化学转化处理液、其制造方法、以及化学转化被膜的形成方法

文档序号:3410984阅读:191来源:国知局
专利名称:化学转化处理液、其制造方法、以及化学转化被膜的形成方法
技术领域
本发明涉及化学转化处理技术,特别涉及用于在锌或锌合金表面形成化学转化被膜的化学转化处理技术。
背景技术
铬酸盐处理是用来防止锌或锌合金表面生锈的典型化学转化处理。铬酸盐处理由于廉价且简便,因此已在工业上得到广泛应用。但由于六价铬是有害物质,因此其使用受到限制。于是,已大规模地开展起有关使用三价铬代替六价铬的化学转化处理、不含铬的化学转化处理的研究。例如,日本特开平11-181578号公报中公开了一种含有铝、硅、及有机酸或无机酸中的1种以上的化学转化处理液。根据专利文献1的记载,向该化学转化处理液中添加氟时,可获得良好的外观。另外,日本特开2007-177304号公报中公开了下述化学转化处理液,其含有水溶性镁无机盐及水溶性锂无机盐中的至少一种、其它水溶性无机盐或无机硅酸盐或者胶体二氧化硅、以及过氧化氢。根据专利文献2的记载,使用该化学转化处理液时,可形成具有充分耐蚀性的不含铬的被膜。

发明内容
氟化合物呈腐蚀性,而且难以进行废水处理。另外,过氧化氢不仅要在操作时倍加小心,而且稳定性低。因此,期待开发一种不使用氟及过氧化氢的无铬的化学转化处理技术。本发明的目的在于提供一种无铬的化学转化处理技术,其能形成耐蚀性及外观优异的化学转化被膜而不使用氟及过氧化氢。本发明的第1方面提供一种用于在锌或锌合金上形成化学转化被膜的化学转化处理液,该化学转化处理液中不含有铬、过氧化氢及氟,其中,所述化学转化处理液中含有 0. 5g/L 38g/L的镁、0. 5g/L 3. 5g/L的硅、以及0. 36g/L以上的硝酸根离子,且以水溶性硅酸盐的形式含有上述硅,另外,以5g/L以下的浓度任意地含有钴,铝的含量为0. 08g/L 以下。本发明的第2方面提供一种化学转化处理液的制造方法,其包括将第1浓缩液及第2浓缩液任意地与水混合来获得第1方面涉及的化学转化处理液,其中,上述第1浓缩液中含有的镁及硝酸根离子的浓度分别高于所述第2浓缩液中的镁及硝酸根离子的浓度, 上述第2浓缩液中含有的水溶性硅酸盐的浓度高于上述第1浓缩液中的水溶性硅酸盐的浓度。本发明的第3方面提供一种化学转化被膜的形成方法,其包括将锌或锌合金供给至使用第1方面涉及的化学转化处理液的化学转化处理。


[图1]某化学转化被膜的显微镜照片。[图2]其它化学转化被膜的显微镜照片。
具体实施例方式以下,针对本发明的实施方式进行说明。首先,针对本发明的第1实施方式进行说明。本发明的第1实施方式的化学转化处理液是用于在锌或锌合金上形成化学转化被膜的化学转化处理液。该化学转化处理液不含有铬、过氧化氢及氟,典型情况下,也不含有铝。另外,该化学转化处理液中除了含有水等水性溶剂以外,还含有镁、钴、硅及硝酸根离子。该化学转化处理液中以例如镁离子的形式含有镁。该化学转化处理液中也可以以配位离子或多原子离子的形式含有镁、或者以上述配位离子或多原子离子与镁离子的组合的形式含有镁。该化学转化处理液中的镁浓度在lg/L 12g/L范围内,典型的情况在1.8g/L 5g/L范围内。如果降低镁浓度,则会导致耐蚀性下降。如果提高镁浓度,则不仅耐蚀性下降,还会导致外观劣化。该化学转化处理液中以例如钴离子的形式含有钴。该化学转化处理液中也可以以配位离子或多原子离子的形式含有钴、或者以上述配位离子或多原子离子与钴离子的组合的形式含有钴。该化学转化处理液中的钴浓度在0. 03g/L 5g/L范围内,典型的情况在0. 05g/ L 2g/L范围内。如果降低钴浓度,则会导致耐蚀性下降。如果提高钴浓度,则不仅耐蚀性下降,还会导致外观劣化。需要说明的是,钴浓度0. 03g/L以上时,即使化学转化处理液在制造后直到使用为止经过了长时间放置,也不会发生溶液的凝胶化。特别是,钴浓度为 0. 05g/L以上时,即使化学转化处理液在制造后直到使用为止经过了长时间放置,也不会发生溶液粘度的上升。该化学转化处理液中以水溶性硅酸盐的形式含有硅。该化学转化处理液中以水溶性硅酸盐以外的形式、例如以胶体二氧化硅的形式含有硅的情况下,无法获得像化学转化处理液中以水溶性硅酸盐的形式含有硅的情况那样优异的耐蚀性和/或外观。作为硅酸盐,可使用例如硅酸钠及硅酸钾等碱金属盐。作为硅酸盐,可使用单一化合物,也可以混合使用多种化合物。该化学转化处理液中的硅浓度在0. 7g/L 3. 5g/L范围内,典型的情况在1. 2g/ L 3g/L范围内。如果降低硅浓度,则会导致耐蚀性下降。如果提高硅浓度,则不仅耐蚀性下降,还会导致外观劣化。该化学转化处理液中的硝酸根离子浓度在3g/L 15g/L范围内,典型的情况在 4. 5g/L llg/L范围内。降低或提高硝酸根离子浓度的情况下,会导致耐蚀性下降。典型情况下,该化学转化处理液中不含铝,但可以以0. 01g/L以下的浓度含有铝。 如果提高铝浓度,则不仅耐蚀性下降,还会导致外观劣化。
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典型情况下,该化学转化处理液中仅含有镁及钴作为金属元素,或者,仅含有镁、 钴及铝作为金属元素。该化学转化处理液中还可以进一步含有除了铬、镁、钴及铝以外的其它金属元素。例如,该化学转化处理液中还可以进一步含有钠、钾及钙等金属元素。需要说明的是,这些追加的金属元素的总量例如在10g/L以下。在能够获得充分的性能的情况下,该化学转化处理液中还可以含有胶体二氧化硅。此时,对化学转化处理液中胶体二氧化硅的浓度进行设定,使得换算成硅的水溶性硅酸盐浓度和换算成硅的胶体二氧化硅浓度之和例如以水溶性硅酸盐计在上述的硅浓度范围内。该化学转化处理液中可以仅含有硝酸作为酸,也可以不仅含有硝酸、还含有其它无机酸。作为追加的无机酸,可使用例如硫酸、盐酸、或它们的组合。该化学转化处理液中的除硝酸以外的其它无机酸的浓度例如在10g/L以下。该化学转化处理液为酸性溶液。该化学转化处理液的pH值例如在1. 5 3. 5范围内,典型情况下在1. 8 3. 0范围内。配制该化学转化处理液时,作为镁及钴等的金属元素源,可使用例如硝酸盐、硫酸盐、氯化物、或它们中的2种以上的组合。此外,作为硝酸根离子源,可使用例如硝酸、镁及钴等金属的硝酸盐、或它们的组合。使用该化学转化处理液形成化学转化被膜时,可通过例如下述方法进行。首先,准备含锌或锌合金的被处理物、或表面设置有含锌或锌合金的层的被处理物。作为表面设置有含锌或锌合金的层的被处理物,使用例如表面设置有含锌或锌合金的镀层的金属部件。接着,将被处理物的含锌或锌合金的表面供给至活化处理。该活化处理例如通过使被处理物的含锌或锌合金的表面与硝酸水溶液接触来进行。例如,将被处理物浸渍于硝酸水溶液中。对经过活化处理的被处理物进行水洗,然后,将被处理物供给至化学转化处理。 即,使被处理物与上述化学转化处理液接触。例如,将被处理物浸渍于化学转化处理液中。 此时,化学转化处理液的温度例如在10°c 80°C范围内,典型情况下,使化学转化处理液的温度在30°C 50°C范围内。此外,被处理物与化学转化处理液的接触时间例如在30秒 600秒范围内、典型情况在60秒 180秒范围内。对化学转化处理后的被处理物进行水洗,然后,将被处理物供给至干燥处理。例如,使被处理物自然干燥、或将被处理物加热至高于室温的温度进行干燥。干燥温度例如为 150°C以下。由此,在被处理物的表面形成化学转化被膜。在该方法中,未使用铬、氟及过氧化氢。尽管如此,通过该方法,可形成耐蚀性及外观优异的化学转化被膜。特别是,通过该方法,即使在被处理物具有复杂形状的情况下,也能够实现优异的耐蚀性。即,通常,当被处理物像螺栓那样表面具有凹部和/或凸部时,很难在边缘部获得优异的耐蚀性。而与此相对,如果使用上述方法,则即使在被处理物像螺栓那样表面具有凹部和/或凸部的情况下,也能够实现优异的耐蚀性。需要说明的是,这里针对不含有机酸的化学转化处理液及使用该化学转化处理液的化学转化被膜形成方法进行了说明,但化学转化处理液中也可以含有有机酸。此外,在进行上述化学转化处理之后,也可以进行使用整理剂的处理。例如,可以在化学转化处理及水洗之后、以及干燥处理之前,将被处理物浸渍于整理(仕上(f )处理液中。以下,针对本发明的第2实施方式进行说明。含有硅的化学转化处理液要通过下述方法配制以不含硅的第1浓缩液和含有硅的第2浓缩液这两种浓缩液的形式使其流通,现场将它们混合并根据需要加以稀释。如果提高第2浓缩液中的硅浓度,则会导致其稳定性降低,因此在配制第2浓缩液时必须使其具有低的硅浓度。由此,化学转化处理液中的硅浓度可能被限制于低值。本发明人等改变第1实施方式的化学转化处理液的组成,对其性能进行了研究。 结果发现了下述令人惊讶的结果如果降低硅浓度,则对于除硅及钴以外的其它成分而言, 可容许的浓度范围变宽。下述记载的技术基于上述见解而完成。本发明的第2实施方式的化学转化处理液是用于在锌或锌合金上形成化学转化被膜的化学转化处理液。该化学转化处理液不含有铬、过氧化氢及氟,典型情况下,也不含有铝。另外,该化学转化处理液中除了含有水等水性溶剂以外,还含有镁、硅及硝酸根离子。该化学转化处理液中以例如镁离子的形式含有镁。该化学转化处理液中也可以以配位离子或多原子离子的形式含有镁、或者以上述配位离子或多原子离子与镁离子的组合的形式含有镁。该化学转化处理液中的镁浓度在0. 5g/L 38g/L范围内,典型的情况在2. 5g/ L 25g/L范围内。如果降低镁浓度,则会导致耐蚀性下降。如果提高镁浓度,则不仅耐蚀性下降,还会导致外观劣化。该化学转化处理液中以水溶性硅酸盐的形式含有硅。该化学转化处理液中以水溶性硅酸盐以外的形式、例如以胶体二氧化硅的形式含有硅的情况下,无法获得像化学转化处理液中以水溶性硅酸盐的形式含有硅的情况那样优异的耐蚀性和/或外观。作为硅酸盐,可使用例如硅酸钠及硅酸钾等碱金属盐。作为硅酸盐,可使用单一化合物,也可以混合使用多种化合物。该化学转化处理液中的硅浓度在0. 5g/L 2. 5g/L范围内,典型的情况在lg/L 1.6g/L范围内。如果降低硅浓度,则会导致耐蚀性下降。如果提高硅浓度,则不仅耐蚀性下降,还会导致外观劣化。该化学转化处理液中的硝酸根离子浓度在0. 36g/L以上,典型的情况在1. 82g/ L 51.06g/L范围内。降低硝酸根离子浓度的情况下,会导致耐蚀性大幅下降。提高硝酸根离子浓度的情况下,会导致耐蚀性发生一定程度的下降。该化学转化处理液中还可以含有钴。该化学转化处理液中可以以钴离子的形式含有钴。或者,该化学转化处理液中也可以以配位离子或多原子离子的形式含有钴、或以上述配位离子或多原子离子与钴离子的组合的形式含有钴。该化学转化处理液中的钴浓度在3. 25g/L以下,典型的情况在0. 05g/L 1. 5g/L 范围内。如果降低钴浓度,则会导致耐蚀性发生一定程度的下降。如果提高钴浓度,则不仅耐蚀性下降,还会导致外观劣化。典型情况下,该化学转化处理液中不含铝,但可以以0. 08g/L以下的浓度含有铝。如果提高铝浓度,则不仅耐蚀性下降,还会导致外观劣化。该化学转化处理液中的铝浓度例如在0. 03g/L以下、典型的情况在0. 01g/L以下。典型情况下,该化学转化处理液中仅含有镁及钴作为金属元素,或者,仅含有镁、 钴及铝作为金属元素。该化学转化处理液中还可以进一步含有除了铬、镁、钴及铝以外的其它金属元素。例如,该化学转化处理液中还可以进一步含有钠、钾及钙等金属元素。在能够获得充分的性能的情况下,该化学转化处理液中也可以含有胶体二氧化硅。此时,对化学转化处理液中胶体二氧化硅的浓度进行设定,使得换算成硅的水溶性硅酸盐浓度和换算成硅的胶体二氧化硅浓度之和例如以水溶性硅酸盐计在上述的硅浓度范围内。该化学转化处理液中可以仅含有硝酸作为酸,也可以不仅含有硝酸、还含有其它无机酸。作为追加的无机酸,可使用例如硫酸、盐酸、或它们的组合。该化学转化处理液中的除硝酸以外的其它无机酸的浓度例如在10g/L以下。该化学转化处理液为酸性溶液。该化学转化处理液的pH值例如在1. 0 5. 0范围内,典型情况下在1. 5 3. 0范围内。配制该化学转化处理液时,作为镁及钴等的金属元素源,可使用例如硝酸盐、硫酸盐、氯化物、或它们中的2种以上的组合。此外,作为硝酸根离子源,可使用例如硝酸、镁及钴等金属的硝酸盐、或它们的组合。该化学转化处理液可通过例如下述方法制造。首先,准备第1浓缩液及第2浓缩液。第1浓缩液中含有镁。第1浓缩液中的镁浓度高于化学转化处理液中的镁浓度。 第1浓缩液中的镁浓度MmsI与化学转化处理液中的镁浓度MmsC之比MMgl/MMgC在例如1. 0 672.0范围内、典型情况下在2.0 134.0范围内。第1浓缩液中还含有硝酸根离子。第1浓缩液中的硝酸根离子浓度高于化学转化处理液中的硝酸根离子浓度。典型情况下,第1浓缩液中不含硅。第1浓缩液中也可以以水溶性硅酸盐的形式进一步含有少量硅。其中,将第ι浓缩液中的硅浓度设定为比第2浓缩液中的硅浓度低的值。第1浓缩液的pH值例如在0. 5 3. 0范围内、典型情况下在1. 0 2. 0范围内。 无法稳定地制作出PH值高的第1浓缩液。另外,第1浓缩液的pH值低的情况下,为了使化学转化处理液达到最佳PH值,必须向化学转化处理液中进一步添加碱,而这会导致化学转化处理液的制作变得繁琐。第2浓缩液中以水溶性硅酸盐的形式含有硅。第2浓缩液中的硅浓度高于化学转化处理液中的硅浓度。第2浓缩液中的硅浓度MSi2与化学转化处理液中的硅浓度MsiC之比 MSi2/MSiC在例如1.0 18. 0范围内、典型情况下在2.0 9.0范围内。第2浓缩液中可以进一步含有钴。第2浓缩液中含有钴的情况下,第2浓缩液中的钴浓度高于化学转化处理液中的钴浓度。第2浓缩液的pH值例如在0. 5 3. 0范围内、典型情况下在1. 0 2. 0范围内。 PH值高的第2浓缩液存在稳定性低的倾向。另外,第2浓缩液的pH值低的情况下,为了使化学转化处理液达到最佳PH值,必须向化学转化处理液中进一步添加碱,而这会导致化学转化处理液的制作变得繁琐。接着,将第1浓缩液及第2浓缩液混合。通过如上所述的方法获得化学转化处理液。可以在混合之前将第1浓缩液及第2浓缩液中的至少之一用水稀释。或者,也可以在将第1浓缩液及第2浓缩液混合之后,用水稀释该混合液。或者,还可以同时将第1浓缩液、第2浓缩液以及水混合。或者,也可以不用水稀释第1浓缩液及第2浓缩液、以及混合液。如上所述,第1浓缩液中不含硅、或含有低浓度的硅。因此,第1浓缩液稳定性优异。此外,第2浓缩液中的硅浓度较低。因此,第2浓缩液也具有优异的稳定性。这样,第 1浓缩液及第2浓缩液可以长期保存。需要说明的是,这里针对使用第1浓缩液及第2浓缩液的化学转化处理液的制造进行了说明,但化学转化处理液也可以由单一浓缩液经稀释而制造。例如,对于化学转化处理液,也可以通过将含有上述全部成分的浓缩液用水稀释来制造。使用该化学转化处理液形成化学转化被膜时,可通过例如下述方法进行。首先,准备含锌或锌合金的被处理物、或表面设置有含锌或锌合金的层的被处理物。作为表面设置有含锌或锌合金的层的被处理物,使用例如表面设置有含锌或锌合金的镀层的金属部件。接着,将被处理物的含锌或锌合金的表面供给至活化处理。该活化处理例如通过使被处理物的含锌或锌合金的表面与硝酸水溶液接触来进行。例如,将被处理物浸渍于硝酸水溶液中。对经过活化处理的被处理物进行水洗,然后,将被处理物供给至化学转化处理。 即,使被处理物与上述化学转化处理液接触。例如,将被处理物浸渍于化学转化处理液中。 此时,化学转化处理液的温度例如在10°c 80°C范围内,典型情况下,使化学转化处理液的温度在30°C 50°C范围内。此外,被处理物与化学转化处理液的接触时间例如在30秒 600秒范围内、典型情况在60秒 180秒范围内。对化学转化处理后的被处理物进行水洗,然后,将被处理物供给至干燥处理。例如,使被处理物自然干燥、或将被处理物加热至高于室温的温度进行干燥。干燥温度例如为 150°C以下。由此,在被处理物的表面形成化学转化被膜。在该方法中,未使用铬、氟及过氧化氢。尽管如此,通过该方法,可形成耐蚀性及外观优异的化学转化被膜。特别是,通过该方法,即使在被处理物具有复杂形状的情况下,也能够实现优异的耐蚀性。即,通常,当被处理物像螺栓那样表面具有凹部和/或凸部时,很难在边缘部获得优异的耐蚀性。而与此相对,如果使用上述方法,则即使在被处理物像螺栓那样表面具有凹部和/或凸部的情况下,也能够实现优异的耐蚀性。此外,这里使用的化学转化处理液中的硅浓度低。由此,可使得用于该化学转化处理液的制造的浓缩液中的硅浓度较低。硅浓度低的浓缩液即使在经过长时间保存的情况下,也不易发生凝胶化。此外,如上所述,对于这里使用的化学转化处理液中的除了硅及钴以外的其它成分而言,可容许的浓度范围变宽。就硝酸根离子而言,其可容许的宽浓度范围例如在下述方面存在优势。在上述方法中,在使被处理物与化学转化处理液接触之前,将被处理物供给至使用硝酸水溶液的活化处理和水洗处理。分别在收纳有硝酸水溶液的活化处理槽、收纳有水的水洗处理槽、及收纳有化学转化处理液的化学转化处理槽中进行活化处理、水洗处理及化学转化处理时,将活化处理槽中的部分硝酸水溶液混入到水洗处理槽中的水中,并将包含该硝酸的水洗处理槽中的水混入到化学转化处理槽中的化学转化处理液中。由此,随着处理的重复进行,会导致化学转化处理液中的硝酸根离子浓度上升。频繁更换水洗处理槽内的水时、或者始终向水洗处理槽供给流水时,可抑制化学转化处理液中硝酸根离子浓度的上升。但为此,可能要产生新的设备费用、或导致运转费用升高。硝酸根离子的可容许浓度范围宽的情况下,化学转化处理液中的硝酸根离子浓度的升高对于化学转化被膜的性能产生的影响小。由此,可以经长时间形成具有优异性能的化学转化被膜而不用频繁更换水洗处理槽内的水。此外,这里使用的化学转化处理液中,钴为任意成分。作为容易引起金属过敏的金属的实例,可列举镍、铬及钴等。与镍等相比,钴是环境负担较小的金属,目前,对其使用基本没有限制。但在关注环境污染问题的欧洲,也致力于减少钴的用量的研究。就这一方面而言,不使用钴或者采用低的钴浓度是有利的。需要说明的是,这里针对不含有机酸的化学转化处理液及使用该化学转化处理液的化学转化被膜的形成方法进行了说明,但化学转化处理液中也可以含有有机酸。此外,在进行上述化学转化处理之后,也可以进行使用整理剂的处理。例如,可以在化学转化处理及水洗之后、以及干燥处理之前,将被处理物浸渍于整理处理液中。可以将第1及第2实施方式的技术相互组合。例如,可通过第2实施方式中记载的方法来制造第1实施方式的化学转化处理液。以下,针对本发明的实例进行说明。< 试验 1>本试验中,通过下述方法针对化学转化处理液中的镁浓度对化学转化被膜的外观及耐蚀性的影响进行了研究。首先,对多个钢铁部件实施镀锌。作为钢铁部件,使用了全长50mm、螺丝部的长度为25mm的M8螺栓。作为镀敷浴,使用了锌酸盐浴(碱性非氰镀锌工艺SurTec 704)。采用筒镀法实施了镀锌。使这些镀层的厚度在ΙΟμπι 12μπι范围内。以下,将实施了镀锌的钢铁部件称为“镀锌部件”。接着,对这些部件进行充分水洗,然后供给至活化处理。该活化处理通过将上述镀锌部件浸渍于1 %的硝酸水溶液中进行。对这些部件进行充分水洗后,供给至使用了化学转化处理液IA IT的化学转化处理。其中使用的处理液IA IT的组成如下述表1所示。
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权利要求
1.一种化学转化处理液,其用于在锌或锌合金上形成化学转化被膜,该化学转化处理液中不含有铬、过氧化氢及氟,其中,所述化学转化处理液中含有0. 5g/L 38g/L的镁、0. 5g/L 3. 5g/L的硅、以及 0. 36g/L以上的硝酸根离子,且以水溶性硅酸盐的形式含有上述硅,另外,以5g/L以下的浓度任意地含有钴,铝的含量为0. 08g/L以下。
2.根据权利要求1所述的化学转化处理液,其中,以所述水溶性硅酸盐的形式含有 0. 5g/L 2. 5g/L的硅,且钴的浓度为3. 25g/L以下。
3.根据权利要求2所述的化学转化处理液,其中,镁的浓度在2.5g/L 25g/L范围内, 钴的浓度在0. 05g/L 1.5g/L范围内,硅的浓度在lg/L 1.6g/L范围内,硝酸根离子的浓度在1. 8g/L 5lg/L范围内。
4.根据权利要求1所述的化学转化处理液,其中,以所述水溶性硅酸盐的形式含有 0. 7g/L 3. 5g/L的硅,且镁的浓度在lg/L 12g/L范围内,钴的浓度在0. 03g/L 5g/L 范围内,硝酸根离子的浓度在3g/L 15g/L范围内,铝的含量为0.01g/L以下。
5.根据权利要求4所述的化学转化处理液,其中,钴的浓度在0.05g/L以上。
6.根据权利要求4所述的化学转化处理液,其中,镁的浓度在1.8g/L 5g/L范围内, 钴的浓度在0. 05g/L 2g/L范围内,硅的浓度在1. 2g/L 3g/L范围内,硝酸根离子的浓度在4. 5g/L llg/L范围内。
7.一种化学转化处理液的制造方法,其包括将第1浓缩液及第2浓缩液任意地与水混合来获得权利要求1 6中任一项所述的化学转化处理液,其中,所述第1浓缩液中含有的镁及硝酸根离子的浓度分别高于所述第2浓缩液中的镁及硝酸根离子的浓度,所述第2浓缩液中含有的水溶性硅酸盐的浓度高于所述第1浓缩液中的水溶性硅酸盐的浓度。
8.一种化学转化被膜的形成方法,其包括将锌或锌合金供给至使用权利要求1 6 中任一项所述的化学转化处理液的化学转化处理。
全文摘要
本发明提供一种可以不使用氟及过氧化氢而形成耐蚀性及外观优异的化学转化被膜的无铬的化学转化处理技术。本发明涉及的化学转化处理液用于在锌或锌合金上形成化学转化被膜,该化学转化处理液中不含有铬、过氧化氢及氟,其中,所述化学转化处理液中含有0.5g/L~38g/L的镁、0.5g/L~3.5g/L的硅、以及0.36g/L以上的硝酸根离子,且以水溶性硅酸盐的形式含有上述硅,另外,以5g/L以下的浓度任意地含有钴,铝的含量为0.08g/L以下。
文档编号C23C22/53GK102459699SQ20108002562
公开日2012年5月16日 申请日期2010年3月12日 优先权日2009年4月9日
发明者大谷佑介, 杉冈惠, 长谷川史 申请人:村田株式会社, 森村商事株式会社
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