专利名称：自动冷却式供电装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种供电装置，尤其涉及一种自带冷却功能的自动冷却式供电装置。
背景技术：
随着有机半导体技术的深入研究，有机器件的应用越来越广泛，如有机电致发光 器件(OLED)。OLED的制备离不开有机薄膜的生成，现有技术中最成熟的技术是通过蒸镀技 术来完成有机薄膜的制备。在使用真空蒸镀制备薄膜时，三类加热源如电阻加热源、电子束加热源和感应加 热源通常被用于加热和蒸发材料。感应加热源主要用于大规模涂覆仪器，因为由于高频率 的使用，它倾向于使用复杂的外围设备。由于电子束加热源能蒸发几乎所有种类的材料，因 此它被广泛用于大型设备，也用于实验薄膜的制造。但是，电子束加热源的缺点是价格昂 贵。由于电阻加热源安装简单和价格低廉的特征，因此被用于各种领域。通常OLED的蒸镀方式是采用电阻式加热蒸发源(电极通电至蒸发源供热)，所 选择的蒸发源材料为耐特高温的材料，比如半导体材料和金属，具体的可以选择金属如钨、 钽、钼等，此外还可以是氯化硼等。蒸发源的使用方法如下将蒸发源的两端连接供电装置， 外加较大的电流使其由于电阻效应而发热，使放入其中的待蒸镀材料如金属材料、半导体 材料等熔融、蒸发，得到蒸镀膜。然而，当电流通过供电装置时，电流也会作功而消耗电能，会由于电流的热效应而 产生热量。所以当供电装置通过较大的电流时，供电装置也会产生较大的热量和温度。若 供电装置得不到及时的冷却降温则其会产生较大的电阻，不利于较大电流的传输。此外，供 电装置和蒸发源还会把热量传递到真空腔体内、真空腔体壁上等，蒸发源的热量会导致待 镀基板表面温度过高，不利于OLED膜层的制备，而较高温度的真空腔体壁也会产生较大的 安全隐患，例如容易灼伤操作者。因此，急需一种自带冷却功能的供电装置以提供较好的供电性能和安全性能。
发明内容
本发明的目的在于提供一种自动冷却式供电装置，该自动冷却式供电装置自带冷 却功能从而提供较好的供电性能和安全性能。为了实现上述目的，本发明的技术方案为提供一种自动冷却式供电装置，适用于 固定真空腔体内的蒸发源并对所述蒸发源供电，所述自动冷却式供电装置包括供电单元、 密封单元及冷却单元，所述供电单元包括两呈中空结构的电极棒，所述中空结构形成进水 槽，所述电极棒包括位于所述真空腔体内的内端和位于所述真空腔体外的外端，所述外端 与电极线相连接，其中一所述电极棒的内端与所述蒸发源的一端相连，而另一所述电极棒 的内端与所述蒸发源的另一端相连，所述密封单元包括法兰和卡置于所述法兰上的绝缘 件，所述电极棒穿过所述绝缘件绝缘地固定于所述法兰上，所述法兰安装于所述真空腔体 上与所述真空腔体一起构成封闭的空间，所述冷却单元包括出水管、进水接头和出水接头，所述出水管悬置于所述进水槽内，所述进水接头与所述进水槽相连通，所述出水接头与所述出水管相连通，所述进水接头、进水槽、出水管及出水接头构成冷却通路。与现有技术相比，由于本发明自动冷却式供电装置自带冷却单元，通过该冷却单 元可对固定蒸发源的自动冷却式供电装置进行自动冷却，经过冷却降温的自动冷却式供电 装置可以提供蒸发源所需要的低电压大电流，具有较好的供电性能，同时也可有效地降低 真空腔体的温度以提高安全性能。较佳地，所述自动冷却式供电装置还包括承载单元，所述承载单元包括固定于所 述法兰上的固定座和固定于所述固定座上的绝缘固定夹，所述电极棒固定于所述绝缘固定 夹上。较佳地，所述电极棒的外端设置有导电螺母，所述导电螺母将所述电极线固定在 所述电极棒上。较佳地，所述冷却单元还包括连接座，所述连接座固定于所述电极棒的外端，所述 连接座开设有与所述进水槽相连通的主通孔和与所述主通孔相连通的侧通孔，所述出水管 穿过所述主通孔与出水接头连接，所述进水接头安装于所述侧通孔上。较佳地，所述供电单元还包括蒸发源固定夹，所述电极棒的内端通过蒸发源固定 夹与所述蒸发源相连。较佳地，所述绝缘件与所述法兰连接处设有密封圈，所述绝缘件与所述电极棒连 接处也设置有密封圈。
图1是本发明自动冷却式供电装置安装于真空腔体的示意图。图2是图1中A部分的放大示意图。图3是图1中B部分的放大示意图。图4是本发明自动冷却式供电装置的立体图。图5是图4所示本发明自动冷却式供电装置的俯视图。
具体实施例方式下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完 整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于 本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他 实施例，都属于本发明保护的范围。图1为本发明实施例自动冷却式供电装置10安装于真空腔体20的示意图。如图 1所示，本发明实施例自动冷却式供电装置10用于固定真空腔体20内的蒸发源30并对所 述蒸发源30供电。请参照图1和图4，本发明实施例自动冷却式供电装置10包括供电单元、密封单元 及冷却单元，其中，所述供电单元用于对所述蒸发源30供电；所述密封单元用于将所述供 电单元绝缘地固定于所述真空腔体20内，所述冷却单元用于对所述供电单元及真空腔体 20进行冷却降温。具体地，所述供电单元包括呈中空结构的电极棒111和112及蒸发源固定夹113和114，所述电极棒111和112均包括位于所述真空腔体20内的内端和位于所述真空腔体 20外的外端，所述蒸发源固定夹113和114分别固定于所述电极棒111和112的内端，且分 别夹紧所述蒸发源30的两端以使两所述电极棒111和112分别连接于所述蒸发源30的两 端。而所述电极棒111和112的外端上均固定有若干导电螺母115，所述导电螺母115将 外部的电极线固定连接到所述电极棒111和112上以向所述蒸发源30引进电流。本发明 自动冷却式供电装置10中电极棒111和电极棒112为基本对称的结构，下面主要以电极棒 111 一侧来详细说明本发明自动冷却式供电装置10的其它具体结构。请参照图2-4，所述密封单元包括法兰121和绝缘件122，所述绝缘件122用于将 所述电极棒111绝缘地固定于所述法兰121上。具体地，所述绝缘件122包括第一绝缘块 122a和第二绝缘块122b，所述第一绝缘块122a和所述第二绝缘块122b均为具有凸缘的绝 缘轴套，所述第一绝缘块122a和第二绝缘块122b安装于所述法兰121的安装孔上并分别 位于所述法兰121的两侧，所述电极棒111的外端穿过所述第一绝缘块122a和所述第二绝 缘块122b从而密封地固定于所述法兰121上，所述法兰121安装于所述真空腔体20上与所 述真空腔体20 —起构成封闭的空间。较佳地，所述第一绝缘块122a与所述电极棒111连 接处及与所述法兰121连接处分别设有密封圈123和124以进一步提高所述电极棒111与 所述法兰121连接的密封性。较佳地，所述自动冷却式供电装置10还包括承载单元，所述 承载单元包括固定座141和若干绝缘固定夹142，所述固定座141固定于所述法兰121上， 所述绝缘固定夹142等间距地固定于所述固定座141上，两所述电极棒111和112相互平 行地安装于所述绝缘固定夹142上以确保两所述电极棒111和112之间的相对位置不变。 需要说明的是所述绝缘固定夹142以螺栓固定或焊接的方式固定于所述固定座141上。所述冷却单元包括出水管132、进水接头133、出水接头134及连接座135，所述电 极棒111的中空结构形成进水槽131，所述出水管132悬置于所述进水槽131内，所述进水 槽131和所述出水管132均沿着所述电极棒111的中心轴线方向延伸，所述连接座135固 定于所述电极棒111的末端，所述连接座135上开设有与所述进水槽131相连通的主通孔 135a及与所述主通孔135a相连通的侧通孔135b，所述出水管132穿过所述主通孔135a与 出水接头134连接，所述进水接头133安装于所述侧通孔135b上，则所述进水接头133与所 述进水槽131相连通，所述出水接头134与所述出水管132相连通，从而所述进水接头133、 进水槽131、出水管132及出水接头134构成冷却通路。请参照图1-5，以下详细说明本发明自动冷却式供电装置10的工作原理。本发明自动冷却式供电装置10中，电极棒111和112、蒸发源30及外部的电极线 构成一个电流回路，外部电流可通过电极线流入到电极棒111，经蒸发源固定夹113流入到 蒸发源30，再从电极棒112流出，也可通过电极线先流入到电极棒112，经蒸发源固定夹114 流入到蒸发源30，再从电极棒111流出。通过上述的电流流入和流出，实现了对蒸发源30 进行供电加热。与此同时，自动冷却式供电装置10的冷却单元也进入工作状态，以电极棒 111为例，冷却介质可从进水接头133进入，通过连接座135内的侧通孔135b进入到电极棒 111的进水槽131，进而流入出水管132并最后从所述出水接头134流出，水流方向如图2 和图3的箭头所示。相反地，所述冷却介质也可从出水接头134进入，流经出水管132，进而 流入到电极棒111的进水槽131，并最后从所述出水接头134流出。可理解地，电极棒112 也设置有相同的冷却回路，通过上述冷却回路可将电极棒111和112上及真空腔体20内的热量源源不断的带到真空腔体20外，有效降低电极棒111和112及真空腔体20的温度。与现有技术相比，由于本发明自动冷却式供电装置10自带冷却单元，通过该冷却 单元可对固定蒸发源30的自动冷却式供电装置10进行自动冷却，经过冷却降温的自动冷 却式供电装置10可以提供蒸发源30所需要的低电压大电流，具有较好的供电性能，也可以 有效地降低真空腔体20的温度以提高安全性能。此外，本发明自动冷却式供电装置10应 用于大型真空腔体20或是需要蒸发源30电极引线较长的情况时，其效果更为明显。需要说明的是，本发明的冷却介质优选地为纯净冻水，但并不限于纯净冻水，任何 其他绝缘的流体式冷却介质均可被采用。而本发明的出水管材质优选地为不锈钢，但也并 不限于不锈钢，其他与不锈钢同类的金属均可被采用。
以上结合最佳实施例对本发明进行了描述，但本发 明并不局限于以上揭示的实施 例，而应当涵盖各种根据本发明的本质进行的修改、等效组合。
权利要求
一种自动冷却式供电装置，适用于固定真空腔体内的蒸发源并对所述蒸发源供电，其特征在于，所述自动冷却式供电装置包括供电单元，所述供电单元包括两呈中空结构的电极棒，所述中空结构形成进水槽，所述电极棒包括位于所述真空腔体内的内端和位于所述真空腔体外的外端，所述外端与电极线相连接，其中一所述电极棒的内端与所述蒸发源的一端相连，而另一所述电极棒的内端与所述蒸发源的另一端相连；密封单元，所述密封单元包括法兰和卡置于所述法兰上的绝缘件，所述电极棒穿过所述绝缘件绝缘地固定于所述法兰上，所述法兰安装于所述真空腔体上与所述真空腔体一起构成封闭的空间；冷却单元，所述冷却单元包括出水管、进水接头和出水接头，所述出水管悬置于所述进水槽内，所述进水接头与所述进水槽相连通，所述出水接头与所述出水管相连通，所述进水接头、进水槽、出水管及出水接头构成冷却通路。
2.如权利要求1所述的自动冷却式供电装置，其特征在于还包括承载单元，所述承载 单元包括固定于所述法兰上的固定座和固定于所述固定座上的绝缘固定夹，所述电极棒固 定于所述绝缘固定夹上。
3.如权利要求1所述的自动冷却式供电装置，其特征在于所述电极棒的外端设置有 导电螺母，所述导电螺母将所述电极线固定在所述电极棒上。
4.如权利要求1所述的自动冷却式供电装置，其特征在于所述冷却单元还包括连接 座，所述连接座固定于所述电极棒的外端，所述连接座开设有与所述进水槽相连通的主通 孔和与所述主通孔相连通的侧通孔，所述出水管穿过所述主通孔与出水接头连接，所述进 水接头安装于所述侧通孔上。
5.如权利要求1所述的自动冷却式供电装置，其特征在于所述供电单元还包括蒸发 源固定夹，所述电极棒的内端通过蒸发源固定夹与所述蒸发源相连。
6.如权利要求1所述的自动冷却式供电装置，其特征在于所述绝缘件与所述法兰连 接处设有密封圈，所述绝缘件与所述电极棒连接处也设置有密封圈。
全文摘要
本发明公开了一种自动冷却式供电装置，适用于固定真空腔体内的蒸发源并对其供电，该自动冷却式供电装置包括供电单元、密封单元及冷却单元，供电单元包括两呈中空结构的电极棒，所述中空结构形成进水槽，两电极棒的内端分别与蒸发源的两端相连，而两电极棒的外端与电极线相连接，密封单元包括法兰和卡置于法兰上的绝缘件，电极棒穿过绝缘件绝缘地固定于法兰上，法兰安装于真空腔体上构成封闭的空间，冷却单元包括出水管、进水接头和出水接头，出水管悬置于进水槽内，进水接头与进水槽相连通，出水接头与出水管相连通，进水接头、进水槽、出水管及出水接头构成冷却通路。本发明自动冷却式供电装置自带冷却功能，从而能提供较好的供电性能和安全性能。
文档编号C23C14/26GK101824596SQ20101013937
公开日2010年9月8日 申请日期2010年3月30日 优先权日2010年3月30日
发明者刘惠森, 叶宗锋, 杨明生, 王勇, 王曼媛, 范继良 申请人:东莞宏威数码机械有限公司