专利名称：一种用于行波管螺旋线的化学抛光方法
技术领域：
本发明涉及真空器件中行波管的慢波组件螺旋线的制造领域，尤其是涉及ー种用于行波管螺旋线的化学抛光方法。
背景技术：
在微波领域中，行波管是将带宽和增益结合的最好的器件，其中螺旋线行波管应用最为广泛，其高频电路一般是ー根螺旋线型金属丝或者金属带，由三根或更多介质杆夹持并固定在金属管壳内。螺旋线型金属丝的基本作用提供ー个轴向传播速度接近电子运 动速度并具有足够强的轴向电场的高频电磁波，使电磁波与电子注相互作用使信号得到放大。金属丝被称作为螺旋线，为高频能量与和电子束能量交換和高频能量传输的载体，金属丝材料一般为带状结构，在行波管内部使用时为弹簧状，具有一定的内外径和一定的节距。螺旋线材料一般为难熔金属钥，钥材通过特制的车床绕制在芯杆上，绕制结束后取下芯杆和螺旋线，然后进行后续的热处理、机械处理和化学处理，在这些后续的处理中钥材一直固定在芯杆上，保持绕制时的节距，在处理结束后取下芯杆，螺旋线就制作結束。螺旋线尺寸比较小，一般X波段直径在l_2mm左右。螺旋线制作结束后，具有一定的内外径和节距精度。由于经过热处理、机械处理和化学处理，螺旋线内部表面的光洁度变差，导致在制作整管时，影响高精度的慢波装配和行波管工作时的微波传输，增大了微波损耗，降低了高频互作用效率。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的问题提供一种用于行波管螺旋线的化学抛光方法，其目的是针对钥材料的螺旋线，采用强酸对经过系列处理后的有一定内外径和节距精度要求的螺旋线进行化学抛光，使其表面变亮，具有较好的光洁度。本发明的技术方案是该种用于行波管螺旋线的化学抛光方法包括I)配制化学抛光溶液先将铬酸倒入水中,搅拌均匀后倒入硫酸；配方比例为铬酸:150 g/L、硫酸50 mL/L、水:950 mL/L，或者是与该配方比例相同的量；2)对螺旋线进行化学抛光将配制好的溶液放置在细高容器中，并放置在通风系统下，将待抛光的螺旋线用细铜丝固定住其上端，并将螺旋线整体放入溶液中，持续时间为ト2秒；3)螺旋线的清洗螺旋线的清洗是将螺旋线先在自来水中冲洗，然后在纯水中冲洗，最后在装有酒精的玻璃杯中进行脱水处理；4)螺旋线的烘干将脱水处理后的螺旋线放入烘箱中进行烘烤并持续一段时间，烘烤结束后即完成螺旋线的抛光。在所述的步骤3)螺旋线的清洗中，在自来水中的冲洗时间控制在1-2分钟，在纯水中冲洗的时间控制在2分钟以内，在装有酒精的玻璃杯中进行脱水处理的时间控制在10秒钟以内。
在自来水中的最佳冲洗时间控制在I. 2-1. 5min，在纯水中的最佳冲洗时间控制在
O.3-lmin，在装有酒精的玻璃杯中进行脱水处理的最佳时间控制在3_5秒。在所述的步骤4)螺旋线的烘干中，烘箱内的烘烤温度控制在80-100°C，并持续25-30分钟。该种用于行波管螺旋线的化学抛光方法针对钥材料的螺旋线，采用强酸对螺旋线材料进行抛光，提供化学抛光配方，进行溶液的配制，然后将螺旋线在配制溶液中进行抛光处理，再进行清洗，烘干后完成螺旋线的抛光处理，最后形成表面光亮的螺旋线，光洁度得到提高，减小螺旋线使用时的高频损耗；而且在X波段70W螺旋线行波管的慢波系统应用中，采用此エ艺，输出功率提高了 30%。
下面结合附图对本发明作进ー步说明图I为本发明的结构示意图。图2为本发明中螺旋线的结构示意图。在图1-2中，I :溶液；2 :细高容器；3 :螺旋线；4 :细铜丝。
具体实施例方式由图1-2所示结构可知，该种用于行波管螺旋线的化学抛光方法包括I)配制化学抛光溶液先将铬酸倒入水中，搅拌均匀后倒入硫酸；配方比例为铬酸:150 g、硫酸50 mL、水:1000 mL ；2)对螺旋线进行化学抛光将配制好的溶液I放置在细高容器2中，并放置在通风系统下，将待抛光的螺旋线3用细铜丝4固定住其上端，并将螺旋线3整体放入溶液I中，持续时间为1-2秒；3)螺旋线的清洗螺旋线3的清洗是将螺旋线3先在自来水中冲洗，然后在纯水中冲洗，最后在装有酒精的玻璃杯中进行脱水处理；4)螺旋线的烘干将脱水处理后的螺旋线3放入烘箱中进行烘烤，烘烤温度控制在80-100°C，并持续25-30分钟。烘烤结束后即完成螺旋线的抛光。在上述步骤3)螺旋线的清洗中，在自来水中的冲洗时间控制在1-2分钟，最佳冲洗时间控制在I. 2-1. 5min ;在纯水中冲洗的时间控制在2分钟以内，最佳冲洗时间控制在
O.3-lmin ;在装有酒精的玻璃杯中进行脱水处理的时间控制在10秒钟以内，最佳时间控制在3-5秒。该种用于行波管螺旋线的化学抛光方法针对钥材料的螺旋线，采用强酸对螺旋线材料进行抛光，提供化学抛光配方，进行溶液的配制，然后将螺旋线在配制溶液中进行抛光处理，再进行清洗，烘干后完成螺旋线的抛光处理，最后形成表面光亮的螺旋线，光洁度得到提高，减小螺旋线使用时的高频损耗；而且在X波段70W螺旋线行波管的慢波系统应用中，采用此エ艺，输出功率提高了 30%。
权利要求
1.一种用于行波管螺旋线的化学抛光方法，其特征在于所述的化学抛光方法包括， O配制化学抛光溶液先将铬酸倒入水中，搅拌均匀后倒入硫酸；配方为铬酸150g/L、硫酸50mL/L、水950 mL/L，或者是与该配方比例相同的量； 2)对螺旋线进行化学抛光将配制好的溶液(I)放置在细高容器(2)中，并放置在通风系统下，将待抛光的螺旋线(3)用细铜丝(4)固定住其上端，并将螺旋线(3)整体放入溶液(O中，持续时间为1-2秒； 3)螺旋线的清洗螺旋线(3)的清洗是将螺旋线(3)先在自来水中冲洗，然后在纯水中冲洗，最后在装有酒精的玻璃杯中进行脱水处理； 4)螺旋线的烘干将脱水处理后的螺旋线(3)放入烘箱中进行烘烤并持续一段时间，烘烤结束后即完成螺旋线的抛光。
2.根据权利要求I所述的ー种用于行波管螺旋线的化学抛光方法，其特征在于在所述的步骤3)螺旋线的清洗中，在自来水中的冲洗时间控制在1-2分钟，在纯水中冲洗的时间控制在2分钟以内，在装有酒精的玻璃杯中进行脱水处理的时间控制在10秒钟以内。
3.根据权利要求2所述的ー种用于行波管螺旋线的化学抛光方法，其特征在于在自来水中的最佳冲洗时间控制在I. 2-1. 5min，在纯水中的最佳冲洗时间控制在O. 3_lmin，在装有酒精的玻璃杯中进行脱水处理的最佳时间控制在3-5秒。
4.根据权利要求1-3任一项权利要求所述的ー种用于行波管螺旋线的化学抛光方法，其特征在于在所述的步骤4)螺旋线的烘干中，烘箱内的烘烤温度控制在80-100°C，并持续25-30分钟。
全文摘要
本发明公开了一种用于行波管螺旋线的化学抛光方法，包括1)配制化学抛光溶液；2)对螺旋线进行化学抛光；3)螺旋线的清洗；4)螺旋线的烘干。该种用于行波管螺旋线的化学抛光方法针对钼材料的螺旋线，采用强酸对螺旋线材料进行抛光， 提供化学抛光配方，进行溶液的配制，然后将螺旋线在配制溶液中进行抛光处理，再进行清洗，烘干后完成螺旋线的抛光处理，最后形成表面光亮的螺旋线，光洁度得到提高，减小螺旋线使用时的高频损耗；而且在X波段70W螺旋线行波管的慢波系统应用中，采用此工艺，输出功率提高了30%。
文档编号C23F3/00GK102677063SQ20121015113
公开日2012年9月19日 申请日期2012年5月16日 优先权日2012年5月16日
发明者刘志意, 吴华夏, 张丽, 张文丙, 朱刚, 白卫星, 董晨, 郑何华 申请人:安徽华东光电技术研究所