专利名称：一种用于石英陶瓷坩埚加工的数控平面磨床的制作方法
技术领域：
本发明涉及数控机床的结构领域，具体为一种用于石英坩埚加工的数控平面磨 床。
背景技术：
伴随着多晶硅行业的发展，现在制造多晶硅所需要的石英坩埚行业也迅速发展， 优质的石英坩埚能确保多晶硅的质量，但是制造优质的石英坩埚需要造型平整、壁厚要均 勻，为了达到上述要求，提高成品率，需要对石英坩埚底面以及四周倒角进行磨削处理，现 有的磨床只能单独对坩埚进行平面磨削或倒角处理，需要把石英坩埚分别放入不同的磨床 中进行磨削，其磨削效率低。
发明内容
针对上述问题，本发明提供了一种数控坩埚平面磨床，可以使平面磨削与倒角处 理在同一台磨床加工，其使得石英坩埚的磨削效率提高。其技术方案是这样的一种数控坩埚平面磨床，其包括床身、工作台，其特征在于 所述床身的两侧固定安装有导轨座，底座通过直线导轨分别安装在所述两侧的导轨座上， 所述两侧的导轨座上分别设置有齿条，传动轴两端固定有齿轮，所述齿轮分别与所述齿条 啮合，所述传动轴上活动套装有支架，横梁连接所述支架并固定在两侧的底座上，所述横梁 两侧分别通过直线导轨和滚珠丝杠安装有十字拖板，所述十字拖板分别通过直线导轨和滚 珠丝杠安装有垂直拖板，平面磨头、倒角磨头分别安装在所述的垂直拖板上。其进一步特征在于所述滚珠丝杆分别与伺服电机连接；所述平面磨头包括砂轮 架、砂轮主轴和金刚石平面砂轮，所述砂轮主轴通过皮带和皮带轮与电机轴连接，所述倒角 磨头包括砂轮架、砂轮主轴和金刚石倒角砂轮，所述砂轮主轴通过皮带和皮带轮与电机轴 连接；所述传动轴为通过联轴器连接的两根传动轴。本发明的上述结构，由于磨床上同时安装有倒角磨头和平面磨头，通过拖板的移 动分别实现石英坩埚平面磨削和倒角磨削，可以使平面磨削与倒角磨削在同一台磨床加 工，其使得石英坩埚的磨削效率高。
图1为本发明数控坩埚平面磨床的主视图结构示意图； 图2为本发明数控坩埚平面磨床的左视图结构示意图。
具体实施例方式见图1、图2，一种数控坩埚平面磨床，其包括床身1、工作台2，床身的两侧固定安 装有导轨座3、6，底座5、7通过导轨4-1、4-2分别安装在两侧的导轨座3、6上，两侧的导轨 座3、6上分别设置有齿条14-1、14-2，传动轴由两根传动轴12-1、12-2通过联轴器11连接而成，传动轴两端固定有齿轮13-1、13-2，齿轮13-1、13-2分别与齿条14_1、14_2啮合，传 动轴上活动套装有支架33，横梁8连接支架33并固定在两侧的底座5、7上，横梁两侧分别 通过直线导轨16-1、16-2和滚珠丝杠17-1、17-2安装有十字拖板15和24，十字拖板15和 24分别通过19-1、19-2和19-3、19-4，滚珠丝杠20-1和20-2安装有垂直拖板21和25，平 面磨头31、倒角磨头32分别安装在垂直拖板21、25上。平面磨头31包括砂轮架26-1、砂轮主轴27-1和金刚石平面砂轮28，砂轮主轴 27-1通过皮带34-1和皮带轮35-1、36-1与电机轴37_1连接、倒角磨头32包括砂轮架 26-2、砂轮主轴27-2和金刚石倒角砂轮29，砂轮主轴27_2通过皮带34_2和皮带轮35_2、 36-2与电机轴37-2连接。横梁8连接在两侧的底座5、7上，伺服电机9通过减速机10驱动传动轴上的齿轮 13-1、13-2在两侧导轨座上的齿条14-1、14-2上滚动，带动底座沿直线导轨4_1、4_2运动， 从而使连接在两侧底座上的横梁8在Z向移动，在横梁8上左侧的十字拖板15通过直线导 轨16-1，滚珠丝杠17-1由伺服电机18-1驱动在Xl向移动，左侧的垂直拖板21通过直线导 轨19-1和滚珠丝杠20-1由伺服电机22-1驱动在Yl向移动，在横梁上右侧的十字拖板24 通过直线导轨16-2，滚珠丝杠17-2由伺服电机18-2驱动在X2向移动，右侧的垂直拖板25 通过直线导轨19-2和滚珠丝杠20-2由伺服电机22-2驱动在Y2向移动。由于平面磨头、倒角磨头通过垂直拖板和十字拖板安装在同一块横梁上，可以实 现平面磨头、倒角磨头在XI、X2、Y1、Y2方向移动，两侧底座分别通过齿条、齿轮和直线导轨 带动横梁在Z向移动，实现了平面磨头、倒角磨头在XI、Χ2、Υ1、Υ2和Z向的运动，在同一磨 床上实现了对固定在工作台上的石英坩埚30的平面磨削和倒角磨头削。本发明采用进口三菱控制系统，使磨头在XI、Χ2、Υ1、Υ2和Z向的运行精准、平稳， 且操作简便，实现数控三维运动，可以实现石英坩埚平面磨削与倒角磨削在同一台磨床精 确、稳定地完成，其使得石英坩埚的磨削效率高。
权利要求
1.一种用于石英陶瓷坩埚加工的数控平面磨床，其包括床身、工作台，其特征在于所 述床身的两侧固定安装有导轨座，底座通过直线导轨分别安装在所述两侧的导轨座上，所 述两侧的导轨座上分别设置有齿条，传动轴两端固定有齿轮，所述齿轮分别与所述齿条啮 合，所述传动轴上活动套装有支架，横梁连接所述支架并固定在两侧的底座上，所述横梁两 侧分别通过直线导轨和滚珠丝杠安装有十字拖板，所述十字拖板分别通过直线导轨和滚珠 丝杠安装有垂直拖板，平面磨头、倒角磨头分别安装在所述的垂直拖板上。
2.根据权利要求1所述一种用于石英陶瓷坩埚加工的数控平面磨床，其特征在于所 述滚珠丝杆分别与伺服电机连接。
3.根据权利要求1所述一种用于石英陶瓷坩埚加工的数控平面磨床，其特征在于所 述平面磨头包括砂轮架、砂轮主轴和金刚石平面砂轮，所述砂轮主轴通过皮带和皮带轮与 电机轴连接，所述倒角磨头包括砂轮架、砂轮主轴和金刚石倒角砂轮，所述砂轮主轴通过皮 带和皮带轮与电机轴连接。
4.根据权利要求1所述一种用于石英陶瓷坩埚加工的数控平面磨床，其特征在于所 述传动轴为通过联轴器连接的两根传动轴。
全文摘要
本发明提供了一种用于石英陶瓷坩埚加工的数控平面磨床，可以使平面磨削与倒角处理在同一台磨床加工，其使得石英坩埚的磨削效率提高，其包括床身、工作台，其特征在于所述床身的两侧固定安装有导轨座，底座通过直线导轨分别安装在所述两侧的导轨座上，所述两侧的导轨座上分别设置有齿条，传动轴两端固定有齿轮，所述齿轮分别与所述齿条啮合，所述传动轴上活动套装有支架，横梁连接所述支架并固定在两侧的底座上，所述横梁两侧分别通过直线导轨和滚珠丝杠安装有十字拖板，所述十字拖板分别通过直线导轨和滚珠丝杠安装有垂直拖板，平面磨头、倒角磨头分别安装在所述的垂直拖板上。
文档编号B24B7/22GK102114605SQ20101059978
公开日2011年7月6日 申请日期2010年12月22日 优先权日2010年12月22日
发明者杨建良 申请人:弘元新材料无锡有限公司