专利名称：生长金刚石膜的耐高温金属丝装置的制作方法
技术领域：
生长金刚石膜的耐高温金属丝装置
技术领域：
本实用新型属于金刚石材料制备技术领域，涉及化学气相沉积法生产多晶金刚石膜的装置，特别是ー种配置耐高温金属丝的装置。
背景技木采用化学气相沉积法在异质基底上生长出多晶金刚石薄膜，不但成本低，而且可沉积面积大，因此采用化学气相沉积法生产多晶金刚石膜得到迅速发展。采用化学气相沉积法在高温环境内制备多晶金刚石膜，需在真空环境内的电极上装配数根耐高温金属丝，耐高温金属丝在电流作用下产生热能，但是耐高温金属丝在高温环境下工作易产生形变，使工作參数不稳定，断电时耐高温金属丝断裂，重新工作时需更换耐高温金属丝，导致高温金属丝的重复利用率低，并且装配费时，工作效率低，不能满足大批量生产的要求。
实用新型内容为解决上述问题，本实用新型提供ー种装配简单、重复利用率高的生长金刚石膜的耐高温金属丝装置。本实用新型采用的技术方案如下一种生长金刚石膜的耐高温金属丝装置，主要由支架、第一电极、第二电极、耐高温金属丝组成，其特征在干在第一电极、第二电极上设置有第一滑块、第二滑块，耐高温金属丝的两端分别通过第一定位板、第二定位板固定在第一滑块、第二滑块上，调整第一牵引杆和第二牵引杆，使耐高温金属丝处于直线状态。前述第一滑块放置在第一电极上，并通过第一拉紧杆将第一滑块、第一电极与支架连接，第一拉紧杆下端伸出支架的部分有第一拉紧弹簧；第一滑块左侧有第一牵引板，第一牵引板下端通过第一螺栓与第一电极固定在一起，第一牵引板上端通过第一牵引杆与第一滑块连接，第一牵引杆伸出第一牵引板的部分有第一牵引弹簧；第一滑块右侧上端有凹槽，凹槽内有第一定位板，耐高温金属丝的一端放置在第一定位板与凹槽之间的缝隙内通过第二螺栓压紧第一定位板从而固定耐高温金属丝。前述第二滑块放置在第二电极上，并通过第二拉紧杆将第二滑块、第二电极与支架连接，第二拉紧杆下端伸出支架的部分有第二拉紧弹簧；第二滑块右侧有第二牵引板，第ニ牵引板下端通过第三螺栓与第二电极固定在一起，第二牵引板上端通过第二牵引杆与第ニ滑块连接，第二牵引杆伸出第二牵引板的部分有第二牵引弹簧；第二滑块左侧上端有凹槽，凹槽内有第二定位板，耐高温金属丝的一端放置在第二定位板与凹槽之间的缝隙内通过第四螺栓压紧第二定位板从而固定耐高温金属丝。采用上述技术方案，当耐高温金属丝受热膨胀时，第一滑块、第二滑块分别向两端外延轻微移动，从而使耐高温金属丝处于直线状态，保证工作參数稳定；当断电后耐高温金属丝收缩时，第一滑块、第二滑块分别向回轻微移动，仍然使耐高温金属丝处于直线状态，且不易断裂，保证能够再次通电后工作，能够实现耐高温金属丝的重复利用率高，重新工作时不需重新装配耐高温金属丝，显著提高工作效率。
图I所示的是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型作进ー步说明。如图I所示，一种生长金刚石膜的耐高温金属丝装置，主要由支架(12)、第一电极
(5)、第二电极(18)、耐高温金属丝(11)组成，在第一电极(5)、第二电极(18)上设置有第ー滑块出)、第二滑块(17)，耐高温金属丝(11)的两端分别通过第一定位板(9)、第二定位板(14)固定在第一滑块出)、第二滑块(17)上。第一滑块(6)放置在第一电极(5)上，并通过第一拉紧杆(7)将第一滑块￠)、第ー电极(5)与支架(12)连接，第一拉紧杆(7)下端伸出支架(12)的部分有第一拉紧弹簧
(10);第ー滑块(6)左侧有第一牵引板(2)，第一牵引板(2)下端通过第一螺栓(3)与第一电极(5)固定在一起，第一牵引板(2)上端通过第一牵引杆(4)与第一滑块(6)连接，第一牵引杆(4)伸出第一牵引板(2)的部分有第一牵引弹簧(I);第ー滑块(6)右侧上端有凹槽，凹槽内有第一定位板(9),耐高温金属丝(11)的一端放置在第一定位板(9)与凹槽之间的缝隙内通过第二螺栓(8)压紧第一定位板(9)从而固定耐高温金属丝(11)。前述第二滑块(17)放置在第二电极(18)上，并通过第二拉紧杆(16)将第二滑块
(17)、第二电极(18)与支架(12)连接，第二拉紧杆(16)下端伸出支架(12)的部分有第二拉紧弹簧(13);第ニ滑块(17)右侧有第二牵引板(21)，第二牵引板(21)下端通过第三螺栓(20)与第二电极(18)固定在一起，第二牵引板(21)上端通过第二牵引杆(19)与第二滑块(17)连接，第二牵引杆(19)伸出第二牵引板(21)的部分有第二牵引弹簧(22);第二滑块(17)左侧上端有凹槽，凹槽内有第二定位板(14)，耐高温金属丝(11)的一端放置在第ニ定位板(14)与凹槽之间的缝隙内通过第四螺栓(15)压紧第二定位板(14)从而固定耐高温金属丝(11)。调整第一牵引杆⑷和第二牵引杆(19)，使耐高温金属丝(11)处于直线状态。当耐高温金属丝(11)受热膨胀时，第一滑块(6)、第二滑块(17)分别向两端外延轻微移动，从而使耐高温金属丝(11)处于直线状态；当断电后耐高温金属丝(11)收缩，第ー滑块出)、第二滑块(17)分别向回轻微移动，仍然使耐高温金属丝(11)处于直线状态，且耐高温金属丝(11)不易断裂。权利要求1.生长金刚石膜的耐高温金属丝装置，主要由支架、第一电极、第二电极、耐高温金属丝组成，其特征在于在第一电极、第二电极上设置有第一滑块、第二滑块，耐高温金属丝的两端分别通过第一定位板、第二定位板固定在第一滑块、第二滑块上，调整第一牵引杆和第二牵引杆，使耐高温金属丝处于直线状态。
2.根据权利要求I所述的生长金刚石膜的耐高温金属丝装置，其特征在于第一滑块放置在第一电极上，并通过第一拉紧杆将第一滑块、第一电极与支架连接，第一拉紧杆下端伸出支架的部分有第一拉紧弹簧；第一滑块左侧有第一牵引板，第一牵引板下端通过第一螺栓与第一电极固定在一起，第一牵引板上端通过第一牵引杆与第一滑块连接，第一牵引杆伸出第一牵引板的部分有第一牵引弹簧；第一滑块右侧上端有凹槽，凹槽内有第一定位板，耐高温金属丝的一端放置在第一定位板与凹槽之间的缝隙内通过第二螺栓压紧第一定位板从而固定耐高温金属丝。
3.根据权利要求I所述的生长金刚石膜的耐高温金属丝装置，其特征在于第二滑块放置在第二电极上，并通过第二拉紧杆将第二滑块、第二电极与支架连接，第二拉紧杆下端伸出支架的部分有第二拉紧弹簧；第二滑块右侧有第二牵引板，第二牵引板下端通过第三螺栓与第二电极固定在一起，第二牵引板上端通过第二牵引杆与第二滑块连接，第二牵引杆伸出第二牵引板的部分有第二牵引弹簧；第二滑块左侧上端有凹槽，凹槽内有第二定位板，耐高温金属丝的一端放置在第二定位板与凹槽之间的缝隙内通过第四螺栓压紧第二定位板从而固定耐高温金属丝。
专利摘要本实用新型涉及一种生长金刚石膜的耐高温金属丝装置，属于金刚石材料制备技术领域，主要由支架、第一电极、第二电极、耐高温金属丝组成，其特征在于在第一电极、第二电极上设置有第一滑块、第二滑块，耐高温金属丝的两端分别通过第一定位板、第二定位板固定在第一滑块、第二滑块上，调整第一牵引杆和第二牵引杆，使耐高温金属丝处于直线状态。当耐高温金属丝受热膨胀时，第一滑块、第二滑块分别向两端外延轻微移动；当断电后耐高温金属丝收缩时，第一滑块、第二滑块分别向回轻微移动，始终使耐高温金属丝处于直线状态，且不易断裂，保证能够再次通电后工作，重新工作时不需重新装耐配高温金属丝，显著提高工作效率。
文档编号C23C16/44GK202450154SQ20112053413
公开日2012年9月26日 申请日期2011年12月20日 优先权日2011年12月20日
发明者张洪涛 申请人:河南省豫星华晶微钻有限公司