一种高纯镓氧化渣刮板装置的制作方法

文档序号:3274824阅读:153来源:国知局
专利名称:一种高纯镓氧化渣刮板装置的制作方法
技术领域
一种高纯镓氧化渣刮板装置技术领域[0001]本实用新型涉及一种高纯镓氧化渣刮板装置。
背景技术
[0002]高纯镓的提纯生产中,尽管采取了措施隔绝空气,但仍然不可避免的要接触空气 中的氧气,就会有一定量的镓被氧化,生成一种氧化物。此种氧化物颜色为银白色,有的会 呈现黄色或者是黑色。这种高纯镓的氧化物,其中夹富集着高纯镓中的杂质,金属和非金属 类别的杂质会较多的富集在氧化物中,此外,氧化物中的氧元素,对于高纯镓应用与半导体 器件的性能有影响,必须可靠的去除。氧化渣相对于高纯镓,由于体积酥松,密度比高纯镓 小,因此容易漂浮在液态镓表面。这给氧化渣的去除提供了一个很好的条件。目前氧化渣的 去除,会通过过滤等方式,使用过滤材料分离相对酥松的氧化物。此方法耗费能量和时间, 且容易造成二次污染。不适合高纯度镓氧化渣的去除。实用新型内容[0003]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种高纯镓氧化渣刮板装置,解决了上述 问题。[0004]本实用新型所要解决的技术问题是通过以下技术方案来实现的[0005]一种高纯镓氧化渣刮板装置,其特征在于包括机械机构、正刮板、反刮板和氧化 渣收集容器;所述机械机构连接并带动正刮板垂直上下运动、圆周运动或水平移动,所述机 械机构连接并带动反刮板水平方向往复运动;所述氧化渣收集容器设在正刮板和反刮板相 切时的正下方。[0006]所述机械结构由伺服电机和其带动的同步齿形带组成。[0007]所述机械结构手控运动或者通过自控程序控制运动。[0008]所述正刮板和反刮板的材质选用硬塑料。[0009]所述硬塑料为聚乙烯、聚丙烯或聚四氟乙烯。[0010]本实用新型相对于现有技术的有益效果是[0011]本实用新型采用可靠的往复循环机械运动,可以连续的将高纯镓表面的氧化渣刮 除,取代了过滤等复杂操作,高效可靠;本装置可以减轻氧化渣去除的繁重体力劳动,提高 效率;本装置可设置在洁净的手套箱内,杜绝污染;本装置采用的材质均可使用耐化学品 的塑料,不会污染高纯镓;本装置可以通过与自控装置对接,设置在流水线等连续操作线 上,批量工业化生产。


[0012]图1本实用新型结构示意图[0013]图中,1-伺服电机,2-同步齿形带,3-正刮板,4-反刮板,5-氧化渣收集容器, 6-高纯镓液体容器具体实施方式
[0014]图1所示,一种高纯镓氧化渣刮板装置,其特征在于包括机械机构、正刮板3、反 刮板4和氧化渣收集容器5 ;所述机械机构连接并带动正刮板3垂直上下运动、圆周运动或 水平移动,所述机械机构连接并带动反刮板4水平方向往复运动;所述氧化渣收集容器5设 在正刮板3和反刮板4相切时的正下方。[0015]所述机械结构由伺服电机I和其带动的同步齿形带2组成。[0016]所述机械结构手控运动或者通过自控程序控制运动。[0017]所述正刮板3和反刮板4的材质选用硬塑料。[0018]所述硬塑料为聚乙烯、聚丙烯或聚四氟乙烯。[0019]使用实例1:将盛有高纯镓液体的容器固定在该装置下方,手控机械机构带动正 刮板向下运动,目视当正刮板接触高纯镓液体表面时停止,再手控机械机构带动正刮板水 平圆周运动,将氧化渣刮除,此时氧化渣由于表面张力的作用会粘附在刮板上,然后机械机 构带动正刮板向上运动,脱离液态镓,再水平运动至正反刮板的切线处停止,此时手控反刮 板与正刮板相切运动,将粘附在正刮板上的氧化渣去除,掉落在氧化渣收集器中。[0020]使用实例2 :将盛有高纯镓液体的容器固定在装置下方,由设定的程序自动控制 机械机构运动,带动正刮板向下运动,当正刮板接触高纯镓液体表面时停止,再带动正刮板 水平圆周运动,将氧化渣刮除,然后再向上运动,脱离液态镓,再水平运动至正反刮板的切 线处停止,此时反刮板运动,将粘附在正刮板上的氧化渣去除,掉落在氧化渣收集器中。
权利要求1.一种高纯镓氧化渣刮板装置,其特征在于包括机械机构、正刮板、反刮板和氧化渣收集容器;所述机械机构连接并带动正刮板垂直上下运动、圆周运动或水平移动,所述机械机构连接并带动反刮板水平方向往复运动;所述氧化渣收集容器设在正刮板和反刮板相切时的正下方。
2.如权利要求1所述的高纯镓氧化渣刮板装置,其特征在于所述机械结构由伺服电机和其带动的同步齿形带组成。
3.如权利要求1所述的高纯镓氧化渣刮板装置,其特征在于所述机械结构手控运动或者通过自控程序控制运动。
4.如权利要求1所述的高纯镓氧化渣刮板装置,其特征在于所述正刮板和反刮板的材质选用硬塑料。
5.如权利要求4所述的高纯镓氧化渣刮板装置,其特征在于所述硬塑料为聚乙烯、聚丙烯或聚四氟乙烯。
专利摘要本实用新型公开了一种高纯镓氧化渣刮板装置,其特征在于包括机械机构、正刮板、反刮板和氧化渣收集容器;所述机械机构连接并带动正刮板垂直上下运动、圆周运动和水平移动,所述机械机构连接并带动反刮板水平方向往复运动;所述氧化渣收集容器设在正刮板和反刮板相切时的正下方。本实用新型采用可靠的往复循环机械运动,可以连续的将高纯镓表面的氧化渣刮除,取代了过滤等复杂操作,高效可靠;本装置可以减轻氧化渣去除的繁重体力劳动,提高效率;本装置可设置在洁净的手套箱内,杜绝污染;本装置采用的材质均可使用耐化学品的塑料,不会污染高纯镓;本装置可以通过与自控装置对接,设置在流水线等连续操作线上,批量工业化生产。
文档编号B22D43/00GK202861391SQ201220527320
公开日2013年4月10日 申请日期2012年10月15日 优先权日2012年10月15日
发明者康云飞, 乔文, 钟晓露 申请人:南京隆润半导体材料有限公司
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