专利名称：磁控溅射镀膜设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空镀膜设备，尤其涉及一种用于在车轮轮毂表面进行镀膜
的磁控溅射镀膜设备。
背景技术：
在现有的镀膜技术中，磁控溅射镀膜设备是一项应用极其广泛的真空镀膜设备， 被广泛用于镀制工艺美术品、装璜装饰品、玩具等领域。镀膜技术主要用于在已预处理好的 塑料、陶瓷等制品表面镀制金属薄膜、仿金膜，从而获得光亮美观、价廉的塑料、陶瓷表面金 属化制品。至今仍没有用来专门镀制汽车轮毂的磁控溅射镀膜设备。 另外，作为现有的磁控溅射镀膜设备中的核心部件的溅射靶，分为圆柱和矩形平 面磁控溅射靶。现有的磁控溅射镀膜设备中一般是仅具有圆形靶结构或仅具有平面靶结 构，尚无圆形靶和平面靶相结合的磁控溅射镀膜设备。
发明内容针对现有磁控溅射镀膜设备存在的不足，本实用新型要解决的技术问题是提供一 种整机的工作效率高，既具有平面溅射靶的镀膜功能又具有圆柱溅射靶的镀膜功能的磁控 溅射镀膜设备。 为了解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是一种磁控溅射镀膜设 备，包括抽真空机组、与该抽真空机组连接的镀膜箱，所述磁控溅射镀膜设备还包括铰接于 镀膜箱左侧的左门盖、铰接于镀膜箱右侧的右门盖，所述左门盖与所述右门盖均设有工件 装夹装置。 作为上述方案的改进，所述镀膜箱内设置有平面溅射靶。 作为上述方案的改进，所述镀膜箱内设置有两个平面溅射靶，所述平面溅射靶设 置于镀膜箱内的左右两侧。 作为上述方案的改进，所述左门盖与所述右门盖均设有旋转圆柱溅射靶。 作为上述方案的改进，所述镀膜箱整体呈半圆柱形。 作为上述方案的改进，所述左门盖与所述右门盖均呈半圆柱形。 作为上述方案的改进，所述工件装夹装置具有安装于所述左门盖或所述右门盖的 可旋转的铰接轴。 作为上述方案的改进，所述工件装夹装置包括固定安装于左门盖或右门盖的定齿 轮和电机、通过导向支承组件安装于定齿轮上的大齿轮、设置于电机的转轴并与所述大齿 轮啮合的驱动齿轮、与大齿轮平行设置的法兰、固定连接大齿轮与法兰的支撑杆、铰接于法 兰与大齿轮之间的工件夹具、工件夹具铰接于大齿轮的一端设有小齿轮，该小齿轮与定齿 轮啮合。 作为上述方案的改进，所述工件夹具为匸形工件夹具。 作为上述方案的改进，所述大齿轮是环形大齿轮，导向支承组件包括设置于定齿轮与大齿轮之间的滚动轴承、设置于环形大齿轮的内环面内侧限定环形大齿轮的位置的限 位轴承。 作为上述方案的改进，所述工件装夹装置还包括铰接于所述大齿轮并与所述小齿 轮啮合的副齿轮。 作为上述方案的改进，所述工件装夹装置包括六组相互啮合的小齿轮与副齿轮，
所述副齿轮沿大齿轮的周向均匀分布，其中四个小齿轮沿大齿轮的周向均匀分布。 本实用新型的有益效果在于在磁控溅射镀膜设备的镀膜箱的两侧分别铰接有左
门盖、右门盖，并且左门盖与右门盖均设有工件装夹装置，在一个门盖如左门盖关闭进行抽
真空以及磁控溅射镀膜的过程的同时，可以在另一个门盖如右门盖上对已经完成镀膜的工
件进行拆卸，然后装夹上待镀膜的工件，因此整机的工作效率大大提高，其效率接近现有单
门盖的镀膜设备的两倍。 本实用新型中的镀膜设备还可以既包括平面溅射靶又包括旋转圆柱溅射靶，既具 有平面溅射靶的功能又具有圆柱溅射靶的功能，现有的镀膜设备需要各配置一台平面溅射 靶镀膜设备以及一台圆柱溅射靶镀膜设备才可以实现相同的功能，从而提高了真空镀膜设 备的应用范围，一台真空镀膜设备可以完成两种形式的溅射镀膜的工作。
图1是磁控溅射镀膜设备的各组件布置构造平面示意图； 图2是镀膜箱以及门盖的结构示意图； 图3是工件装夹装置的结构示意图； 图4是图3的俯视图； 图5是工件装夹装置的传动示意图。
具体实施方式
以下结合附图来进一步说明本实用新型的具体实施方式
。 如图1、图2所示，本实用新型一种磁控溅射镀膜设备，包括抽真空机组10、具有真 空镀膜室的磁控溅射镀膜机。镀膜机包括镀膜箱12和门盖，门盖合拢后与镀膜箱形成密闭 的真空镀膜室，该真空镀膜室与抽真空机组IO连接，在抽真空机组10的作用下产生真空效 果；镀膜机内设置有磁控溅射靶、装夹工件的工件夹具等。装夹有工件的镀膜机产生真空效 果后就可以进行磁控溅射镀膜。 镀膜箱12与抽真空机组10连接，所述磁控溅射镀膜设备还包括铰接于镀膜箱左 侧的左门盖16、铰接于镀膜箱右侧的右门盖18，所述左门盖16与所述右门盖18均设有工 件装夹装置。本实用新型中，在磁控溅射镀膜设备的镀膜箱12的两侧分别铰接有左门盖 16、右门盖18，并且左门盖16与右门盖18均设有工件装夹装置，在左门盖16关闭进行抽真 空以及磁控溅射镀膜的过程的同时，可以在右门盖18上对已经完成镀膜的工件进行拆卸， 然后装夹上待镀膜的工件，因此整机的工作效率大大提高，其效率接近现有单门盖的镀膜 设备的两倍。 更佳地，所述镀膜箱12内设置有平面溅射靶22，使得该磁控溅射镀膜设备具有平 面溅射功能。当然也可以在镀膜箱12内设置旋转圆柱溅射靶25使其具有圆柱溅射功能。[0028] 更佳地，所述镀膜箱内设置有两个平面溅射靶22，所述平面溅射靶22设置于镀膜 箱内的左右两侧。对称设置的两个平面溅射靶22可以同时进行工作，使得镀膜效率大大提 高，也可以组成孪生靶镀镀制更高级的反应复合膜。 更佳地，所述左门盖16与所述右门盖18均设有旋转圆柱溅射靶25。因而本实用 新型中的镀膜设备还可以既包括平面溅射靶又包括圆柱溅射靶，既具有平面溅射靶的功能 又具有圆柱溅射靶的功能，现有的镀膜设备需要各配置一台平面溅射靶镀膜设备以及一台 圆柱溅射靶镀膜设备才可以实现相同的功能，从而提高了真空镀膜设备的应用范围，一台 真空镀膜设备可以完成两种形式的溅射镀膜的工作。 更佳地，所述镀膜箱12整体呈半圆柱形，当镀膜箱12与其中一个门盖形成镀膜室 时，圆柱形的外表面可以更好的抵抗外界大气压，同时能够提高镀膜室的有效使用空间。 更佳地，所述左门盖16与所述右门盖18均呈半圆柱形。镀膜箱与其中一个门盖 形成镀膜室时，圆柱形的外表面的其中一个作用是可以更好的抵抗外界大气压，同时能够 提高镀膜室的有效使用空间。 更佳地，所述工件装夹装置具有安装于所述左门盖或所述右门盖的可旋转的铰接 轴。该工件装夹装置通过电机驱动绕铰接轴转动，可以使得工件在溅射镀膜的过程中连续 转动使得工件各处镀膜均匀。 更佳地，所述工件装夹装置包括固定安装于左门盖16或右门盖18的定齿轮32和 电机33、通过导向支承组件50安装于定齿轮32上的大齿轮35、设置于电机33的转轴并与 所述大齿轮35啮合的驱动齿轮36、与大齿轮35平行设置的法兰38、固定连接大齿轮35与 法兰38的支撑杆39、铰接于法兰38与大齿轮35之间的工件夹具55、工件夹具55铰接于 大齿轮35的一端设有小齿轮58，该小齿轮58与定齿轮32啮合。 更佳地，所述工件架55为匸形工件夹具，这样装夹于工件夹具的工件60就位于工 件夹具55铰接轴的轴上，工件夹具55自转过程工件同时作自转运动而不是绕工件架转动， 使得镀膜效果更好。 更佳地，所述大齿轮35是环形大齿轮，导向支承组件50包括设置于定齿轮32与 大齿轮35之间的滚动轴承52、设置于环形大齿轮的内环面内侧限定环形大齿轮的位置的 限位轴承53。 在电机的驱动下，大齿轮35与法兰38、支撑杆39、匚形工件夹具55、小齿轮58等 部件一起旋转运动；同时又由于小齿轮58与定齿轮32啮合而且小齿轮58又铰接于大齿轮 35上，在同轴的大齿轮35与定齿轮32的共同作用下，小齿轮58自身产生绕铰接轴旋转的 运动，并带动匸形工件夹具55绕铰接轴自转。因此可以使得装夹于匸形工件夹具55的工 件绕C形工件夹具55的铰接轴即小齿轮58的轴转动并同时随大齿轮35绕大齿轮的轴转 动，从而使工件在镀膜室内作复合旋转运动，使得镀膜过程镀膜均匀，镀膜效果好，镀膜效 率高。圆柱形的镀膜室也为上述各个部件旋转运动提供足够的空间，同时最大限度的节省 了镀膜箱以及门盖的材料，也降低了抽真空所需的功率损耗，从而较大地降低了成本。 参考图3、图4，在大齿轮35上设置有与小齿轮58啮合的副齿轮59，小齿轮58与 副齿轮59的轴均铰接于大齿轮35。当需要对较大的工件进行镀膜时，可以将工件夹具55 安装于小齿轮58，此时可以安装较少工件，图示可以容纳四组工件进行镀膜，供每个工件夹 具的工件转动的回转空间为大回转空间64 ;当需要对较小的工件进行镀膜时，可以将工件夹具55安装于副齿轮59，此时可以安装较多的工件，图示可以容纳六组工件进行镀膜，供 每个工件夹具的工件转动的回转空间为大回转空间66，进一步提高了整机的工作效率。为 了实现上述作业，所述工件装夹装置包括六组相互啮合的小齿轮与副齿轮，所述副齿轮沿 大齿轮的周向均匀分布，其中四个小齿轮沿大齿轮的周向均匀分布。 本实用新型中，在镀膜箱的侧壁装有两个或多个矩形平面靶22，在左门盖16和右 门盖18中间各装有一个旋转圆柱靶25，形成同时具有平面靶与圆柱靶的溅射靶结构，可满 足镀膜时根据不同工艺要求选择平面靶或圆柱靶镀制轮毂或镀制复合膜。本镀膜设备采用 一室双门结构，每个大门还装有装夹车轮轮毂的复合旋转传动装置，可在镀膜的同时进行 轮毂的工件装夹，提高了整机的工作效率，在镀膜过程工件作复合旋转运动，在自转的同时 作公转运动，大大提高了工件被镀覆的效率，处处得到镀覆，镀膜均匀效果好。 以上所揭露的仅为本实用新型的优选实施例而已，当然不能以此来限定本实用新 型之权利范围，因此依本实用新型申请专利范围所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖 的范围。
权利要求一种磁控溅射镀膜设备，包括抽真空机组、与该抽真空机组连接的镀膜箱，其特征在于所述磁控溅射镀膜设备还包括铰接于镀膜箱左侧的左门盖、铰接于镀膜箱右侧的右门盖，所述左门盖与所述右门盖均设有工件装夹装置，所述镀膜箱内设置有平面溅射靶。
2. 根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于所述镀膜箱内设置有两个 平面溅射靶，所述平面溅射靶设置于镀膜箱内的左右两侧。
3. 根据权利要求1或2所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于所述左门盖与所述右 门盖均设有旋转圆柱溅射靶。
4. 根据权利要求1或2所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于所述镀膜箱整体呈半 圆柱形。
5. 根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于所述左门盖与所述右门盖 均呈半圆柱形。
6. 根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于所述工件装夹装置具有安 装于所述左门盖或所述右门盖的可旋转的铰接轴。
7. 根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于所述工件装夹装置包括固 定安装于左门盖或右门盖的定齿轮和电机、通过导向支承组件安装于定齿轮上的大齿轮、 设置于电机的转轴并与所述大齿轮啮合的驱动齿轮、与大齿轮平行设置的法兰、固定连接 大齿轮与法兰的支撑杆、铰接于法兰与大齿轮之间的工件夹具、工件夹具铰接于大齿轮的 一端设有小齿轮，该小齿轮与定齿轮啮合。
8. 根据权利要求7所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于所述工件夹具为匚形工件 夹具。
9. 根据权利要求7所述的磁控溅射镀膜设备，其特征在于所述大齿轮是环形大齿轮， 导向支承组件包括设置于定齿轮与大齿轮之间的滚动轴承、设置于环形大齿轮的内环面内 侧限定环形大齿轮的位置的限位轴承。
专利摘要本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜设备，包括抽真空机组、与该抽真空机组连接的镀膜箱，所述磁控溅射镀膜设备还包括铰接于镀膜箱左侧的左门盖、铰接于镀膜箱右侧的右门盖，所述左门盖与所述右门盖均设有工件装夹装置。该磁控溅射镀膜设备的一个门盖关闭进行抽真空以及磁控溅射镀膜的过程的同时，可以在另一个门盖上对已经完成镀膜的工件进行拆卸并装夹待镀膜的工件，使得整机工作效率大大提高，既具有平面溅射靶的镀膜功能又具有旋转圆柱溅射靶的镀膜功能；其中工件装夹装置具有复合旋转功能，使得镀膜过程更加均匀，得到更好的镀膜效果。
文档编号C23C14/35GK201437550SQ200920058010
公开日2010年4月14日 申请日期2009年6月8日 优先权日2009年6月8日
发明者李劲川, 李学欧, 梁凯基, 王健文, 蔡东锋 申请人:广东中环真空设备有限公司