专利名称：一种石墨舟卡点的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种石墨舟卡点，属于太阳能电池片生产PECVD(等离子增强型化学气相沉积)领域。
背景技术：
目前，现有的太阳能电池片生产PECVD当中使用的是石墨舟圆形卡点，用于卡住石墨舟片当中的硅片，以便在进行放电反应时有较良好的通电，使氮化硅沉积在硅片的表面，形成80-85AM厚的氮化硅膜。但硅片和卡点接触的部分由于被卡点遮挡没有形成氮化硅膜，致使最终电池边缘有一定的瑕疵。
发明内容针对上述现有技术，为降低电池片边缘卡点印，提高电池片表面美观度，本实用新型提供了一种石墨舟卡点，其呈菱形。本实用新型以圆形面积大于菱形面积为理论点，将现有的圆形卡点重新切割成菱形卡点，减少了卡点遮挡硅片的面积，进而将沉积在硅片表面的氮化硅膜最大化。本实用新型是通过以下技术方案实现的—种石墨舟卡点，包括圆柱形固定柱，圆柱形固定柱两侧设有菱形卡点。所述圆柱形固定柱的厚度为2. 5mm,直径为9mm。所述菱形卡点的尺寸为6mm*4mm(即菱形的长对角线的长度为6mm，短对角线的长度为4mm)。所述石墨舟卡点的材质和石墨舟本身的材质相同,可适用于所有炉体式国产设备和进口设备，可改善所有同类设备进行量产。使用时，将硅片插入到石墨舟中卡点位置，由机械臂送入机器当中运行；完成工艺后形成菱形卡点的膜(常规操作)。在形状和构造上，本实用新型的菱形卡点遮盖面积小，一般圆形卡点(按直径6mm计算)在娃片上的遮盖面积是I. 472mm2,而本实用新型的菱形卡点(按尺寸为计算)遮盖面积是0. 619mm2,大大小于圆形卡点的遮盖面积。娃片在圆形卡点和菱形卡点上的插入深度都是0. 5mm,所以娃片在石墨舟上的牢固度是一样的,不会产生掉片。本实用新型的菱形卡点的使用寿命长卡点更换是看遮盖面积的大小，当卡点磨损后遮盖面积大到一定程度时，此时卡点需要更换，圆形卡点磨损到插入深度为1.2_时，遮盖的面积是3. 992mm2 (这时一般就需要重新更换)，而菱形卡点磨损到I. 2mm时,遮盖面积只有I. 979mm2,这时还可以使用，当磨损到插入深度为2. Omm时,遮盖面积才到3. 839mm2,因此，本实用新型的菱形卡点的可使用寿命比圆形卡点要长。在太阳能电池片生产当中，对硅片表面进行镀膜处理。由于卡点的存在会使电池片表面形成部分遮挡。本实用新型的菱形卡点的使用将遮挡面积降低，同时保证了良好的定位效果，且使用寿命长，可以预见将会有良好的应用前景。
图I为本实用新型的菱形卡点的结构示意图(主视图)；图2为图I的俯视图；图3为现有技术中圆形卡点的结构示意图(主视图);图4为图3的俯视图。其中，I、圆柱形固定柱；2、菱形卡点；3、圆形卡点；阴影部分表示遮挡部分。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步的说明。 一种石墨舟卡点，包括圆柱形固定柱，如图I、图2所示，圆柱形固定柱I两侧设有菱形卡点2。圆柱形固定柱I的厚度为2. 5mm,直径为9mm。菱形卡点2的尺寸为(即菱形的长对角线的长度为6mm，短对角线的长度为4_)。所述石墨舟卡点的材质和石墨舟本身的材质相同,可适用于所有炉体式国产设备和进口设备，可改善所有同类设备进行量产。使用时，将硅片插入到石墨舟中卡点位置，由机械臂送入机器当中运行；完成工艺后形成菱形卡点的膜(常规操作)。在形状和构造上，本实用新型的菱形卡点遮盖面积小，一般圆形卡点3 (按直径6mm计算,如图3、图4所不)在娃片上的遮盖面积是I. 472mm2,而本实用新型的菱形卡点2遮盖面积是0. 619mm2,大大小于圆形卡点3的遮盖面积。娃片在圆形卡点3和菱形卡点2上的插入深度都是0. 5mm,所以娃片在石墨舟上的牢固度是一样的,不会产生掉片。本实用新型的菱形卡点的使用寿命长卡点更换是看遮盖面积的大小，当卡点磨损后遮盖面积大到一定程度时，此时卡点需要更换，圆形卡点磨损到插入深度为1.2_时，遮盖的面积是3. 992mm2 (这时一般就需要重新更换)，而菱形卡点磨损到I. 2mm时,遮盖面积只有I. 979mm2,这时还可以使用，当磨损到插入深度为2. Omm时,遮盖面积才到3. 839mm2,因此，本实用新型的菱形卡点的可使用寿命比圆形卡点要长。
权利要求1.一种石墨舟卡点，包括圆柱形固定柱，其特征在于所述圆柱形固定柱两侧设有菱形卡点。
2.根据权利要求I所述的一种石墨舟卡点，其特征在于所述圆柱形固定柱的厚度为2.5mm,直径为 9mm。
3.根据权利要求I所述的一种石墨舟卡点，其特征在于所述菱形卡点的尺寸为6mm氺4mmo
专利摘要本实用新型公开了一种石墨舟卡点，包括圆柱形固定柱，圆柱形固定柱两侧设有菱形卡点。所述圆柱形固定柱的厚度为2.5mm，直径为9mm。所述菱形卡点的尺寸为6mm*4mm。使用时，将硅片插入到石墨舟中卡点位置，由机械臂送入机器当中运行；完成工艺后形成菱形卡点的膜。本实用新型的菱形卡点的使用寿命长卡点更换是看遮盖面积的大小，当卡点磨损后遮盖面积大到一定程度时，此时卡点需要更换，圆形卡点磨损到插入深度为1.2mm时，遮盖的面积是3.992mm2，而菱形卡点磨损到1.2mm时，遮盖面积只有1.979mm2，这时还可以使用，当磨损到插入深度为2.0mm时，遮盖面积才到3.839mm2，因此，本实用新型的菱形卡点的可使用寿命比圆形卡点要长。
文档编号C23C16/458GK202465867SQ20122003524
公开日2012年10月3日 申请日期2012年2月3日 优先权日2012年2月3日
发明者任军利, 温奎, 王冬松, 王步峰, 胡杰, 马章彦 申请人:润峰电力有限公司