专利名称：一种金属有机物化学气相沉积设备的水冷顶盖的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及金属有机物化学气相沉积(MOCVD)设备中一种多区金属有机物化学气相沉积设备的水冷顶盖。
技术背景MOCVD是适合生长半导体照明用LED材料外延片的良好技术。也是一种工业化的经济实用技术，其生长原理是在一块加热适当温度的衬底上，含有III和V族元素的气态化合物有控制的输送到衬底表面，生长出有特定组分、特定厚度、特定电学和光学参数的薄膜沉积材料。在水平式金属有机物化学气相沉积设备中载盘辐射的热量大部分被顶盖吸收。现有金属有机物化学气相沉积设备中的水冷顶盖采用水槽结构，可实现顶盖的冷却及温度控制。但当对顶盖的温度有分区控制的需求及径向控制的要求时，现有的顶盖很难实现。
发明内容本实用新型主要解决金属有机物化学气相沉积设备中的顶盖对温度分区控制及径向控制的要求。本实用新型主要解决的技术问题是，针对现有金属有机物化学气相沉积设备的顶盖难以实现温度的分区控制及径向控制而设计的一种新型顶盖。其特点为1、用多路水冷槽径向或圆周向分布，配合流量计、温控器的情况下可实现顶盖温度的分区控制；2、单条水路可实现径向方向上温度的控制，不同水路之间可实现不同区域的温度控制。本实用新型的技术解决方案是，一种金属有机物化学气相沉积设备的水冷顶盖， 包括顶盖体上板、顶盖体下板、进水接头、以及出水接头；所述顶盖体上板开有进水口和出水口，所述顶盖体下板开设有水槽，所述顶盖体上板与顶盖体下板相接形成一体，所述水槽包括多路径向或圆周向分布的水槽；所述进水接头与所述进水口相接，所述出水接头与所述出水口相接，并与所述水槽连接组成多组水道。进一步的，所述水槽包括多个S形水冷沟槽。进一步的，所述多组水道的各出水接头相连接、各进水接头相连接。进一步的，所述顶盖体上板设有顶盖连接块。进一步的，所述顶盖体上板和顶盖体下板的外圈设有相配合的密封槽。进一步的，所述顶盖体上板上还设有锁紧槽。本实用新型的工作原理是冷却水由进水口流入顶盖由出水口排出顶盖，在此过程中冷却水升温带走顶盖的热量。由于水槽是分区的结构，因此单独控制每区的流量及水温就可以单独控制该区的温度。在径向方向上水流在流动过程中会升温，基于此原理根据不同的水槽结构尺寸，可实现径向方向上温度的线性控制。
图1为本实用新型一种金属有机物化学气相沉积设备水冷顶盖的分解结构图。图2为本实用新型一种金属有机物化学气相沉积设备水冷顶盖其顶盖体下板的俯视图。
具体实施方式
如图1、2，是本实用新型的多区金属有机物化学气相沉积设备的水冷顶盖的一个实施例。其结构特点是，水冷顶盖包括顶盖体上板1、顶盖体下板2、进水接头3、出水接头 4等。所述顶盖体上板1开有进出水孔，顶盖体下板2开有水槽8，焊为一体形成密封水路。 进出水管与冷却水系统连接，由冷却水系统提供循环的恒温冷水对顶盖进行冷却。此结构的水槽8为多路水槽，径向或圆周向分布，配合流量计、温控器的情况下可实现顶盖温度的分区控制。单条水路可实现径向方向上温度的控制，不同水路之间可实现不同区域的温度控制。以下做出进一步说明。参见图1，顶盖体上板1可焊接进、出水管。顶盖体下板2， 内部开有特殊形状的水槽8，槽在圆周区域上等分分布，径向S型分布。水槽8在每个八分之一圆周分区为外端两个进口内端一个进口的结构，三个进、出水口为一组，整个圆周上共八组水道。详见图2。进水口的进水接头3连接有进水水管，出水口的出水街头4连接出水水管。进出水管与冷却水系统连接，由冷却水系统提供循环的恒温冷水对顶盖进行冷却。 进水水管在每个八分之一圆周分区为两个，出水水管在每个八分之一圆周分区为一个，因此整个圆周上与冷却水系统连接的共八组接头，每组进水两个，出水一个。顶盖体上板1还设有顶盖连接块5，用作起升顶盖。顶盖体上板和顶盖体下板的外圈设有相配合的焊接密封槽6，用做焊接顶盖体上板1和顶盖体下板2时起焊接密封作用。锁紧槽7，用作将顶盖与其下面的部件锁紧。本实用新型的水槽结构可做成图2所示的形状，也可以做成其他适合的形状。进水口与出水口可根据要求互换。组装加工时，1.加工顶盖体下板2，加工出如图2所示的水槽8及其他特征。图2 所示的水槽8为其中一种方案，水槽的分区及每条水槽8的尺寸可根据需要调整。外圈还需加工一圈凸起的密封槽6。2.加工顶盖体上板1，加工出进、出水孔。在外圈布置与下顶盖体对应的密封槽。 顶盖体上板1的进、出水孔与顶盖体下板2的进、出水孔位置一致。3.将顶盖体上板1和顶盖体下板2钎焊在一起。4.焊接进水接头3、出水接头4、连接块5等如图1所示。5.在冷却水路上安装流量计、温控器，对冷却水的温度和流量加以控制、调整来实现顶盖温度的分区控制及单条水路实现径向方向上温度的控制，不同水路之间实现不同区域的温度控制。
权利要求1.一种金属有机物化学气相沉积设备的水冷顶盖，其特征在于，包括顶盖体上板(1)、 顶盖体下板O)、进水接头(3)、以及出水接头(4)；所述顶盖体上板(1)开有进水口和出水口，所述顶盖体下板( 开设有水槽，所述顶盖体上板(1)与顶盖体下板( 相接形成一体，所述水槽包括多路径向或圆周向分布的水槽 ⑶；所述进水接头C3)与所述进水口相接，所述出水接头(4)与所述出水口相接，并与所述水槽连接组成多组水道。
2.根据权利要求1所述的金属有机物化学气相沉积设备的水冷顶盖，其特征在于，所述水槽包括多个S形水冷沟槽。
3.根据权利要求1所述的金属有机物化学气相沉积设备的水冷顶盖，其特征在于，所述多组水道的各出水接头相连接、各进水接头相连接。
4.根据权利要求1所述的金属有机物化学气相沉积设备的水冷顶盖，其特征在于，所述顶盖体上板(1)设有顶盖连接块。
5.根据权利要求1所述的金属有机物化学气相沉积设备的水冷顶盖，其特征在于，所述顶盖体上板(1)和顶盖体下板O)的外圈设有相配合的密封槽。
6.根据权利要求1所述的金属有机物化学气相沉积设备的水冷顶盖，其特征在于，所述顶盖体上板(1)上还设有锁紧槽(7)。
专利摘要本实用新型涉及金属有机物化学气相沉积(MOCVD)设备中一种金属有机物化学气相沉积设备的水冷顶盖。其结构特点是，水冷顶盖由顶盖体上板(1)、顶盖体下板(2)、进水接头(3)、出水接头(4)、连接块(5)、密封沟槽(6)、锁紧沟槽(7)和S形水冷沟槽(8)组成。顶盖体上板开有进出水孔，顶盖体下板开有水槽，焊为一体形成密封水路。进出水管与冷却水系统连接，由冷却水系统提供循环的恒温冷水对顶盖进行冷却。本实用新型为多路水冷槽径向或圆周向分布，配合流量计、温控器的情况下可实现顶盖温度的分区控制。单条水路可实现径向方向上温度的控制，不同水路之间可实现不同区域的温度控制。
文档编号C23C16/18GK202116642SQ20102026845
公开日2012年1月18日 申请日期2010年7月23日 优先权日2010年7月23日
发明者李刚, 李可 申请人:上海蓝宝光电材料有限公司