出料 口上均设置有尺寸和形状完全相同或者相互配合的连接装置，通过该连接装置 将上述的预处理室和工艺室依次连接成一个整体的连续镀膜设备。所述的预处理室还通过设置在张力控制室两端的连接装置和收巻室一端的 连接装置，将张力控制室和收巻室进行连接，所述的工艺室还通过连接装置连 接设置在检测效验室、张力控制室两端的连接装置和设置在收巻室一端的连接 装置，将效验检测室、张力控制室和收巻室进行连接，上述的张力控制室、检 测效验室、收巻室、放巻室两端。所述的收巻室、张力控制室、预处理室、工艺室、检测效验室、收巻室底 部均固定有滚轮。所述的滚轮为圆柱形，且其滚动面一侧设置有突起的环形凸棱，该滚轮下 部铺设有铁轨。所述的连接装置为带有密封圈的法兰盘，该法兰盘外侧边缘设有用于紧固 的螺纹孔。所述的连接装置为一端设置一端采用具有圆锥形外表面与另外一端采用圆 锥形内表面且相互配合的结构，上述的相互接触的两个圆锥形表面之间设有密 封圈。所述的真空锁闭装置为隔离板，该隔离板全部或者至少接触部分使用弹性 的材料制成， 一对隔离板对置的缝隙由弹性材料密闭，该缝隙与带材通过位置相应且带材由缝隙中通过，该隔离板在预处理室、工艺室、张力控制室、检测 效验室的进料口和出料口的内侧各设置至少一个，收巻室的出料口和放巻室的 进料口也设置有至少一个隔离板。所述的预处理室中部设置有隔离板，该隔离板全部或者至少接触部分使用 弹性的材料制成， 一对隔离板对置的缝隙由弹性材料密闭，该缝隙与带材通过 位置相应且带材由缝隙中通过，上述的隔离板至少形成两个缝隙，分别用于带 材的进出，并通过上述的隔离板将预处理室和工艺室分隔成两个相对独立的腔 体，且该腔体上下分别设置真空泵。所述的预处理室、工艺室、张力控制室、检测效验室、收巻室和放巻室中 均设置有至少一个传输使用的辊。通过采用上述的技术解决方案，本实用新型获得了以下技术优点和效果 本实用新型通过采用在所有的独立生产设备中，包括预处理室、工艺室、张力 控制室、检测效益室、收巻室、放巻室等所有功能独立的膜层生产设备中使用 到的独立设备的两端、或者一端，设置相同或者相互配合的连接装置，使得上 述的生产设备可以灵活的进行组装，这样可以实现把其中任意一个生产设备， 安装到生产线中的任意一个位置，这样可以在使用同一套生产设备的前提下， 只要按照生产工艺的流程，将设备的按照顺序进行调整和增减，就满足多种不 同的生产工艺。使设备的潜能得到充分的发挥，而且使用这种标准化连接装置， 使设备在进行调整的时候，简单而且方便且省时省力，可以实现经常性的生产 设备调整；本实用新型通过采用在预处理室、工艺室、张力控制室、检测效益室、收巻室、放巻室中采用隔离板的结构，可以保证带材在进行传输过程时的 密封性，这样就可以实现带材的连续不间断的生产提供必要的设备条件，所以 本实用新型中的设备在进行镀膜过程中，不需要在带材进出不同的工作室中的 时候，像传统生产设备那样每次都要进行单独的抽真空过程，使整个生产过程 连续不间断的进行，所以生产设备的生产效率得到了大幅度的提升；本实用新 型通过在预处理室、工艺室等对真空环境要求比较高的工作室的中部设置隔离 板，使上述的工作室被分隔成两个独立的腔体，同时在这两个腔体中分别设置 一个真空泵，而条带由工艺室的下发进入每一个工艺室中，这是在每一个工艺 室的上下分别使用分子泵抽气，可以有效的防止工艺室的气体窜气，保证个工 艺室屮形成的工艺条件，采用这种结构的工艺室，可以使上下两个工艺室具有不同的气压，而工艺室上面气压只有零点几帕，下面气压有10—2—10—3帕，有两个数量级的质差，因此可以保证上下不会窜气，带材充下部进出工艺室，因上 部的工作气体在压差的作用下，不会窜到下面，这样也就保证了左右不同的工 艺室之间不会窜气，通过这种结构设计，进一步的保证了各个独立的工作室之间的稳定真空环境，保证了膜层的质量；本实用新型通过采用了两种结构的连 接装置，均可达到方便的固定和连接不同的独立工作室的目的，同时这两种连 接装置都具有安装简单快捷的目的，同时也可以保证连接后的密封性能和牢固 程度，使本实用新型的模块化设计的连接方式得到了实现。总之，本实用新型通过采用模块化设计的思路，配合简单快捷的连接装置， 以及可以实现活动密封的真空锁闭装置，使得这种模块化的设计得到了实现。从而提供了使用一套生产设备，通过灵活的调整和组装，实现可以生产不同工 艺流程的太阳能选择性吸收膜层的新型连续生产设备。
图1为本实用新型模块化对现有技术中生产设备改进的示意图； 图2为本实用新型中使用的新型模块化连续生产设备的示意图； 图3为本实用新型另外一种模块连接方式的结构示意图； 图4为本实用新型中采用使用弹性材料制作的隔离板的示意图； 图5为本实用新型中使用的端部带有弹性材料额隔离板示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型进行进一步的描述-本实用新型的模块化设备的设计构思，可以同时适用于对现有设备的改进， 也可以使用于全新的连续镀膜设备中。如图1所示，为本实用新型使用于现有 设备改进中的一种具体实施方式
。针对现有的镀膜生产过程，需要用到的独立 的工作室，这个的工作室是指在镀膜过程中可以单独完成一个单独工艺步骤的 生产设备。在之前的设备中一般包括预处理室l、至少一个工艺室2组成，预处 理室1在集热片基材上进行离子刻蚀，将基材表面的杂质清理干净，也可以使 之后镀制的膜层具有更好的附着力，使膜层更加坚固。而每一个工艺室2都负 责镀制一个独立的膜层，所以工艺室2的设备是完全根据生产工艺所设置的。 例如如果需要镀制三层膜层，那么至少需要设置三个工艺室2，由每个工艺室 2完成一个单独的膜层。如果是四个膜层，同样需要设置四个工艺室2来完成。每个工艺室2中根据镀制涂层的材料不同，采用不同材料的的靶体14，例如 铝靶、钼靶等等。由于上述的预处理工艺和镀膜工艺都需要在真空环境下进行， 所以在所述的预处理室1和工艺室2中均设置有真空泵。为了实现将上述的设 备通过模块化的方式连接在一起，就需要设备规格统一的连接装置将上述的设 备连接成一体，以便形成连续的生产线。在本实用新型中采用的连接装置由两 种，首先是采用常见的法兰盘3结构，就是在上述的每个设备的两端设置统一 规格的法兰盘3，而在连续生产过程中，这两端分别成为进料口和出料口。然后通过螺栓4固定法兰盘3将上述的设备连接成为整体的生产线。这种方式中采 用的法兰盘3的规格和尺寸完全相同，这种结合方式的优点是坚固耐用，使用 非常可靠。如图3所示，为本实用新型中采用的另外一种连接装置，该连接装 置属于配合形式的连接装置，这种连接装置中两个需要进行连接的预处理室1 或者工艺室2的两端分别采用锥面连接，其具体结构为一端设置一端采用具有 圆锥形外表面5与另外一端釆用圆锥形内表面6且相互配合的结构，上述的相 互接触的两个圆锥形表面之间设有密封圈7。而这种结构在连接的时候，如图3 所示，采用类似法兰盘的结构通过螺丝4进行固接的方式，也可以采用在上述 的工作室两侧的外壁上设置一个固定孔，通过长螺丝进行拉紧的方式进行固接，所以对于这种结构的连接装置的连接，可以通过其他多种方式实现。因为这种 连接方式只要在两个工作室之间施加一定的压力，就可以是设置在两个锥面之 间的密封圈起到密封的作用，同时两个锥面之间的插接配合，可以防止两个设 备之间摆动，也就等于完成了两个工作室之间的连接。如图1所示，由于本实用新型中在采用上述的模块化组装结构，实现生产线的灵活组装。还有另外一个目的就是实现连续的不间断镀膜生产。所以在需要在各个工作室中设置一个自动传输装置，在图5所示，基材采用传送带8的
传输方式，集热片基材9固定在传送带8上，放置在通过隔离板10时基材9滑动，该传送带可以采用金属的传送带8，可以在传输带8的表面冲压出突出止退片11的方式固定集热片基材8。根据现有的太阳能选择性吸收膜层生产工艺可知，上述的预处理室l、多个工艺室2以及其他可能使用到的工作室中的工作环境要求个不相同。所以实现这种连续镀膜生产就需要一种即可以连续通过集热片基材9和传送带8，同时在通过时具有一定密封作用的装置，所以本实用新型中使用了隔离板10的方式来实现这个目的。本实用新型中的隔离板10全部或者至少接触部分使用弹性的材料制成，如图4所示，隔离板10可以全部采用弹性材料制作，例如使用橡胶、硅胶等材料制作。如图5所示，为了提高其整体的强度，也可以使用金属板、或者塑胶板制作主体12，而在下端设置弹性材料13。这样结构的隔离板10具备较高的使用强度。对应设置的两个隔离板10对置的缝隙由弹性材料13密闭，该缝隙与传送带8和放置在传送带8上的集热片基材9通过位置相应，传送带8和集热片基材9由缝隙中通过，由于在本实用新型中采用的传送带8为金属带，所以其厚度非常薄，同样集热片基材9的厚度也很薄， 一般之后零点几毫米，所以上述的传送带和基材在通过隔离板10时，是有隔离板10上的弹性材料13中挤压穿过的，所以这种通过方式几乎是完全密封的，这是再配合设置在工作室中真空泵的工作，就可以保证工作室中的真空度不变。隔离板10在预处理室1、工艺室2、张力控制室、检测效验室的进料口和出料U的内侧各设置至少一个，收巻室的出料口和放巻室的进料口也设置有至少个隔离板10。当在上述的位置只设置一对隔离板IO难以满足真空度要求的时候，就可以再设置一对或者几对隔离板10，这样可以进一步提高设备之间的密封性能，放置工作室之间产生窜气。
由于本实用新型中的工作室包括真空泵等，具有一定的重量，为了使模块化的组装和拆卸过程更加轻松，在本实用新型中的所有工作室的底部，均可以安装滚轮，这样可以更加方便的移动这些工作室，使整个组装或者拆卸过程更加方便。为了提高上述各个工作室之间的安装精度，可以采用在这些独立的工
作室的底部安装圆柱行的滚轮15，且其滚动面一侧设置有突起的环形凸棱，该滚轮15下部铺设有铁轨16。实际上这种滚轮相当于火车轮的结构。通过这种结果，可以有效控制上述各个工作室之间的位置，达到提高安装精度的目的。如图2示，为本实用新型提供的一种新型的连续镀膜设备。本实用新型是针对板式太阳能集热器中使用的集热板表面上镀制的选择性吸收涂层的专用设备，该设备主要的优点是一种连续巻绕式磁控溅射真空镀膜装置，在针对大型的巻状带材进行长时间的持续镀膜工作，可以大幅提高镀膜的生产效率，降低生产成本和提高镀膜质量的优。如图1所示，包括放巻室l、收巻室2、张力控制室3、预处理室4、工艺室5组成生产线，放巻室l和收巻室2分别位于设备的首末两端，主要的功能是用于放置和收取金属带材，常用的带材为厚度在零点几毫米的铜带或者铝带。放巻室1和收巻室2分别与一个张力控制室3连接，放巻室1 一端的张力控制室3连接有预处理室4，预处理室
4是在镀膜之前去除带材表面的杂质，提高镀层的附着力。预处理室4和收巻室2 —端的张力控制室3之间设置有至少一个工艺室5，这些工艺室5设置的数量与镀膜的工艺和镀制的可选择性涂层的材质和构成有关，即根据镀层的层数和工艺采用不同数量的工艺室5。本实用新型的设计思路是采用模块化设计，所以上述的设备均具有统一的标准法兰盘6连接端，这样在生产过程中可以根据使用产品镀膜工艺方便的进行设备调整。所以在放巻室l、收巻室2的一端及张力控制室3、预处理室4、工艺室5的两端均设置有相同规格的法兰盘6，并通过法兰盘6依次连接上述放巻室1、收巻室2、张力控制室3、预处理室4、工艺室5为一体，所述的放巻室l、张力控制室3、预处理室4、工艺室5、收巻室2均为真空室，所述的放巻室l、张力控制室3、预处理室4、工艺室5、收巻室2中均设有传输使用的辊9。通过上述的多个不同功能的独立工作室进行组合，即构成本实用新型的连续巻绕式磁控溅射真空镀膜装置。下面针对每一工作室进行详细的说明
所述的放巻室1中部安装的是放置带材8的辊9，其在放巻室1内还安装有低温吸附阱，以便形成-120度的温度的真空环境，在这样的工作环境下，有助于吸附带材上的气体，从而减少进入之后工艺室中的气体，使工艺室5中具有更好的镀膜环境。在上述放巻室1的一侧，设置有通过双阀连接的罗茨泵，也可以使用扩散泵等其他真空泵，用于形成放巻室1中的真空环境。另外上述的辊9上还连接有驱动辊转动的驱动电机，在放巻室中可以不设置驱动电机，而通过收巻室中的驱动电机拉动带材来实现放巻过程。其一端的出口处设置有隔离板IO，该隔离板10全部或者至少接触部分使用弹性的材料制成， 一对隔离板
10对置的缝隙由弹性材料密闭，该缝隙与带材8通过位置相应且带材8由缝隙中通过。为了使带材8的输送方向于上述的缝隙方向水平，在带材8放置的辊的一侧设置有用于调整带材8方向的辊9。
所述的收巻室2结构于放巻室1结构基本相同，只是其中不需要设置低温吸附阱，因为已经经过镀膜工艺之后，成膜之后的带材没有必要进行吸附处理，另外在收巻室中设置有驱动电机及变速装置，该驱动电机用于驱动收巻室2中的辊转动并带动带材运动，需要注意的是该电机应该可以调整转速，因为带材8镀膜的过程，需要上述的带材8具有恒定的线速度。
所述的两个张力控制室3中内腔连接有扩散泵，该扩散泵设置在张力控制室3的一侧，用于使张力控制室3中形成真空环境。其两端设置有与放巻室2等统一规格的法兰盘6，至少一个法兰盘6内设置有隔离板10。张力控制室3的其内腔中水平设置有由三个辊9构成的三角张力控制装置。
所述的预处理室4中设置有离子源及电源，真空室并抽真空后，在预处理室4中通入Ar气，开靶极电源，加阴极电压350V-500V电离Ar气，利用Ar在电场作用下获得动能加速撞击靶面，使靶面原子溅射出来并沉积在基片表面实现薄膜沉积，同时靶材背面磁场束缚电子，增加电子碰撞几率，提高高化率。其空腔中设置有分子泵，以便形成真空环境，同样在预处理室4的两端，设置有统一规格的法兰盘6，法兰盘6内侧是隔离板10。为了使上述的预处理室4中形成上下两个相对独立的腔体的结构，在预处理室4的中部设置有隔离板10，该隔离板10全部或者至少接触部分使用弹性的材料制成， 一对隔离板10对置
的缝隙由弹性材料密闭，该缝隙与带材8通过位置相应且带材8由缝隙中通过。实际使用是可以情况使用不同结构的隔离板10，如图1中的隔离板10设置为三个，位于带材10中部的一个隔离板10和带材8两侧的另外两个隔离板10相互配合，形成两条由弹性材料闭合的缝隙，带材8分别由这两条缝隙中进出。预处理室4中的离子源及电源一般设置在预处理室4的上方中部，其中部为直径较粗的主辊ll，主辊ll的两侧设置有用于调整条带方向的辊9。
所述的工艺室5中设置有一组中频靶12，工艺室5其中设置有三个辊，设置在中部的为做为镀制过程主要工作面的主辊11，其两侧是调整条带方向的辊9。主辊ll的直径要比较粗大，使其表面比较宽阔，以便中频靶12进行膜层的镀制。中频靶12位于位于中部的主辊11的上方，在本实用新型中采用的是对应设置一组中频靶12，中频靶12的设置为一个以上，而设置的数量与工艺的要求有关，如果需要镀制的膜层很厚，则需要使用更多的中频耙12。其空腔中设置有分子泵。需要说明的是在工艺室5中的辊为水冷辊9。由于在镀膜过程中，离子轰击金属表面的时候会产生热量，所以在辊9中通入冷水进行水冷可以平衡控制带材8的温度，另外由于本实用新型中的连续巻绕式磁控溅射真空镀膜装置采用的连续工作的方式， 一次镀膜至少在20个小时以上，采用水冷辊9是必须的温度控制手段。同前一个工作室一样工艺室5的两端也设置统一规格的标准法兰盘6，其内侧设置有隔离板IO，这个隔离板10的作用主要是隔离各个工艺室之间的空气，放置工艺室之间窜气。
另外在所述的工艺室5中部设有工艺室隔离板10将工艺室5分隔成上下两个气室，该隔离板10为平板形状，且为两个相对设置将工艺室5分隔成两个独
立腔体，该隔离板10全部或者至少接触部分使用弹性的材料制成， 一对隔离板10对置的缝隙由弹性材料密闭，该缝隙与带材8通过位置相应且带材由缝隙中通过，上述的镀制带材8的入口在工艺室5的下方。其中上下两个腔体中分别设置有分子泵，使上述两个腔体中形成不同的真空度的环境。工艺室5中的要求是上下不能窜气，各个工艺室5之间左右也不能窜气，。通过在工艺室5上下两个气体中使用分子泵形成不同的真空环境， 一般上面为零点几帕，下面为10、10-3帕，有两个数量级的质差，保证了两个腔体中不会窜气，同时如l图所示，带材8从下部进出，因上部的工作气体在压差的作用下不会窜到下面，这样也就保证了左右不会窜气。
本实用新型中的一个关键的结构就是隔离板10的设置，通过在工艺室腔体内设隔离板1，在不同的工作室之间设置隔离板10,可以保证在整个生产线中形成多个相对独立，且真空度不同的独立腔体，满足镀制过程中不同要求的工艺条件。
所述的末端张力控制室3和工艺室5之间设置有检测纠偏室13，其中设置有太阳吸收率和发射率检测设备，检测纠偏室中设置有四个辊9，以便使其上部的带材处于水平状态，便于设备进行检测，上述的检测纠偏室B的作用主要是对镀制完成的带材进行太阳能吸收率和发射率的在线检测，当上述的技术指标发射偏离之后，及时调整工艺室5中的技术参数，保证带材8的镀膜质量。
在本实用新型中采用具有四个工艺室为例。对整个连续巻绕式磁控溅射真空镀膜装置进行说明，所有独立的各个工作室是根据生产工艺设置的，在本例
子中，第一个为放巻室l， 一侧为张力控制室3、预处理室4、四个工艺室5、检测纠偏室13、张力控制室3、最后是收巻室2。这些工作室之间通过法兰盘6进行连接，法兰盘6之间设置密封圈来保证密封性能。第一个中的两个中频靶12分别为不锈钢中频靶和Mo中频靶，这个工艺室5中主要负责镀制金属衬底，调节真空度为10—4Pa，电压480V，以提高待镀带材表面结合力和抗腐蚀性能；第二个中的两个中频靶12均设置为铝中频靶，主要是用铝做反应溅射，做三氧化二铝通氮气进行反应溅射，溅射室内气压保持在0.5Pa-1X 10"Pa，电压400V;第三个中同样设置两个铝中频靶12，做反应溅射，Al、02，气压保持在0.5 X 10"Pa，电压380V同样通氮气进行反应溅射，通过控制第三和第二室不同的气压获得不同的金属体积比的膜层，从而获得具有一定光谱特性的薄膜，该膜层对可见光具有选择性吸收性能；第四个中为铝中频靶。用于镀制Al302保护陶瓷层，通氧气进行反应溅射，在第二和第三层膜上镀一层减反射膜，同时该膜层还有防腐作用，提高膜层耐候性。上述的设备适合镀制两种膜系，第一种如上面介绍，第二种膜系是干涉吸收型的吸收膜，就是用低金属体积比的干涉吸收膜，即在Al3Cy莫层里，镶嵌金属粒子。
上述描述只能被看作是较佳实施例。本技术领域中的那些熟练技术人员以及那些制造或使用本发明的人通过本专利中的提示内容，可以不需创造性工作，即可得知本发明的其它多种变化型式。因此，要理解的是，上述图示实施例仅仅是作示范用的，它并不会对本发明的范围构成限制，本发明的范围根据专利法的原则、包括等效物的原则所解释的权利要求来限定。
权利要求1、一种模块化太阳能选择性涂层连续镀膜设备，包括预处理室、至少一个工艺室组成，所述的预处理室和工艺室中均设置有真空泵，预处理室和工艺室的两端分别设置有进料口和出料口，且上述的预处理室和工艺室的两端均设置有真空锁闭装置，其特征在于所述的预处理室和工艺室的两端的进料口和出料口上均设置有尺寸和形状完全相同或者相互配合的连接装置，通过该连接装置将上述的预处理室和工艺室依次连接成一个整体的连续镀膜设备。
2、 根据权利要求1所述的一种模块化太阳能选择性涂层连续镀膜设备，其特 征在于所述的预处理室还通过设置在张力控制室两端的连接装置和收巻 室一端的连接装置，将张力控制室和收巻室进行连接，所述的工艺室还通 过连接装置连接设置在检测效验室、张力控制室两端的连接装置和设置在 收巻室一端的连接装置，将效验检测室、张力控制室和收巻室进行连接， 上述的张力控制室、检测效验室、收巻室、放巻室两端。
3、 根据权利要求1或者2任意一个所述的一种模块化太阳能选择性涂层连续 镀膜设备，其特征在于所述的收巻室、张力控制室、预处理室、工艺室、 检测效验室、收巻室底部均固定有滚轮。
4、 根据权利耍求1所述的一种模块化太阳能选择性涂层连续镀膜设备，其特 征在于所述的滚轮为圆柱形，且其滚动面一侧设置有突起的环形凸棱， 该滚轮下部铺设有铁轨。
5、 根据权利要求1或者2任意一个所述的一种模块化太阳能选择性涂层连续镀膜设备，其特征在于所述的连接装置为带有密封圈的法兰盘，该法兰 盘外侧边缘设有用于紧固的螺纹孔。
6、 根据权利要求1或者2任意一个所述的一种模块化太阳能选择性涂层连续 镀膜设备，其特征在于所述的连接装置为一端设置一端采用具有圆锥形 外表面与另外一端采用圆锥形内表面且相互配合的结构，上述的相互接触 的两个圆锥形表面之间设有密封圈。
7、 根据权利要求1或者2任意一个所述的一种模块化太阳能选择性涂层连续 镀膜设备，其特征在于所述的真空锁闭装置为隔离板，该隔离板全部或 者至少接触部分使用弹性的材料制成， 一对隔离板对置的缝隙由弹性材料 密闭，该缝隙与带材通过位置相应且带材由缝隙中通过，该隔离板在预处 理室、工艺室、张力控制室、检测效验室的进料口和出料口的内侧各设置 至少一个，收巻室的出料口和放巻室的进料口也设置有至少一个隔离板。
8、 根据权利要求1或者2任意一个所述的一种模块化太阳能选择性涂层连续 镀膜设备，其特征在于所述的预处理室中部设置有隔离板，该隔离板全 部或者至少接触部分使用弹性的材料制成， 一对隔离板对置的缝隙由弹性 材料密闭，该缝隙与带材通过位置相应且带材由缝隙中通过，上述的隔离 板至少形成两个缝隙，分别用于带材的进出，并通过上述的隔离板将预处 理室和工艺室分隔成两个相对独立的腔体，且该腔体上下分别设置真空 泵。
9、 根据权利要求1或者2任意一个所述的一种模块化太阳能选择性涂层连续镀膜设备，其特征在于所述的预处理室、工艺室、张力控制室、检测效 验室、收巻室和放巻室中均设置有至少一个传输使用的辊。
专利摘要本实用新型属于太阳能设备中集热片镀膜领域，涉及一种采用模块化设计，可以灵活进行组装调整，适合多种不同镀膜工艺的连续太阳能选择性吸收膜层镀膜生产设备。一种模块化太阳能选择性涂层连续镀膜设备，包括预处理室、至少一个工艺室组成，预处理室和工艺室中均设置有真空泵，预处理室和工艺室两端分别设置有进料口和出料口，预处理室和工艺室两端的进料口和出料口上均设置有尺寸和形状完全相同或者相互配合的连接装置，通过连接装置将预处理室和工艺室依次连接成一个整体的连续镀膜设备。本实用可以提供一种采用模块化设计使生产设备通过增减不同的工艺室或调整工艺室在生产线中的位置，实现适应多种不同生产加工工艺的新型镀膜生产设备。
文档编号C23C14/35GK201326013SQ200820235938
公开日2009年10月14日 申请日期2008年12月30日 优先权日2008年12月30日
发明者丘仁政, 宾 罗, 陈汉文 申请人:丘仁政;陈汉文;罗 宾