成膜装置用基板传送托盘及外部开闭驱动装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种成膜装置用基板传送托盘及外部开闭驱动装置，该成膜装置用基板传送托盘实现在保持基板时作用于基板的应力的分散化，并且从多个方向保持基板。所述成膜装置用基板传送托盘构成为具备：托盘主体（21），在将与基板的板厚方向正交且相互交叉的2个方向设为第1方向及第2方向时，在第1方向上对置的一对边平行，并且在第2方向上对置的一对边平行；及基板支承部件（51），能够维持与边平行的状态的同时向托盘主体的中央侧移动，且能够与基板的端面抵接；并且，将基板支承部件安装于每个边（31～33）。
【专利说明】成膜装置用基板传送托盘及外部开闭驱动装置
【技术领域】
[0001]本申请主张基于2012年10月10日申请的日本专利申请第2012-225406号的优先权。其申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。
[0002]本发明涉及一种成膜装置用基板传送托盘及外部开闭驱动装置。
【背景技术】
[0003]例如对基板等对象物进行成膜的成膜装置中，基板保持于托盘上而被传送。作为基板传送托盘已知有具备与基板的周缘部接触而支承基板的框体和使基板相对于该框体微动并使基板在框体的预定位置上定位的定位机构的托盘(例如参考专利文献I)。
[0004]专利文献I所记载的传送托盘将基板保持为使被成膜面沿铅垂方向，且具备通过基板的自身重量而使基板沿水平方向微动的L字状的支承部件作为定位机构。该L字状的支承部件被设置成能够与基板的底边及侧边分别抵接，且通过相对于框体进行回转来调节基板的位置。该L字状的支承部件被设置成与基板的横向两端部对应。
[0005]专利文献1:日本特开2010-103226号公报
[0006]近几年来伴随太阳能电池及液晶显示面板等的大型化，基板也被大型化。若基板的横向宽度较大且基板尺寸产生偏差，则导致上述L字状的支承部件变成2点支承，存在应力集中而基板产生缺陷的可能性。并且，上述L字状的支承部件中，若基板在成膜处理时被加热而膨胀，则基板在2点被支承，存在应力集中而使基板产生缺陷的可能性。
[0007]上述L字状的支承部件为了通过基板的自身重量使基板微动而被配置成能够与基板的底边抵接，因此在支承基板的上部侧的情况下无法适用。因此，根据基板的支承方向，难以使在多个支承方向上支承基板的力均匀化。
【发明内容】
[0008]本发明的目的在于提供一种能够实现在保持基板时作用于基板的应力的分散化，并且从多个方向保持基板的成膜装置用基板传送托盘。
[0009]本发明的目的在于提供一种能够对上述成膜装置用基板传送托盘未保持基板的开状态及保持基板的闭状态进行切换的外部开闭驱动装置。
[0010]本发明提供一种成膜装置用基板传送托盘，其在成膜装置中传送基板时能够保持基板，其中，将与被保持的基板的板厚方向正交且相互交叉的2个方向设为第I方向及第2方向，所述成膜装置用基板传送托盘具备:托盘主体，在第I方向上对置的一对边平行，并且在第2方向上对置的一对边平行；及基板支承部件，在维持与边平行的状态的同时能够向托盘主体的中央侧移动，且能够与基板的端面抵接，基板支承部件被安装于每个边。
[0011]该成膜装置用基板传送托盘具备在第I方向上对置的一对边平行并且在第2方向上对置的一对边平行的托盘主体，并且能够维持与托盘主体的边平行的状态的同时使基板支承部件移动而使基板支承部件与基板的端面抵接来支承基板。由此，能够避免基板的端面与基板支承部件点接触，因此能够使在保持基板时作用于基板的应力分散。并且，由于基板支承部件被安装于托盘主体的每个边上，因此能够从第I方向及第2方向这两侧保持基板，能够使在保持基板时作用于基板的应力分散。并且，通过使基板支承部件从多个方向向托盘主体的中央移动而与基板的端面抵接，从而能够调整基板的位置来保持基板。因此，即使在基板未准确地被配置于托盘主体的状态下，也能够对基板定位并进行保持。
[0012]成膜装置用基板传送托盘也可具备连杆机构，该连杆机构连结于多个基板支承部件，并使该基板支承部件相对于托盘主体的边平行地移动。由此，能够使多个基板支承部件联动而对基板定位并进行保持。通过以连杆机构使多个基板支承部件联动，从而能够使多个基板支承部件同时与基板抵接，能够使作用于基板的应力分散。
[0013]连杆机构可为如下结构，即具备连杆部件，该连杆部件能够绕着沿板厚方向延伸的轴摆动，且在前端部连结有基板支承部件，在连结有与基板的下端面抵接的基板支承部件的连杆部件中，能够在该连杆部件的前端部配置于最靠托盘主体的中央侧的上止点使所述连杆部件停止，在连结有与基板的上端面抵接的基板支承部件的连杆部件中，使所述基板支承部件与基板的上端面抵接，以便使该连杆部件在邻近上止点的位置停止，在连结有与基板的侧端面抵接的基板支承部件的所述连杆部件中，使基板支承部件与基板的侧端面抵接，以便使该连杆部件在邻近上止点的位置停止。由此，具有与基板的下端面抵接的基板支承部件的连杆机构能够在上止点固定连杆部件的位置，通过在该位置保持基板，能够防止过度的应力作用于基板。并且，具有与基板的上端面或侧端面抵接的基板支承部件的连杆机构能够使基板支承部件与基板抵接以便使连杆部件在邻近上止点的位置停止，因此能够在弹力起作用的状态下，保持基板的上端面及侧端面。因此，能够抑制基板损伤的同时对基板定位。并且，始终与基板的端面平行地抵接的基板支承部件分别设置于与4边对应的连杆机构上，因此能够实现作用于基板的应力的分散化。[0014]托盘主体也可为具备具有边的基板支承框、配置于基板支承框的外侧的外框、及配置于基板支承框及外框之间且将基板支承框支承于外框的弹性体的结构。由于能够通过弹性体支承基板支承框，因此能够缓减作用于基板的振动。
[0015]也可具备多个弹性体且配置于基板支承框的底面侧的边上的弹性体的刚性比配置于其他边上的弹性体的刚性更高。由此，比起传送方向的振动更能抑制上下方向的振动。
[0016]也可为如下结构，即具备把持基板的周缘的把持部，该把持部具有--第I支承部，能够与基板的在板厚方向上对置的其中一个面抵接；及第2支承部，能够与基板的在板厚方向上对置的其中另一个面抵接，第2支承部能够摆动地支承于托盘主体上。由此，能够使第2支承部摆动来进行开闭，能够将第2支承部设为开状态来进行基板的安装、拆卸。并且，通过将第2支承部设为闭状态，能够通过第I支承部及第2支承部把持基板。
[0017]也可为如下结构，即在第I支承部及第2支承部的至少一个上设置磁铁，第2支承部通过由该磁铁产生的磁力靠近第I支承部，从而把持部把持基板的周缘。由此，能够使用磁铁使第I支承部及第2支承部靠近来把持基板。
[0018]也可为如下结构，即设置有从板厚方向的两侧将形成于基板支承框与外框之间的间隙覆盖的一对屏蔽板的结构。由此，能够利用一对屏蔽板作为引导件，能够引导基板支承框相对于外框的移动。
[0019]在基板支承框上也可设置有能够在一对屏蔽板之间移动的旋转辊。由此，设置于基板支承框的旋转辊在一对屏蔽板间圆滑地移动，因此能够使基板支承框的运动变得顺畅，能够吸收外框的振动来抑制作用于基板的应力。
[0020]本发明提供一种外部开闭驱动装置，其被设置为能够与上述的成膜装置用基板传送托盘结合，且能够驱动成膜装置用基板传送托盘的基板支承部件来对未保持基板的开状态及保持基板的闭状态进行切换。
[0021]该外部开闭驱动装置能够通过与成膜装置用基板传送托盘结合并驱动成膜装置用基板传送托盘的基板支承部件，来对成膜装置用基板传送托盘未保持基板的开状态和保持基板的闭状态进行切换。
[0022]发明效果:
[0023]根据本发明能够提供一种成膜装置用基板传送托盘，其能够实现在保持基板时作用于基板的应力的分散化，并且从多个方向保持基板。
[0024]根据本发明能够提供一种外部开闭驱动装置，其能够对成膜装置用基板传送托盘未保持基板的开状态及保持基板的闭状态进行切换。
【专利附图】
【附图说明】
[0025]图1是表示本发明的实施方式所涉及的成膜装置的俯视图。
[0026]图2是从正面侧示出腔室内部的剖视图。
[0027]图3是从传送方向的前方示出成膜腔室内部的剖视图。
[0028]图4是从传送方向的前方示出基板装卸装置的右侧视图。
[0029]图5是表不基板装卸装置的后视图。
[0030]图6是表示基板装卸装置的`右侧视图，是表示在托盘偏转架呈水平的状态下搬入基板的状态的图。
[0031]图7是表示传送托盘的后视图。
[0032]图8是传送托盘的托盘主体的局部正面放大图。
[0033]图9是沿图8的1-1线的剖视图。
[0034]图10是沿图8的I1-1I线的剖视图。
[0035]图11是沿图8的II1-1II线的剖视图。
[0036]图12是沿图8的IV-1V线的剖视图。
[0037]图13是表示基板定位夹具50的放大图。
[0038]图14是表示开闭驱动装置的后视图。
[0039]图中:10_传送装置(托盘传送机构)，20-传送托盘，100-成膜装置，101-基板，121~125-真空容器，140-蒸镀装置(成膜机构)，160A-基板安装装置(基板容纳部)，160B-基板分离装置(基板回收部)，161-托盘偏转架，191、192、195_传送辊(基板传送机构)，L1-第I传送路径(第I直线部)，L2-第2传送路径(第3直线部)，L3-第3传送路径(第2直线部)，L4-第4传送路径(第3直线部)。
【具体实施方式】
[0040]参考附图对本发明所涉及的成膜装置进行说明。另外，“上”、“下”等表示方向的术语基于附图所示的状态，是为了便于理解而使用的。而且，图1~图14中为了便于说明还示出XYZ直角坐标系。[0041](成膜装置)
[0042]图1所示的成膜装置100为用于对基板101 (例如玻璃基板)实施成膜等处理的装置。成膜装置100为通过例如RH)法(反应性等离子体蒸镀法)进行成膜的装置。成膜装置100具备生成等离子体的等离子体枪(蒸镀源140)，通过使用生成的等离子体将成膜材料离子化，并使成膜材料粒子附着于基板101的表面来进行成膜。
[0043]成膜装置100具备过渡腔室121、缓冲腔室122、成膜腔室(成膜室)123、缓冲腔室124及过渡腔室125。这些腔室121~125依次排列配置。所有腔室121~125由真空容器构成，在腔室121~125的出入口设置有开闭闸131~136。成膜装置100可为排列有多个缓冲腔室122、124、成膜腔室123的结构。并且，也可为由一系列的腔室构成的成膜装置。
[0044]各真空腔室121~125上连接有用于将内部设为适当的压力的真空泵(未图示)。并且，各真空腔室121~125上设置有用于监视腔室内的压力的真空仪(未图示)。各腔室121~125与连接于真空泵的真空排气管连通，该真空排气管上设置有真空仪。
[0045]如图2所示，成膜装置100上设置有用于传送保持基板101的传送托盘20的传送装置10。传送装置10为在真空腔室121~125内将基板101及传送托盘20以直立的状态传送的装置(详细内容进行后述)。另外，在图2及图3中简单化地记载了传送托盘20。
[0046](真空腔室)
[0047]接着，参考图一对各种真空腔室121~125进行说明。过渡腔室121为如下腔室:通过开放设置于入口侧的开闭闸131来开放在大气中，并导入待处理的基板101及保持该基板101的传送托盘20。过渡腔室121的出口侧经开闭闸132与缓冲腔室122的入口侧连接。
[0048]缓冲腔室122为如下压力调整用腔室:通过开放设置于入口侧的开闭闸132而与过渡腔室121连通，并导入通过过渡腔室121的基板101。缓冲腔室122的出口侧经开闭闸133与成膜腔室123的入口侧连接。而且，缓冲腔室122中设置有用于对基板101进行加热的加热器(未图示)。该加热器为了对基板101的成膜面(被成膜的面)进行加热而与成膜面对置配置。本实施方式中，基板101以直立状态配置，因此成膜面沿着上下方向配置。缓冲腔室122中，被加热成基板温度达到例如200°C左右。缓冲腔室122被设置于成膜腔室123的前段，作为对基板101进行加热的加热用腔室发挥作用。
[0049]作为加热器，能够使用例如灯式加热器。灯式加热器呈棒状，向上下方向Z延伸。灯式加热器在缓冲腔室122内设置有多个(例如12个)，在传送方向L (Y方向)上隔着预定的间隔而配置。加热器的热量传热至基板101，从而对基板101进行加热。
[0050]成膜腔室123为如下处理腔室:通过开放设置于入口侧的开闭闸133而与缓冲腔室122连通，并导入通过缓冲腔室122的基板101及传送托盘20，对基板101成膜薄膜层。成膜腔室123的出口侧经开闭闸134与缓冲腔室124的入口侧连接。如图3所示，成膜腔室123中设置有用于 对基板101成膜成膜材料(薄膜层)的蒸镀装置140。蒸镀装置140由保持成膜材料的主炉缸、及将等离子射束照射到主炉缸的等离子枪等构成。而且，成膜腔室123中设置有用于对基板101进行加热的加热器。该加热器设置成例如从基板101的背面IOlf (与成膜面IOle相反侧的面)侧对基板101进行加热。成膜腔室123中，基板温度被维持在例如200°C左右。[0051]图1所示的缓冲腔室124为如下压力调整用腔室:通过开放设置于入口侧的开闭闸134而与成膜腔室123连通，并被导入通过成膜腔室123成膜的基板101及保持该基板的传送托盘20。缓冲腔室124的出口侧经开闭闸135与过渡腔室125的入口侧连接。而且，缓冲腔室124中设置有用于对基板101进行冷却的冷却板(未图示)。该冷却板为了对基板101的成膜面进行冷却而与基板101的成膜面对置配置。可为具备从基板101的背面IOlf侧对基板101进行冷却的冷却板的结构。缓冲腔室124中被冷却成基板温度达到例如120°C左右。缓冲腔室124被设置于成膜腔室123的后段，作为对基板101进行冷却的冷却用腔室发挥作用。另外，可为缓冲腔室124未设置冷却机构的结构。也可为在从真空腔室搬出之后的大气压环境下通过大气对基板101进行冷却(空冷)的结构。
[0052]冷却板作为对基板101进行冷却的冷却机构发挥作用。冷却板例如由铜板形成，呈板状，并以与基板101相对的方式配置。冷却板上设置有使冷却水流通的冷却管(未图示)。基板101的热量被传热至冷却板93，传递至冷却板的热量传热至冷却管，冷却管通过在管内流动的冷却水而被冷却。由此，冷却板被冷却从而对基板101进行冷却。
[0053]如图2及图3所示，真空腔室121~125呈箱形，具备顶板151、底板152、正面壁153 (参考图1)、背面壁154、入侧壁155及出侧壁156。顶板151及底板152是在上下方向Z上对置配置的壁体。入侧壁155及出侧壁156是在传送方向Y上对置配置的壁体。入侧壁155是基板101及传送托盘20被搬入真空腔室121~125内的一侧即入口侧的壁体。出侧壁156是基板101及传送托盘20被向真空腔室121~125外搬出的一侧即出口侧的壁体。正面壁153及背面壁154是在基板101的板厚方向(X)上对置配置的壁体。另外，图3中省略图示正面壁153。
[0054]入侧壁155 上形成有用于将传送托盘20及基板101搬入真空腔室121~125内的入口(开口部)155a。出侧壁156上形成有用于将传送托盘20及基板101向真空腔室121~125外搬出的出口(开口部)156a。
[0055]图3中示出成膜腔室123的剖面。成膜腔室123配置成背面壁154的至少一部分向外方(向从基板101被传送的传送路径远离的方向)突出，由此形成凹部154a。该凹部154a中配置有上述蒸镀装置140。成膜腔室123中，通过等离子枪生成等离子体，对保持于主炉缸的成膜材料进行加热而使其蒸发。成膜材料蒸发而被离子化，成膜材料的粒子向凹部154a内扩散。向凹部154a内扩散的成膜材料粒子朝向基板101飞行,并附着于基板101的表面(成膜面101e)。
[0056]顶板151及底板152在传送方向Y的一侧端部，与入侧壁155接合,在传送方向Y的另一侧端部，与出侧壁156接合。正面壁153及背面壁154在传送方向Y的一侧端部，与入侧壁155接合，在传送方向Y的另一侧端部，与出侧壁156接合。顶板151及底板152在正面侧与正面壁153接合，在背面侧与背面壁154接合。这些壁体151~156例如通过焊接结合成一体。另外，为了进行成膜腔室123内的维修，可对部分壁体(例如正面壁153)进行铰链结合而设为开闭自如的结构。
[0057](传送装置)
[0058]接着，对传送基板101的传送装置10进行说明。如图2及图3所示，传送装置10具备:多个传送辊11，配置于基板101的下端侧；及多个从动辊(导向辊)12、13，配置于基板101的上端侧。[0059]多个传送辊11在传送方向Y上以预定的间隔配置。如图3所示，传送辊11固定于在X方向延伸的旋转轴14上。旋转轴14通过一对轴承19被支承为能够旋转。一对轴承19固定于底板152上。
[0060]旋转轴14插穿设置于真空腔室121~125的背面壁154上的开口部154a。开口部154a上设置有轴封装置15，所述轴封装置将旋转轴14支承为能够旋转，并密封真空腔室121~125内与外部环境之间。作为轴封装置15，能够使用例如磁性流体轴承。旋转轴14贯穿背面壁154而从真空腔室121~125的内部延伸至外部。另外，旋转轴14可为作为一体物而构成的轴，也可为通过在轴线方向上连结多个部件而构成的轴。
[0061]在真空腔室121~125的外部设置有用于旋转驱动旋转轴14的驱动源(例如电动马达)16。从驱动源16输出的驱动力通过具有传送带轮17及环状传送带18的动力传递机构向多个旋转轴14传递。旋转轴14的配置于真空腔室121~125外部的端部上安装有多个传送带轮17。设置于在传送方向Y上邻接的旋转轴14上的传送带轮17上架设有环状传送带18。同样地，驱动源16的输出轴上安装有传送带轮17，输出轴的传送带轮17及安装于邻接的旋转轴14上的传送带轮17上架设有环状传送带18。由此，能够分配从驱动源16输出的驱动力而使多个旋转轴14旋转驱动。另外，动力传递机构不限于具备传送带18及传送带轮17的机构，可为其他动力传递机构。也可为例如具备链条及链轮的机构，还可为具备其他动力传递轴等的机构。 [0062]而且，传送辊11可构成为具有一对凸缘部，所述一对凸缘部配置成夹持传送托盘20的下端部保持部32 (轨道部26)的两侧。由此，凸缘部与传送托盘20的轨道部26 (详细内容进行后述)的侧面(在X方向上对置的面)抵接而限制传送托盘20的X方向的位置。
[0063]从动辊12、13在传送方向Y上以预定的间隔配置。从动辊12、13以能够绕在Z方向延伸的轴旋转的方式支承于顶板151。作为从动辊12、13，能够使用滚动轴承。从动辊12、13也可为其他旋转体。从动辊12、13为了在与传送托盘20接触时无冲击且顺畅地进行旋转，优选旋转惯性较小。从动辊12、13能够与传送托盘20的后述的导向槽25的内壁抵接，随着传送托盘20的移动而旋转。
[0064](布局)
[0065]如图1所示，传送装置10传送(返送)从真空腔室125排出的传送托盘，将其再次搬入真空腔室121。传送装置10形成为传送托盘20的传送路径L (LI~L4)在俯视时呈矩形的环绕轨道，以便能够重复使用传送托盘20。
[0066]传送托盘20的传送路径具备--第I传送路径LI (第I直线部)，向图示Y方向延伸；第2传送路径L2 (第3直线部)，在第I传送路径LI的下游向图示X方向延伸；第3传送路径L3(第2直线部)，在第2传送路径L2的下游向Y方向延伸，且向与第I传送路径LI相反的方向对传送托盘20进行传送；及第4传送路径L4 (第3直线部)，在第3传送路径L3的下游向X方向延伸，且向与第2传送路径L2相反的方向对传送托盘20进行传送。第4传送路径L4的下游侧连接于第I传送路径LI的上游侧。
[0067]第I传送路径L1、第2传送路径L2、第3传送路径L3及第4传送路径L4在俯视时直线性形成。第I传送路径LI及第3传送路径L3被平行配置，且第2传送路径L2及第4传送路径L4被平行配置。传送托盘20通过第I传送路径L1、第2传送路径L2、第3传送路径L3及第4传送路径L4而再次进入第I传送路径LI。上述真空腔室121~125构成第I传送路径LI。
[0068]在第I传送路径LI及第3传送路径L3中，传送托盘20被向与板厚方向交叉的方向(Y方向)传送。在第2传送路径L2及第4传送路径L4中,传送托盘20被向板厚方向(X方向)传送。由此，在各传送路径的接触点，传送托盘20不改变姿势而变更传送方向，因此能够缩短装置整体的传送时间。并且，不需要改变传送托盘20的姿势的机构，因此能够防止装置复杂化。
[0069]成膜装置100具备:第5传送路径L5 (基板传送机构)，将成膜前的基板101以水平状态传送，且使其从环绕轨道(LI~L4)的外侧向内侧通过；及第6传送路径L6，将成膜后的基板101以水平状态传送，且使其从环绕轨道(LI~L4)的内侧向外侧通过。
[0070]第5传送路径L5在过渡腔室121的上游侧以横切第I传送路径LI的方式向X方向形成。第5传送路径L5由在环绕轨道的外侧将基板101向X方向传送的基板搬入输送装置195、后述的基板安装装置160A的传送辊191、192构成。成膜前的基板101通过第5传送路径L5而横切第I传送路径LI，从环绕轨道的外侧向内侧搬入而被容纳于成膜装置100中。另外，第5传送路径L5例如也可形成为横切第3传送路径L3、第4传送路径L4等其他传送路径。
[0071]第6传送路径L6在过渡腔室125的下游侧以横穿第I传送路径LI的方式沿X方向形成。第6传送路径L6沿与第5传送路径L5相反的方向传送基板101。第6传送路径L6由在环绕轨道的外侧将基板向X方向传送的基板搬出输送装置196、后述的基板分离装置160B的传送辊191、192构成。成膜后的基板101通过基板分离装置160B从传送托盘20拆卸之后，通过第6传送路径L6横切第I传送路径LI，从环绕轨道的内侧向外侧传送，回收成膜后的基板101。回收的基板101被向成膜装置100外搬出。另外，第6传送路径L6例如也可形成为横切第2传送路径L2、第3传送路径L3等其他传送路径。
[0072](基板装卸装置、基板传送托盘起伏装置)`[0073]图4是从传送方向的前方`示出基板装卸装置160 (基板安装装置160A、基板分离装置160B)的右侧视图。基板安装装置160A (基板容纳部)为将基板101安装于传送托盘20上的装置。基板分离装置160B (基板回收部)为将基板101从传送托盘20拆卸的装置。本实施方式中，基板安装装置160A及基板分离装置160B为相同的结构。不区分基板安装装置160A及基板分离装置160B时，记载为基板装卸装置160。
[0074]如图1所示，基板安装装置160A在过渡腔室121的上游侧形成第5传送路径L5与第I传送路径LI的交叉点。基板分离装置160B在过渡腔室125的下游侧形成第6传送路径L6与第I传送路径LI的交叉点。
[0075]作为基板装卸装置160对基板安装装置160A进行了说明，但是基板分离装置160B也为相同的结构。基板安装装置160A具备支承传送托盘20的托盘偏转架161。基板安装装置160A构成为能够将托盘偏转架161的姿势切换为将传送托盘20保持为直立状态的第I姿势及将传送托盘20保持为水平状态的第2姿势。
[0076](托盘偏转架)
[0077]如图5所示，托盘偏转架161构成为在第I姿势下正面观察时(从传送托盘20的板厚方向观察)呈矩形的框体。托盘偏转架161具备顶部162、底部163、入侧连结部件164及出侧连结部件165。以下，基于第I姿势时的位置关系来说明托盘偏转架161。[0078]顶部162形成托盘偏转架161的上侧部分。顶部162形成为例如呈棒状。配置为顶部162的板厚方向沿上下方向Z。顶部162沿传送托盘20的传送方向(Y方向，LI)延伸。在传送方向上，顶部162形成为比传送托盘20长。顶部162形成为配置于比传送托盘20更靠上方。在图5中，以双点划线图示传送托盘20。
[0079]底部163形成托盘偏转架161的下侧部分。底部163形成为例如呈棒状。底部163沿传送托盘20的传送方向延伸。在传送方向上,底部163形成为比传送托盘20长。底部163形成为配置于比传送托盘20更靠下方。
[0080]入侧连结部件164形成托盘偏转架161的入侧部分。入侧是传送托盘20的传送方向的上游侧，并且是托盘偏转架161中的入口侧。入侧连结部件164形成为例如呈棒状。入侧连结部件164沿上下方向Z延伸。在上下方向Z，入侧连结部164形成为比传送托盘20长。入侧连结部件164在上下方向Z连结顶部162及底部163。入侧连结部件164通过例如焊接与顶部162及底部163接合。
[0081]出侧连结部件165形成托盘偏转架161的出侧部分。出侧是指传送托盘20的传送方向的下游侧，并且是托盘偏转架161中的出口侧。出侧连结部件165形成为例如呈棒状。出侧连结部件165沿上下方向Z延伸。在上下方向Z，出侧连结部165形成为比传送托盘20长。出侧连结部件165在上下方向连结顶部162及底部163。出侧连结部件165通过例如焊接与顶部162及底部163接合。
[0082]如图4所示，托盘偏转架161在传送托盘20的传送路径L (环绕轨道)的内侧配置有入侧连结部件164及出侧连结部件165。在图4中，传送托盘20配置于传送路径L上。顶部162连接于入侧连结部件164及出侧连结部件165的上端，且向传送路径L侧突出。
[0083]如图5所示，在入侧连结部件164及出侧连结部件165上分别设置有连接于下端且向传送路径L侧突出的支承部件166。支承部件166连结于底部163的长边方向的两端。底部163通过支承部件166连结于入侧连结部件164及出侧连结部件165上。
[0084]基板安装装置160A具备将传送托盘20向传送方向传送的托盘传送机构170(10)。托盘传送机构170设置于托盘偏转架161上。托盘传送机构170为与设置于真空腔室内的传送装置10相同的结构(但，在托盘传送机构170上未设置有轴封装置15)。托盘传送机构170具有用于对传送托盘20进行传送的多个传送辊171。这些传送辊171设置于底部163。托盘传送机构170具有能够限制传送托盘20的上端部的移动方向的导向辊172。这些导向辊172设置于顶部162。
[0085]基板安装装置160A通过托盘传送机构170从上下方向Z的两侧支承传送托盘20。基板装卸装置160具备后述的外部开闭驱动装置200。支承于基板安装装置160A上的传送托盘20被外部开闭驱动装置200限制相对于托盘偏转架161的位置。通过使外部开闭驱动装置200动作，传送托盘20与托盘偏转架161能够合体。在基板安装装置160A中，通过托盘偏转架161、托盘传送机构170及外部开闭驱动装置200形成保持传送托盘20的保持部。
[0086]基板安装装置160A具备载置于设置面(台面)上的基座167。基座167由强度部件构成，形成为例如矩形的框体。如图4所示，基座167从传送方向观察时配置成从传送路径L侧向环绕轨道的内侧(向图示左侧)伸出。如图5所示，基座167从X方向观察时在托盘传送机构170的下方以沿传送路径L的方式延伸。[0087](偏转驱动机构)
[0088]基板安装装置160A具备偏转驱动机构180，托盘偏转架161被指称为能够相对于基座167旋转。偏转驱动机构180构成为能够将托盘偏转架161的姿势切换为能够将传送托盘20保持为直立状态的第I姿势(参考图4及图5)及能够将传送托盘20保持为水平状态的第2姿势(参考图6)。
[0089]如图5所示，偏转驱动机构180具备向传送方向延伸的一对旋转轴181。一对旋转轴181在传送方向上分开，且配置成向托盘偏转架161 (入侧连结部件164、出侧连结部件165)的外侧伸出。一对旋转轴181在上下方向Z上配置于托盘偏转架161的下端侧。
[0090]一对旋转轴181通过轴承182被支承为能够旋转。轴承182配置于旋转轴181的长边方向的中央。在轴承182上通过轴承支承部件183而被支承。轴承支承部件183形成为从基座167向上方突出。轴承支承部件183在传送方向的两侧分别支承一对旋转轴181。
[0091]在旋转轴181的一侧端部连结有托盘偏转架161。一对旋转轴181具有配置于传送方向的上游侧的第I旋转轴18IA及配置于传送方向的下游侧的第2旋转轴181B。在第2旋转轴181B的另一侧端部固定有倾动驱动臂184。如图4及图6所示,倾动驱动臂184以从旋转轴181B向径向外侧突出的方式延伸。在倾动驱动臂184的前端连结有电动缸185(驱动源)。电动缸185的基端部能够摆动地被支承于基座167上。通过使电动缸185动作来驱动倾动驱动臂184，使托盘偏转架161绕旋转轴181旋转。
[0092]如图5所示，在第I旋转轴181A的另一侧端部设置有平衡块(反向转矩产生部)186。平衡块186具有固定于第I旋转轴181A的另一侧端部的平衡臂187及连结于平衡臂187的螺旋弹簧189。
[0093]平衡臂187以从第I旋转轴181A向径向外侧突出的方式延伸。螺旋弹簧189的一侧的端部连结于平衡臂187的前端，螺旋弹簧189的另一侧端部连结于基座167上。平衡臂187伴随旋转轴181的旋转而旋转。螺旋弹簧189在托盘偏转架161呈水平状态时使拉伸力发挥作用，通过平衡臂187使旋转轴181产生转矩。此时的转矩为使托盘旋转框架161的姿势从水平状态改变为直立状态的方向的转矩。平衡块186在托盘偏转架161呈水平状态时，使将通过托盘偏转架161的自身重量而产生的转矩抵消的方向的转矩作用于托盘偏转架161。
[0094]如图4及图6所示，基板安装装置160A具有能够传送水平状态的基板101的多个传送棍191(基板移载棍)。传送棍191被支承于基座167,在X方向上配置有多个。这些传送辊191设置成能够相对于基座167升降。基板安装装置160A能够通过使传送辊191上升来配置在与邻接的基板搬入输送装置195对应的高度上。传送辊191将基板101向图示的X方向传送。
[0095]基板安装装置160A能够使传送辊191下降。传送辊191能够从与基板搬入输送装置195对应的高度下降而移动至比水平状态的传送托盘20更靠下方的位置。作为使传送辊191上升或下降的升降机构可以举出具有滚珠丝杠的机构、具有缸体的机构等。只要是能够使将传送辊191支承为能够旋转的支承部件升降的结构即可。
[0096]在托盘偏转架161上设置有多个基板传送棍192,这些基板传送棍在托盘偏转架161呈水平状态(第2姿势)时能够传送基板101。基板传送辊192被安装于托盘偏转架161上，伴随托盘偏转架161的姿势变化而移动。如图4所示，当托盘偏转架161呈第I姿势(直立状态)时，基板传送辊192被配置为沿上下方向Z排列的状态。如图6所示，托盘偏转架161呈第2姿势(水平状态)时，基板传送辊192被配置为在水平方向X上排列的状态。当托盘偏转架呈第2姿势时，基板传送辊192被配置于与基板搬入输送装置195 (基板搬出输送装置196)对应的高度位置。
[0097](传送托盘)
[0098]接着，对传送托盘20进行说明。图7所示的传送托盘20为能够在本实施方式的成膜装置100中使用的托盘。当将基板101以直立的状态传送时，传送托盘20保持基板101。基板101的直立状态是指基板101的板厚方向X呈水平方向的状态。此时，基板101的成膜面沿着上下方向Z配置。另外，也可为在基板101从直立的状态倾斜的状态下保持基板101的结构。基板101的板厚方向X可为大致水平的方向，也可从水平方向倾斜。方向X为与垂直方向Z正交且与基板101的传送方向Y正交的方向。
[0099]传送托盘20形成为保持基板101的端部的矩形的框体。传送托盘20具有在传送方向(方向Y、第I方向)上对置的一对边平行并且在上下方向Z (第2方向)对置的一对边平行的托盘主体21。
[0100]托盘主体21形成为例如双层的框体，具备配置于内侧的基板支承框30及配置于基板支承框30的外侧的外框40。图8中将传送托盘20的一部分放大表不。在基板支承框30与外框40之间形成有间隙G。在间隙G中配置有将基板支承框30支承于外框40的弹性支承体22。作为弹性支承体22能够使用压缩弹簧。作为弹性支承体22也可使用板簧等。在图7及图8中示出使用压缩弹簧作为弹性支承体的情况。[0101](基板支承框)
[0102]如图7所示，基板支承框30具备:上端部保持部31，其保持基板101的上端部IOla ;下端部保持部32，其保持基板101的下端部IOlb ;及一对侧端部保持部33，其保持基板101的侧端部101c。本实施方式的传送托盘20构成为保持I个基板101。传送托盘可保持基板101的边缘部的整周，也可保持基板101的边缘部的局部。作为上端部保持部31、下端部保持部32、侧端部保持部33的材质，能够使用例如不锈钢。
[0103]上端保持部31及下端保持部32在上下方向Z上对置且向传送方向延伸。一对侧端部保持部33在传送方向上对置且沿上下方向Z延伸。上端部保持部31被配置成沿基板101的上端部101a。下端部保持部32被配置成沿基板101的下端部101b。下端部保持部32与上端部保持部31在上下方向(Z方向)上对置配置。一对侧端部保持部33被配置成沿基板101的侧端部101c。一对侧端部保持部33将上端部保持部31及下端部保持部32的Y方向的端部彼此连结，形成矩形的框体。基板支承框30可以一体成形，也可将分体连接而形成。
[0104](把持部)
[0105]在基板支承框30上形成有把持基板101的周缘的把持部(基板支承部)。如图9所示，在基板支承框30上形成有向托盘主体21的中央侧(在图9中向上方)伸出的支承板21a (凸缘部)。支承板21a形成为与基板101的周缘重叠。支承板21a形成为在正面观察时与基板101的非成膜面(背面)的周缘相对。
[0106]支承板21a分别形成于基板支承框30的4边(上端部保持部31、下端部保持部32及一对侧端部保持部33)。支承板21a在上端部保持部31及下端部保持部32沿Y方向配置。支承板21a在一对侧端部保持部33沿Z方向配置。
[0107]在支承板21a的与基板101对置的面上设置有与基板101的背面IOlf (非成膜面)抵接的基板接受件21b。基板接受件21b从X方向观察时例如形成为圆形。基板接受件21b若由比基板101更柔软的材质构成，则能够抑制基板101的损伤。基板接受件21b例如由树脂形成。基板接受件21b在支承板21a的长边方向上设置有多个。支承板21a及基板接受件21b构成能够与基板101的一个面IOlf (被面)抵接的第I支承部。
[0108](开闭式屏蔽板)
[0109]如图11所示，传送托盘20具备覆盖基板支承框30的成膜面侧的开闭式屏蔽板21c。开闭式屏蔽板21c能够摆动地被支承于基板支承框30上。在基板支承框30的成膜面侧的表面设置有旋转轴21d。开闭式屏蔽板21c通过旋转轴21d被支承于基板支承框30。旋转轴21d在上端部保持部31及下端部保持部32向Y方向延伸，在一对侧端部保持部33向Z方向延伸。开闭式屏蔽板21c构成为能够绕旋转轴21d摆动。开闭式屏蔽板21c的前端侧相对于支承板21a靠近、分开。
[0110]在开闭式屏蔽板21c关闭的状态下(在图11中以实线图示)，开闭式屏蔽板21c的前端侧与支承板21a接近，开闭式屏蔽板21c与基板支承框30被平行配置。在开闭式屏蔽板21c打开的状态下(在图11中以假想线图示)，开闭式屏蔽板21c的前端与支承板21a分开，开闭式屏蔽板21c呈相对于基板支承框30倾斜的状态。
[0111]在开闭式屏蔽板21c的前端的与基板101对置的面上设置有与基板101的表面(成膜面)抵接的基板接受件21e。基板接受件21e从X方向观察时例如形成为圆形。基板接受件21b若由比基板101更柔软的材质构成，则能够抑制基板101的损伤。基板接受件21e例如由树脂形成。基板接受件21e在支承板21c的长边方向上设置有多个。开闭式屏蔽板21c及基板接受件21e构成能够与基板101的另一侧面IOle (表面)抵接的第2支承部。
[0112]开闭式屏蔽板21c例如由能够被磁铁吸引的磁性体构成。如图11所示，在基板支承框30的与开闭式屏蔽板21c对置的表面上设置有磁铁21f。磁铁21f在开闭式屏蔽板21c关闭的状态下，吸附开闭式屏蔽板21c。另外，开闭式屏蔽板21c也可由磁铁构成而被吸附于基板支承框30来使开闭式屏蔽板21c关闭。还可以是开闭式屏蔽板21c及基板支承框30双方均由磁铁构成。并且，也可以通过其他结构使开闭式屏蔽板21c关闭来限制开闭式屏蔽板21c的移动。
[0113]开闭式屏蔽板21c被挤压棒21g挤压而呈打开状态。在基板支承框30上设置有在板厚方向贯穿的开口部34。挤压棒21g例如被设置于外部开闭驱动装置200上。挤压棒21g穿过基板支承框30的开口部34按压开闭式屏蔽板21c来使开闭式屏蔽板21c呈开状态。
[0114]如图12所示，在基板支承框30上设置有能够在一对屏蔽板45、46之间移动的旋转辊35。旋转辊35设置为能够绕向Y方向延伸的旋转轴旋转。旋转辊35被设置于基板支承框30的与外框40对置的端面，并被配置于一对屏蔽板45、46之间。若伴随基板支承框30的上下运动而与屏蔽板45、46接触，则旋转辊35旋转。旋转辊35可设置于基板支承框30的整个端面(4边)，也可设置于一部分端面。基板支承框30可为不具备旋转辊35的结构。若基板支承框30不具`有旋转辊35，则基板支承框30能够相对于外框40平滑地进行向上下方向变位时的动作。由此，能够吸收外框40的振动，缓和作用于基板101的应力。
[0115](外框)
[0116]如图7所示，外框40为在基板支承框30的外周侧以包围基板支承框30的方式形成的矩形的框体。外框40具有上部件41、下部件42及一对侧部件43。上部件41、下部件42及一对侧部件43被配置成，形成为棒状，板厚方向成为X方向。外框40的板厚设置成比基板支承框30的板厚略厚。
[0117]上部件41沿基板支承框30的上端部保持部31配置。在上部件41的顶面(上端面)24上形成有用于限制传送托盘20的传送方向(Y方向)的导向槽25。导向槽25构成为能够使后述的从动辊12、13 (导向辊)进入其中。导向槽25在Y方向上遍及顶面24的整个长度而形成。导向槽25以向下方凹陷的方式形成。导向槽25例如可通过对顶面24进行切削来形成，也可通过组装多个部件来形成。 [0118]下部件42沿基板支承框30的下端部保持部32配置。下部件42在上下方向(Z方向)上与上部件41对置配置。在下部件42的底面设置有向传送方向延伸且能够与传送辊11的周面抵接的轨道部26。轨道部26遍及传送托盘20的传送方向L的整个长度直线性形成。由于在传送托盘20上设置有轨道部26，因此能够使传送托盘20的传送稳定。作为轨道部26的材质，例如能够使用不锈钢。
[0119]侧部件43沿基板支承框30的侧端部保持部33配置。一对侧部件43将上部件41及下部件42的Y方向的端部彼此连结，形成矩形的框体。上部件41、下部件42及侧部件43可一体成形，也可通过连接分体部件而形成。
[0120](屏蔽板)
[0121]图9表示下部件42及下端部保持部32的与Y方向交叉的截面，但是上部件41及上端部保持部31以及侧部件43及侧端部保持部33也为相同的结构。在传送托盘20上设置有将基板支承框30与外框40之间的间隙G从X方向的两侧覆盖的一对屏蔽板45、46。在图7及图8中省略图示屏蔽板45。
[0122]屏蔽板45形成为将外框40的成膜面侧的表面整面覆盖。屏蔽板45分别固定于上部件41、下部件42及侧部件43。屏蔽板45例如通过螺栓47固定，以便能够更换。
[0123]间隙G被屏蔽板45从成膜面侧覆盖。屏蔽板45形成至覆盖基板支承框30的外侦仪外框侧)的端部(成膜面侧)的位置。如图9所示，屏蔽板45覆盖下部件42及间隙G，并且覆盖下端部保持部32的下端部的一部分。
[0124]屏蔽板46形成为覆盖外框40的非成膜面侧的表面的一部分(基板支承框30侧)。屏蔽板46分别固定于上部件41、下部件42及侧部件43。屏蔽板46例如通过螺栓固定，以便能够更换。
[0125]间隙G被屏蔽板46从非成膜面侧覆盖。屏蔽板46形成至覆盖基板支承框30的外侧(外框侧)的端部(非成膜面侧)的位置。如图9所示，屏蔽板46覆盖下部件42 —部分及间隙G，并且覆盖下端部保持部32的下端部的一部分。
[0126]—对屏蔽板45、46固定于外框40,以向基板支承框30侧伸出的方式形成。基板支承框30被一对屏蔽板45、46限制板厚方向X的动作。同样地，配置于间隙G的弹性支承体22被一对屏蔽板45、46限制板厚方向X的动作。
[0127](基板定位夹具)[0128]传送托盘20具备进行基板101的定位的多个基板定位夹具50。基板定位夹具50分别设置于上端部保持部31、下端部保持部32及一对侧端部保持部33。托盘主体21的4边上均设置有基板定位夹具50。
[0129]如图13所示，基板定位夹具50具有能够与基板101的端面(下端面IOlb)抵接的基板支承部件51。基板支承部件51构成为能够维持与基板101的端面平行的状态且向托盘主体21的中央侧(在图13中向上方)移动。基板定位夹具50具备使多个基板支承部件51联动的连杆机构52。
[0130]连杆机构52具备:夹具开闭轴53(参考图10)，沿托盘主体21的板厚方向X延伸；连杆部件54，基端部连结于夹具开闭轴53 ;连结杆55，与连杆部件54联动，并且连结多个基板支承部件51。连杆机构52具有多个开闭轴53。
[0131]如图10所示，夹具开闭轴53贯穿基板支承框30。夹具开闭轴53通过轴承56被支承为能够绕轴旋转。夹具开闭轴53的正面侧(非成膜面、在图10的左侧)的端部53a向传送托盘20的正面侧突出。在夹具开闭轴53的正面侧的端部53a连结外部开闭驱动装置200而传递旋转驱动力。
[0132]夹具开闭轴53的背面侧的端部53b向传送托盘20的背面侧突出。本实施方式中，对于I个连杆机构52设置有3条夹具开闭轴53。在多个夹具开闭轴53的背面侧的端部53b上分别连结有连杆部件54。连杆部件54以向夹具开闭轴53的径向伸出的方式延伸。连杆部件54伴随夹具开闭轴53的旋转而旋转。
[0133]连杆部件54的前端部通过沿X方向延伸的销57连结于连结杆55。连结杆55通过多个连杆部件54而被支承。多个连杆部件54以相互平行的方式配置。连接杆55与多个连杆部件54联动，且根据连杆部件54的前端部的位置维持与基板101的端面的平行的同时移动。
[0134](回转制动器)`[0135]基板定位夹具50根据设置的位置(上端部保持部31、下端部保持部32或侧端部保持部33)，可为不同的结构。如图13所示，基板定位夹具50具备限制连接杆55的停止位置的回转制动器58。基板定位夹具50的回转制动器58设置于下端部保持部32，例如在连杆部件54成为上止点的位置限制连接杆55的位置，限制连杆部件54、回转制动器58及基板支承部件51的停止位置。连接杆55与回转制动器58抵接而使其动作停止。
[0136]基板定位夹具50的回转制动器58设置于上端部保持部31 (图示上侧)或侧端部保持部33 (图示左侧及右侧)，例如在连杆部件54通过上止点之后，限制连接杆55的位置，从而限制连杆部件54、回转制动器58及基板支承部件51的停止位置。具体而言，在连杆部件54成为相比上止点的位置更靠近前处使基板支承部件51与基板101抵接，由此在连杆部件54相比上止点的位置更靠近前处停止。当固定基板101时，上侧、左侧及右侧的连杆部件54未与回转制动器58接触。由此，在弹力起作用的状态下，由于保持基板101的上端面、左侧端面及右侧端面，因此能够抑制基板101的损伤并对基板进行定位。另外，之所以仅使下侧的连杆部件54与回转制动器58接触而在上止点停止，是因为基板101的重量作用于下侧的连杆部件54。
[0137](施力机构)
[0138]如图8所示，基板定位夹具50具备对连接杆55进行施力的施力机构61。施力机构61具有将连结杆55和基板支承框30连结的拉伸线圈弹簧62。在连接杆55设置有向外框40侧伸出的伸出部55a。拉伸线圈弹簧62的一端侧与突出部55a连结,拉伸线圈弹簧62的另一端侧与基板支承框30 (上端部保持部31、下端部保持部32及一对侧端部保持部33)连结。连接杆55被拉伸线圈弹簧62的拉伸力施力而使基板支承部件51向基板101侧移动。连结杆55被拉伸线圈弹簧62施力而与回转制动器58抵接而停止。
[0139](外部开闭驱动装置)
[0140]图14是表示外部开闭驱动装置200的后视图。图14中，将传送托盘20以双点划线图示，并将外部开闭驱动装置200从与传送托盘20相对的一侧表示。外部开闭驱动装置200被设置于基板装卸装置160，驱动传递托盘20的基板定位夹具50。
[0141]外部开闭驱动装置200具备:气缸201，其成为驱动源；支架开闭同步带轮202，通过气缸201而被旋转驱动；同步带203，与支架开闭齿轮202的旋转联动；支架开闭同步带轮204，伴随同步带203的移动而旋转；及惰轮205 (从动轮)，与支架开闭齿轮202、204相邻设置。外部开闭驱动装置200具备例如矩形的框体210，且气缸201、支架开闭齿轮202、204及惰轮205被支承于框体210上。
[0142]支架开闭齿轮202通过气缸201而被驱动，绕向X方向延伸的旋转轴旋转。支架开闭齿轮202的旋转轴构成为能够与基板定位夹具50的夹具开闭轴53连结。在支架开闭齿轮202的传送托盘20侧的端部设置有夹具开闭轴53的端部53a (参考图10)所插入的凹部(驱动孔)。
[0143]同步带203 (环状传送带)被架设于支架开闭齿轮202、204、惰轮205上。支架开闭齿轮202的旋转驱动力 通过同步带203传递，使支架开闭齿轮204及惰轮205绕向X方向延伸的旋转轴旋转。支架开闭齿轮204的旋转轴构成为能够与基板定位支架50的夹具开闭轴53连结。在支架开闭齿轮202的传送托盘20侧的端部设置有夹具开闭轴53的端部53a所插入的凹部。
[0144]惰轮205配置于支架开闭齿轮202、204的附近，将同步带203向夹具开闭轴53按压。由此，能够使同步带203可靠地啮合于支架开闭齿轮202、204。
[0145]外部开闭驱动装置200通过将框体210向X方向驱动来相对于传送托盘20靠近、分开。作为驱动框体210的机构，例如可以举出具有滚珠丝杠的机构。也可以是具备缸体、驱动马达及导向部件等的其他驱动机构。外部开闭驱动装置200使框体210靠近传送托盘20而将支架开闭齿轮202、204和基板定位夹具50的夹具开闭轴53连结。由此，由外部开闭驱动装置200产生的驱动力传递至夹具开闭轴53，能够对基板定位夹具50进行开闭。
[0146]外部开闭驱动装置200使框体210从传送托盘20分开，从而能够解除支架开闭齿轮202、204与夹具开闭轴53的连接。
[0147](动作及作用)
[0148]接着，对本实施方式的成膜装置100的作用进行说明。首先，基板101以水平状态被传送并被搬入到成膜装置100中。基板101通过基板搬入输送装置195被传送，从环绕轨道(传送路径L)的外侧传送至内侧。
[0149]成膜装置100中，在传送托盘20的环绕轨道的内侧，于水平状态的传送托盘20上载置基板101。基板101被保持于传送托盘20。成膜装置100使传送托盘20及基板101旋转而将传送托盘20及基板101的姿势从水平状态改变为直立状态。在该成膜装置100中，能够在传送托盘20的环绕轨道的内侧容纳基板101，因此能够利用环绕轨道的内侧的空间。由此，能够实现成膜装置整体的节省空间化。
[0150]成膜装置100的基板装卸装置160能够将保持传送托盘20的托盘偏转架161的姿势从直立状态(第I姿势)切换为水平状态(第2姿势)。基板装卸装置160在托盘偏转架161是第2姿势时，将以水平状态传送过来的基板101载置于传送托盘20上。基板装卸装置160通过将托盘偏转架161倾斜而从第2姿势变更为第I姿势，从而能够使传送托盘20及保持于该传送托盘20的基板101直立。
[0151]水平状态的基板101被载置于水平状态的传送托盘20之后，外部开闭驱动装置200驱动基板定位夹具50。基板定位夹具50维持与托盘主体21的边(上端部保持部31、下端部保持部32及侧端部保持部33)平行的状态，并使基板支承部件51接近基板101。由此，基板支承部件51维持与基板101的端面平行的状态的同时，与基板101的端面抵接。因此，可避免基板101的端面与基板支承部件51点接触，能够在保持基板101时分散作用于基板101的应力。
[0152]并且，传送托盘20中，由于基板支承部件51被安装于托盘主体21的各边上，因此能够从Z方向及Y方向这两侧进行保持，在保持基板101时能够使作用于基板101的应力分散。并且，通过使基板支承部件51从多个方向向托盘主体21的中央移动而与基板101的端面抵接，从而能够调整基板101的位置来保持基板101。因此，即使在基板未准确地配置于托盘主体21的状态下，也能够对基板定位并进行保持。
[0153]传送托盘20具备连杆机构52，能够使多个基板支承部件51联动而将基板101定位并进行保持，因此能够使多个基板支承部51同时与基板101的各端面抵接。由此，能够使作用于基板101的应力分散。
[0154]连杆机构52具有与基板101的下端面抵接的基板支承部件51，所述连杆机构能够在上止点处固定连杆部件54的位置，并能够在该位置保持基板101，因此能够防止过度的应力作用于基板101。连杆机构52具有与基板101的上端面或侧端面抵接的基板支承部件51，所述连杆机构能够使基板支承部件51和基板101抵接，以便使连杆部件54在上止点的近前位置停止，因此在弹力起作用的状态下，能够保持基板101的上端面及侧端面。因此，能够抑制基板101的损伤的同时将基板101定位。并且，始终与基板101的端面平行抵接的基板支承部件51分别设置于与4边对应的连杆机构52上，因此能够实现作用于基板101的应力的分散化。
[0155]传送托盘20由于基板支承框30通过弹性支承体22支承于外框40，因此能够缓减作用于基板101的振动。另外，配置于基板支承框30的底面侧的边上的弹性支承体22的刚性也可比配置于其他边上的弹性支承体22的刚性高。由此，比起传送方向L的振动，更能够抑制上下方向Z的振动。
[0156]以上，根据其实施方式对本发明进行了具体说明，但本发明不限于上述实施方式。本发明的成膜装置中，不限于离子镀法，还可适用其他成膜法(例如溅射法等)。
[0157]本发明的成膜装置及成膜装置用基板传送托盘不限于将基板直立地传送，也可将基板倾斜地传送。例如可为通过使上述成膜装置及传送托盘倾斜来传送倾斜的基板的结构。例如也可以使传送`辊的周面以与旋转轴线交叉的方式形成。也可为使用倾斜地支承基板的传送托盘来传送基板的成膜装置。基板倾斜时的倾斜角度能够设为相对于铅垂方向呈O。~15°左右。
[0158] 上述实施方式中，将成膜腔室123的一部分壁体设为开闭自如的结构，但其他腔室也可与成膜腔室123相同地设为一部分壁体开闭自如的结构。
【权利要求】
1.一种成膜装置用基板传送托盘，其在成膜装置中传送基板时能够保持所述基板，其中，将与被保持的所述基板的板厚方向正交且相互交叉的2个方向设为第I方向及第2方向， 所述成膜装置用基板传送托盘具备: 托盘主体，在所述第I方向上对置的一对边平行，并且在所述第2方向上对置的一对边平行；及 基板支承部件，能够维持与所述边平行的状态并能够向所述托盘主体的中央侧移动，且能够与所述基板的端面抵接， 所述基板支承部件被安装于每个所述边。
2.根据权利要求1所述的成膜装置用基板传送托盘，其中， 所述成膜装置用基板传送托盘具备连杆机构，其被连结于多个所述基板支承部件，使该基板支承部件相对于所述托盘主体的所述边平行地移动。
3.根据权利要求2所述的成膜装置用基板传送托盘，其中， 所述连杆机构具备连 杆部件，该连杆部件能够绕沿所述板厚方向延伸的轴摆动，且在前端部连结有所述基板支承部件， 在连结有与所述基板的下端面抵接的所述基板支承部件的所述连杆部件中，能够使所述连杆部件在该连杆部件的前端部配置于最靠所述托盘主体的中央侧的上止点停止， 在连结有与所述基板的上端面抵接的所述基板支承部件的所述连杆部件中，使所述基板支承部件与所述基板的所述上端面抵接，以便使该连杆部件在比所述上止点更靠近前的位置停止， 在连结有与所述基板的侧端面抵接的所述基板支承部件的所述连杆部件中，使所述基板支承部件与所述基板的所述侧端面抵接，以便使该连杆部件在比所述上止点更靠近前的位置停止。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的成膜装置用基板传送托盘，其中， 所述托盘主体具备: 基板支承框，具有所述边； 外框，配置于所述基板支承框的外侧；及 弹性体，配置于所述基板支承框与所述外框之间，且将所述基板支承框支承于所述外框。
5.根据权利要求4所述的成膜装置用基板传送托盘， 该成膜装置用基板传送托盘具备多个所述弹性体， 配置于所述基板支承框的底面侧的所述边上的所述弹性体的刚性比配置于其他的所述边上的所述弹性体的刚性高。
6.根据权利要求1所述的成膜装置用基板传送托盘， 该成膜装置用基板传送托盘具备把持所述基板的周缘的把持部， 所述把持部具有: 第I支承部，能够与所述基板的在所述板厚方向上对置的其中一个面抵接；及 第2支承部，能够与所述基板的在所述板厚方向上对置的另一个面抵接， 所述第2支承部能够摆动地支承于所述托盘主体上。
7.根据权利要求6所述的成膜装置用基板传送托盘，其中， 在所述第I支承部及所述第2支承部的至少一个上设置有磁铁， 所述第2支承部通过由所述磁铁产生的磁力靠近所述第I支承部，从而所述把持部把持所述基板的周缘。
8.根据权利要求4所述的成膜装置用基板传送托盘，其中， 该成膜装置用基板传送托盘上设置有一对屏蔽板，该一对屏蔽板从所述板厚方向的两侧将形成于所述基板支承框与所述外框之间的间隙覆盖。
9.根据权利要求8所述的成膜装置用基板传送托盘，其中， 在所述基板支承框上设置有能够在所述一对屏蔽板之间移动的旋转辊。
10.一种外部开闭驱动装置，其能够与权利要求1~9中任一项所述的成膜装置用基板传送托盘结合，且能够驱动所述成膜装置用基板传送托盘的基板支承部件来对未保持所述基板的打开状态及保持所述基板`的关闭状态进行切换。
【文档编号】C23C14/00GK103726010SQ201310268416
【公开日】2014年4月16日 申请日期:2013年6月28日 优先权日:2012年10月10日
【发明者】饭尾逸史 申请人:住友重机械工业株式会社