专利名称：一种数控多晶硅端面磨床的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及数控机床自动化领域，具体为一种数控多晶硅端面磨床。
背景技术：
多晶硅的表面要求很高，经过磨削可以提高硅片的加工成品率，而现有的多晶硅磨床在磨削中，金刚石砂轮的外圆面为磨削面，磨削时，金刚石砂轮外圆面磨削硅片的外端 面，在磨削过程中，其磨削效率低、磨削精度低，导致多晶硅成品质量下降、加工成品率低。
发明内容针对上述问题，本实用新型提供了一种数控多晶硅端面磨床，其磨削效率高，磨削 精度高，成品质量得到提高。其技术方案是这样的其包括床身、工作台、底座，所述工作台安装于所述床身的 前部的滑动导轨上，所述工作台通过伺服电机、滚珠丝杠作横向向往复运动，所述底座安装 于所述床身后部，进给拖板通过直线导轨安装在所述底座上，所述进给拖板通过伺服电机、 滚珠丝杠作纵向进给运动，所述进给拖板上安装有砂轮架、金刚石砂轮、砂轮电机，金刚石 砂粒位于所述金刚石砂轮外端面，所述金刚石砂轮套装于金刚石砂轮主轴的输出端上，所 述工作台上安装有压紧装置，其特征在于所述金刚石砂轮外端面与压紧装置上的工件的 的端面相平行。其进一步特征在于所述压紧装置包括两侧支架、顶板、底板、底座板、侧座板、压块 和侧压块和压紧驱动机构，所述底板安装于所述工作台上，所述底板中部紧固连接有底座板， 所述两侧支架分别安装于底板的两侧，顶板连接所述两侧支架的顶部，所述底板的一侧通过 侧挡板紧固连接有侧座板，所述压紧驱动机构具体为顶部气缸和侧部气缸，所述顶部气缸支 承于顶板，所述顶部气缸的气缸顶杆连接位于顶板下部的压块，位于所述底板另一侧的侧部 气缸支承于侧支架，所述侧部气缸的气缸顶杆连接位于两侧支架中间的侧压块。本实用新型的上述结构中，由于所述金刚石砂轮外端面与压紧装置上的工件的的 端面相平行，调节进给拖板的横向进给量，使金刚石砂轮外端面与压紧装置上的工件的一 端端面接触，开动砂轮电机带动金刚石砂轮转动，从而完成对多晶硅端面的磨削，其多晶硅 端面经过磨削后可以提高多晶硅片的加工成品率。
图1为本实用新型主视图示意图；图2为本实用新型主视图的上视图；图3为本实用新型主视图K向放大图。
具体实施方式
见图1、图2、图3，其包括床身1、工作台2、底座3，工作台2安装于床身1的前部的滑动导轨4上，工作台2通过伺服电机11、滚珠丝杠13作横向向往复运动，底座3安装于 床身1后部，进给拖板5通过直线导轨10安装在底座3上，进给拖板5通过伺服电机12、滚 珠丝杠作纵向进给运动，进给拖板5上安装有砂轮架6、金刚石砂轮7、砂轮电机15，金刚石 砂粒位于金刚石砂轮7外端面，金刚石砂轮7套装于金刚石砂轮主轴8的输出端上，工作台 2上安装有压紧装置9，金刚石砂轮7外端面与压紧装置9上的工件的的端面相平行。 压紧装置9包括左支架15、右支架16、顶板24、底板14、底座板17、侧座板18、压 块19和侧压块20和压紧驱动机构，底板14安装于工作台2上，左支架15、右支架16分别 安装于底板14的两侧，顶板24连接左支架15、右支架16的顶部，底板14中部紧固连接有 底座板17，底板14的右侧通过侧挡板21紧固连接有侧座板18，压紧驱动机构具体为顶部 气缸22和侧部气缸23，顶部气缸22支承于顶板24，顶部气缸22的气缸顶杆连接位于顶板 24下部的压块19，位于底板左侧的侧部气缸23支承于左支架15，侧部气缸23的气缸顶杆 连接位于左支架15、右支架16中间的侧压块20。
权利要求一种数控多晶硅端面磨床，其包括床身、工作台、底座，所述工作台安装于所述床身的前部的滑动导轨上，所述工作台通过伺服电机、滚珠丝杠安装于床身，所述底座安装于所述床身后部，所述底座上安装有直线导轨，所述进给拖板安装于所述直线导轨，所述进给拖板连接滚珠丝杠，所述滚珠丝杠与伺服电机轴接，所述进给拖板上安装有砂轮架、金刚石砂轮、砂轮电机，金刚石砂粒位于所述金刚石砂轮外端面，所述金刚石砂轮套装于金刚石砂轮主轴的输出端上，所述工作台上安装有压紧装置，其特征在于所述金刚石砂轮外端面与压紧装置上的工件的的端面相平行。
2.根据权利要求1所述一种数控多晶硅端面磨床，其特征在于所述压紧装置包括两 侧支架、顶板、底板、底座板、侧座板、压块和侧压块和压紧驱动机构，所述底板安装于所述 工作台上，所述底板中部紧固连接有底座板，所述两侧支架分别安装于底板的两侧，顶板连 接所述两侧支架的顶部，所述底板的一侧通过侧挡板紧固连接有侧座板。
3.根据权利要求2所述一种数控多晶硅端面磨床，其特征在于所述压紧驱动机构具 体为顶部气缸和侧部气缸，所述顶部气缸支承于顶板，所述顶部气缸的气缸顶杆连接位于 顶板下部的压块，位于所述底板另一侧的侧部气缸支承于侧支架，所述侧部气缸的气缸顶 杆连接位于两侧支架中间的侧压块。
专利摘要本实用新型提供了一种数控多晶硅端面磨床，其磨削效率高，磨削精度高，成品质量得到提高。其包括床身、工作台、底座，所述工作台安装于所述床身的前部的滑动导轨上，所述工作台通过伺服电机、滚珠丝杠安装于床身，所述底座安装于所述床身后部，所述底座上安装有直线导轨，所述进给拖板安装于所述直线导轨，所述进给拖板连接滚珠丝杠，所述滚珠丝杠与伺服电机轴接，所述进给拖板上安装有砂轮架、金刚石砂轮、砂轮电机，金刚石砂粒位于所述金刚石砂轮外端面，所述金刚石砂轮套装于金刚石砂轮主轴的输出端上，所述工作台上安装有压紧装置，其特征在于所述金刚石砂轮外端面与压紧装置上的工件的的端面相平行。
文档编号B24B7/16GK201559100SQ200920046409
公开日2010年8月25日 申请日期2009年6月9日 优先权日2009年6月9日
发明者杨建良 申请人:杨建良