光学镀膜机防遮挡视镜装置的制作方法

文档序号:3264764阅读:207来源:国知局
专利名称:光学镀膜机防遮挡视镜装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及机械 生产设备技术领域,具体涉及一种光学镀膜机防遮挡视镜装
置。
背景技术
光学镀膜机通过真空溅射镀膜原理对基体进行镀膜,其真空溅射镀膜原理是电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞,电离出大量的氩离子和电子,电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜。由于溅射镀膜是通过靶材原子溅射沉积在基片上成膜,镀膜机上观察口亦属于靶材原子溅射范围内,导致观察窗口镀膜,影响操作人员通过观察窗对机器内部进行观察。
发明内容本实用新型的目的是针对现有技术问题,提供一种结构简单,拆装、更换方便,易于维护,防护效果显著的光学镀膜机防遮挡视镜装置。本实用新型的目的通过以下技术方案实现—种光学镀膜机防遮挡视镜装置,包括机体外壳,其特征在于所述机体外壳上设有观察口,在观察口上设有视镜底座,该视镜底座上通过螺钉连接有视镜压盖,视镜玻璃设在视镜底座与视镜压盖之间;在视镜玻璃上设有转轴座,在转轴座上设有可旋转的挡板转轴,该挡板转轴中间设有防溅射玻璃,该防溅射玻璃通过螺母压紧并与视镜玻璃紧贴;挡板转轴一端设有旋钮,挡板转轴另一端设有视镜挡板,所述视镜挡板上设有一个观察缺口。所述视镜压盖与视镜底座之间通过螺钉连接。本实用新型的有益效果防溅射玻璃防止污染固定的视镜玻璃,避免装拆更换;视镜挡板延长清洗防溅射玻璃的时间间隔,提高工作效率;本装置结构简单,拆装、更换方便,易于维护,防护效果显著。

利用附图对本实用新型作进一步说明,但附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制。图I是本实用新型示意图。图2是图I左视图。在图I、图2中包括I、机体外壳,2、视镜玻璃,3、防溅射玻璃,4、观察口,5、视镜挡板,6、视镜底座,7、转轴座,8、挡板转轴,9、旋钮,10、视镜压盖。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型作详细说明。图I、图2中,所述机体外壳I上设有观察口 4,在观察口 4上设有视镜底座6,该视镜底座6上通过螺钉连接有视镜压盖10,视镜玻璃2设在视镜底座6与视镜压盖10之间;在视镜玻璃2上设有转轴座7,在转轴座7上设有可旋转的挡板转轴8,该挡板转轴8中间设有防溅射玻璃3,该防溅射玻璃3通过螺母压紧并与视镜玻璃2紧贴;挡板转轴8 一端设有旋钮9,挡板转轴8另一端设有视镜挡板5,所述视镜挡板5上设有一个观察缺口。所述视镜压盖10与视镜底座6之间通过螺钉连接。操作人员通过视镜挡板5上的缺口观察机器内部情况。当机器进行溅射镀膜操作时,靶材原子通过视镜挡板5上的缺口溅射沉积在防溅射玻璃3上。由于有视镜挡板5的遮挡,靶材原子只能在防溅射玻璃3上留下视镜挡板5观察缺口大小的一层镀膜层。当防溅射玻璃3上观察缺口完全被镀层覆盖而无法观察机器内部时,则旋转旋钮9带动安装于挡板转轴8上的视镜挡板5旋转,旋转至防溅射玻璃3尚未被镀层覆盖的位置,即可对机器内部工作情况继续进行观察。当防溅射玻璃3完全被镀层覆盖时,则可以拆下清洗或者更换,从而达到保护视镜玻璃2,又延长防溅射玻璃3使用时间的目的。最后应当说明的是,以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对本实用新型保护范围的限制,尽管参照较佳实施例对本实用新型作了详细说明,本领域的普通技术人员应当理解,可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换,而不脱离本实用新型技术方案的实质和范围。
权利要求1.一种光学镀膜机防遮挡视镜装置,包括机体外壳(I),其特征在于所述机体外壳(I)上设有观察口(4),在观察口(4)上设有视镜底座(6),该视镜底座(6)上通过螺钉连接有视镜压盖(10),视镜玻璃(2)设在视镜底座(6)与视镜压盖(10)之间;在视镜玻璃(2)上设有转轴座(7 ),在转轴座(7 )上设有可旋转的挡板转轴(8 ),该挡板转轴(8 )中间设有防溅射玻璃(3),该防溅射玻璃(3)通过螺母压紧并与视镜玻璃(2)紧贴;挡板转轴(8)—端设有旋钮(9 ),挡板转轴(8 )另一端设有视镜挡板(5 ),所述视镜挡板(5 )上设有一个观察缺口。
2.根据权利要求I所述的防遮挡视镜装置,其特征在于所述视镜压盖(10)与视镜底座(6)之间通过螺钉连接。
专利摘要本实用新型涉及机械生产设备技术领域,具体涉及一种光学镀膜机防遮挡视镜装置。本装置包括机体外壳,其特征在于所述机体外壳上设有观察口,在观察口上设有视镜底座,该视镜底座上通过螺钉连接有视镜压盖,视镜玻璃设在视镜底座与视镜压盖之间;在视镜玻璃上设有转轴座,在转轴座上设有可旋转的挡板转轴,该挡板转轴中间设有防溅射玻璃,该防溅射玻璃通过螺母压紧并与视镜玻璃紧贴;挡板转轴一端设有旋钮,挡板转轴另一端设有视镜挡板,所述视镜挡板上设有一个观察缺口。本装置结构简单,拆装、更换方便,易于维护,防护效果显著。
文档编号C23C14/52GK202482427SQ20122000330
公开日2012年10月10日 申请日期2012年1月6日 优先权日2012年1月6日
发明者张德云, 潘振强 申请人:肇庆市振华真空机械有限公司
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