真空动力沉积装置制造方法
【专利摘要】提供了一种真空动力沉积装置，其包括：驱动单元；线性运动单元，联接至所述驱动单元并且被配置为根据所述驱动单元的操作而线性运动；以及角度限制单元，联接至所述线性运动单元并且被配置为根据所述线性运动单元的运动而在与所述线性运动单元的运动方向垂直的方向上运动。
【专利说明】真空动力沉积装置
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2013年3月14日向韩国专利局提交的第10-2013-0027488号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的全部内容通过引用并入本文。
【技术领域】
[0003]本发明的实施方式涉及真空动力沉积装置。
【背景技术】
[0004]运动电子设备被广泛使用，运动电子设备的一些实施例包括平板设备和诸如运动电话的小型电子设备。这种运动电子设备包括用于向用户提供视觉信息(诸如，静止或运动的图像)以支持各种功能的显示单元。最近，随着用于操作显示单元的部件的尺寸越来越小，电子设备的显示单元在电子设备中占据的相对部分逐渐增加。而且，还开发了一种用于使显示单元弯曲以在平坦状态中具有一定角度的结构。
[0005]这种显示单元可具有有机发光设备，因此当有机发光层使用外部施加的电流发出光时各种图像/文字可被显示。有机发光设备可以各种方法形成。例如，有机发光设备可通过例如有机物质沉积方法、激光热传递方法、丝网印刷方法等形成。有机物质沉积方法被频繁使用，因为有机发光设备可由相对简单的工序以相对便宜的成本形成。
【发明内容】
[0006]本发明的实施方式提供了一种用于控制沉积材料的喷射角度的真空动力沉积装置。
[0007]根据本发明的一个方面，提供了一种真空动力沉积装置，其包括:驱动单元；线性运动单元，联接至所述驱动单元并且被配置为根据所述驱动单元的操作而线性运动；以及角度限制单元，联接至所述线性运动单元并且被配置为根据所述线性运动单元的运动而在与所述线性运动单元的运动方向垂直的方向运动。
[0008]所述驱动单元包括:驱动力生成单元，被配置为生成驱动力；以及旋转单元，联接至所述驱动力生成单元并且被配置为旋转。
[0009]所述旋转单元可包括正齿轮。
[0010]所述线性运动单元可包括运动块，所述运动块联接至所述旋转单元并且被配置为在所述旋转单元旋转时线性运动。
[0011]所述线性运动单元可包括引导单元，所述引导单元被配置为在所述角度限制单元运动时引导所述角度限制单元的一部分。
[0012]所述引导单元可包括:第一引导部；第二引导部，联接在所述第一引导部的第一端并且从所述第一引导部对角延伸；以及第三引导部，联接至所述第二引导部的第二端。
[0013]所述第一引导部和所述第三引导部可垂直偏移。
[0014]所述引导单元可限定出椭圆形的孔。
[0015]所述角度限制单元可包括:角度限制板，位于所述源单元之间并且被配置为向上和向下线性运动；以及滑动单元，联接至所述角度限制板和所述线性运动单元，并且被配置为在所述线性运动单元运动时沿与所述线性运动单元的运动方向垂直的方向滑动。
[0016]所述角度限制单元还可包括连接器，所述连接器用于联接所述角度限制板和所述滑动单元。
[0017]所述角度限制单元还可包括阻塞单元，所述阻塞单元位于所述角度限制板与所述滑动单元之间并且被配置为封闭侧护板处的槽。
[0018]所述真空动力沉积装置还可包括固定单元，所述固定单元被配置为使所述角度限制单元能够滑动。
[0019]所述真空动力沉积装置还可包括线性引导单元，所述线性引导单元位于所述固定单元与所述滑动单元之间并且被配置为引导所述滑动单元。
[0020]所述真空动力沉积装置还可包括辅助引导单元，所述辅助引导单元面向所述线性运动单元并且被配置为引导所述线性运动单元。
[0021]所述辅助引导单元可包括:固定支架；以及引导部，位于所述固定支架的外表面并且被配置为引导所述线性运动单元。
[0022]所述真空动力沉积装置还可包括位于所述固定支架的外表面处的加固肋。
[0023]所述线性运动单元可包括插入到所述引导部中的突起单元。
[0024]所述真空动力沉积装置还可包括指示单元，所述指示单元被配置为指示所述角度限制单元的位置。
[0025]所述指示单元可包括:运动单元，位于所述角度限制单元处并且被配置为与所述角度限制单元一起运动；以及位置显示单元，被固定在外侧并且被配置为指示所述运动单元的位置。
[0026]所述真空动力沉积装置还可包括盖单元，所述盖单元用于覆盖所述驱动单元和所述线性运动单元的一部分。
【专利附图】
【附图说明】
[0027]通过参考附图详细描述本发明的示例性实施方式，本发明的实施方式的上面和其它方面将变得更加显而易见，在附图中:
[0028]图1是示出了根据本发明的示例性实施方式的真空动力沉积装置的立体视图；
[0029]图2是示出了图1的区域A的局部放大立体视图；以及
[0030] 图3是示出了图1的区域B的局部放大立体视图。
【具体实施方式】
[0031]现在参考附图更完整地描述本发明的实施方式，在附图中示出了本发明的示例性实施方式。然而，本发明可以许多不同的形式实施并且不应该被解释为限于本文中陈述的实施方式，而提供这些实施方式使得本公开全面和完整，并且向本领域技术人员传递本发明的概念。在本说明书中，单数形式还包括复数形式。诸如“包括”、“具有”或“由…构成”的词语可用于指示多个部件，除非这些词语与词语“仅” 一起使用。诸如“第一”和“第二”的词语可用于描述各种部件，但是这些词语仅用于区分一个部件与另一个，并且部件不受这些词语限制。
[0032]图1是示出了根据本发明的示例性实施方式的真空动力沉积装置100的立体视图。图2是示出了图1的区域A的局部放大立体视图。图3是示出了图1的区域B的局部放大立体视图。
[0033]参考图1至图3，真空动力沉积装置100可包括形成有空间的腔室。而且，真空动力沉积装置100可被安装在腔室内，并且可包括源单元以沉积材料(诸如，有机物质)。而且，真空动力沉积装置100可包括被安装以固定源单元的源单元固定框架。
[0034]而且，参考图2，真空动力沉积装置100可包括驱动单元110和线性运动单元120，线性运动单元120联接至驱动单元110并且被配置为根据驱动单元110的操作而线性运动。而且，真空动力沉积装置100可包括角度限制单元130，角度限制单元130联接至线性运动单元120并且被配置为根据线性运动单元120的运动而垂直运动。在这方面，真空动力沉积装置100还可包括固定单元140，固定单元140被安装为使得角度限制单元130可滑动。真空动力沉积装置100还可包括侧护板160。
[0035]而且，驱动单元110可包括驱动力生成单元111，驱动力生成单元111生成或提供驱动力。具体地，驱动力生成单元111可包括电机，但驱动力生成单元111不限于此，而是可包括生成驱动力的其它设备。
[0036]驱动单元110可包括旋转单元112，旋转单元112联接至驱动力生成单元111并且可旋转。在这方面，旋转单元112可以是正齿轮，但旋转单元112不限于此，而是可包括根据驱动力生成单元111的操作而传递驱动力的其它设备。
[0037]而且，线性运动单元120可包括源护板121，源护板121根据驱动单元110的运动而线性运动。而且，线性运动单元120可联接至旋转单元112并且可包括运动块122，运动块122根据旋转单元112的运动而线性运动。在这方面，当旋转单元112是正齿轮时，运动块122可以是与正齿轮啮合且在正齿轮旋转时运动的齿条。然而，运动块122不限于此，可包括在旋转单元112旋转运动时线性运动的其它设备和结构。
[0038]线性运动单元120可包括引导单元123，当角度限制单元130运动时引导单元123引导角度限制单元130的一部分。在这方面，引导单元123可包括引导体123d。具体地，弓丨导体123d可以是板状，并且引导体123d的一部分可以是弯曲的。
[0039]而且，引导单元123可包括在引导体123d处形成或限定的第一、第二和第二引导部123a、123b和123c。第一引导部123a可联接至第二引导部123b，并且第一和第二引导部123a和123b可形成一定角度。同样地，第三引导部123c可联接至第二引导部123b。
[0040]第一、第二和第三引导部123a、123b和123c可采用各种形式。例如，第一、第二和第三引导部123a、123b和123c可以是槽或孔。而且，第一、第二和第三引导部123a、123b和123c可被形成为与孔或槽对应的突起。然而，在本实施方式中，第一、第二和第三引导部123a、123b和123c是孔状/槽状。
[0041]槽可以是椭圆形。在这方面，第一引导部123a和第三引导部123c可形成于具有不同高度的位置处，第二引导部123b可在对角方向延伸以联接第一引导部123a和第三引导部123c。
[0042]此外，线性运动单元120可包括安装在引导单元123处或引导单元123中的突起单元124。在这方面，突起单元124从引导体123d突起，并且可在引导体123d运动时维持引导体123d的路径。具体地，突起单元124可包括多个突起，即第一突起124a和第二突起124b。第一突起124a和第二突起124b可被形成为轴承形状，并且可在引导体123d运动时通过与辅助引导单元170 (见图1和图3)的接触而减小或最小化摩擦力。
[0043]而且，角度限制单元130可被安装在对应的源单元之间，并且可包括在垂直方向线性运动的角度限制板132。而且，角度限制单元130可与角度限制板132和线性运动单元120联接，并且可包括垂直于线性运动单元120的运动方向滑动的滑动单元131。在这方面，滑动单元131可通过连接器联接至角度限制板132。
[0044]而且，滑动单元131可联接至滑动单元123并且可垂直于引导单元123的运动方向滑动，如上所述。特别地，滑动单元131可包括插入突起131a，插入突起131a可插入作为第一、第二和第三引导部123a、123b和123c的槽中。在本实施方式中，插入突起131a可被形成为轴承形状。
[0045]滑动单元131可相对于固定单元140滑动。在本发明的其它实施方式中，可提供多个固定单元，并且多个固定单元可以规则的间隔被布置和固定。
[0046]而且，线性引导单元150 (见图2)可被安装在滑动单元131与固定单元140之间以引导滑动单元131的运动。在本实施方式中，线性引导单元150可包括一般的线性运动(LM)引导部。在其它实施方式中，可提供多个线性引导单元150，并且多个线性引导单元150可分别安装在固定单元140处以将每个固定单元140联接至滑动单元131。
[0047]上述的侧护板16 0可被安装在固定单元140内。在这方面，侧护板160可形成有槽，并且连接器可被插入槽中。具体地，角度限制单元130可包括阻塞单元133，阻塞单元133被安装在角度限制板132与侧护板160之间以封闭形成于侧护板160中的槽。在这方面，阻塞单元133可在与连接器的纵向方向垂直的方向上延伸。
[0048]而且，真空动力沉积装置100可被安装为面向线性运动单元120，并且可包括引导线性运动单元120的运动的辅助引导单元170。具体地，辅助引导单元170可被布置在引导单元123外侧以引导引导单元123的运动。
[0049]在这方面，辅助引导单元170可包括固定在外部的固定支架171。而且，辅助引导单元170可形成于固定支架171处，并且可包括引导引导单元123的运动的引导部172。
[0050]具体地，引导部172可形成于固定支架171的外表面使得引导单元123的一部分可被插入。特别地，引导部172可以是槽或孔，使得线性运动单元120的一部分可被插入引导部172中。而且，引导部172可以是突起，使得线性运动单元120的一部分可被插入引导部172中。具体地，当引导部172是突起时，引导部172可被形成为一对突起使得线性运动单元120的一部分可被插入引导部172的一对突起之间的空间内。在这方面，引导部172不限于此，可包括引导线性运动单元120运动的各种结构和设备。然而，本实施方式的引导部172被形成为一对突起。
[0051]在这方面，第一突起124a和第二突起124b (见图2)可被插入引导部172中，并且可线性运动。而且，第一突起124a和第二突起124b可在沿引导部172运动的同时维持引导单元123的线性运动路径。
[0052]辅助引导单元170可包括加固肋173，加固肋173形成于固定支架171的外表面。在这方面，可形成多个加固肋173，多个加固肋173可以规则的间隔形成于固定支架171的外表面上。
[0053]而且，当角度限制单元130在垂直方向线性运动时，真空动力沉积装置100可包括指示单元180,指示单元180指示角度限制单元130的位置(例如,垂直位置、或高度)。指示单元180可被安装在角度限制单元130处并且可包括运动单元181，当角度限制单元130在垂直方向线性运动时运动单元181与角度限制单元130 —起运动。而且，指示单元180可包括位置显示单元182，位置显示单元182被固定在外部并且显示运动单元181的位置。
[0054]运动单元181可被安装为固定在滑动单元131处。而且，用于显示运动单元181高度的刻度可形成于位置显示单元182处，因此运动单元181的高度可经由其接近于位置显示单元182的刻度而被确定。
[0055]真空动力沉积装置100可包括盖单元190，盖单元190被形成为覆盖驱动单元110和线性运动单元120的一部分。例如，盖单元190可覆盖源护板121、驱动力生成单元111和旋转单元112，并且可防止源护板121、驱动力生成单元111和旋转单元112被沉积材料污染/玷污。
[0056]而且，当真空动力沉积装置100被操作时，来自源单元的沉积材料可被加热和沉积，因此可在衬底上执行沉积工序。在这方面，可提供多个源单元，并且角度限制板132可被安装在如上所述的多个源单元之间。
[0057]角度限制板132的预设高度可根据沉积工序的阶段/进度而被调节。特别地，驱动单元110可根据预设高度而被操作。在这方面，旋转单元112可通过驱动力生成单元111的操作而旋转。
[0058]通过使旋转单元112旋转，旋转单元112可控制与旋转单元112联接的运动块122在一个方向线性运动。同样地，当运动块122运动时，与运动块122联接的源护板121也可在与运动块122运动方向相同的方向运动。
[0059]详细地，如果旋转单元112沿逆时针方向旋转，则它可使运动块122向前运动，并且源护板121还可与运动块122 —起向前运动。同样地，当源护板121向前运动时，引导单元123也可与源护板121 —起向前运动。
[0060]而且，当引导单元123向前运动时，第一突起124a和第二突起124b可沿引导部172运动。也就是说，第一突起124a和第二突起124b的运动可受到引导部172的限制，因此可防止引导单元123偏离预期的路径。
[0061]同样地，当引导单元123运动时，插入突起131a可从第一引导部123a运动至第三引导部123c。详细地，插入突起131a可从第一引导部123a运动至第二引导部123b，然后可沿第三引导部123c运动。在本实施方式中，在运动至第三引导部123c的过程中，插入突起131a的高度增加。也就是说，插入突起131a的高度可随着插入突起131从第一引导部123a运动至第三引导部123c而逐渐增加。
[0062]同样地，当插入突起131a在由第一、第二和第三引导部123a、123b和123c限定的槽中运动时，滑动单元131还可向上线性运动。在这方面，线性引导单元150可引导滑动单元131的运动，并且可防止滑动单元131偏离预期的运动路径。
[0063]同样地，当滑动单元131运动时，连接器、阻塞单元133和角度限制板132也可与滑动单元131 —起运动。因此，角度限制板132可向上运动，并且从源单元喷射的沉积材料的沉积角度可因衬底接近源单元而减小。
[0064]同样地，当角度限制板132向上运动时，侧护板160中的槽可被打开。在这方面，当阻塞单元133与角度限制板132 —起向上运动时，阻塞单元133可封闭槽。具体地，阻塞单元133的高度可高于角度限制板132，因此，即使角度限制板132向上运动，槽可被完全封闭。
[0065]而且，当角度限制板132向下运动时，可执行上述操作的相反操作。详细地，如果驱动力生成单元111与上述操作相反地操作，旋转单元112可沿顺时针方向旋转。
[0066]运动块122可因旋转单元112的顺时针旋转而向后运动，运动块122可与源护板121 一起向后运动，并且源护板121可使引导单元123向后运动。
[0067]当引导单元123向后运动时，第一突起124a和第二突起124b可沿引导部172线性运动。而且，插入突起131a可从第三引导部123c运动至第一引导部123a。也就是说，插入突起131a可顺序地从第三引导部123c沿第二引导部123b向下运动，然后从第二引导部123b沿第一引导部123a向下运动。
[0068]如果插入突起131a如上所述向下运动，则滑动单元131将与插入突起131a —起向下运动。在这方面，线性引导单元150可在引导滑动单元131的运动的同时防止滑动单元131与固定单元140分离。当滑动单元131如上所述运动时，连接器、阻塞单元133和角度限制板132可与滑动单元131 —起向下运动。在这方面，阻塞单元133可通过如上所述完全封闭侧护板160的槽而防止沉积材料外流。
[0069]而且，当角度限制板132向上或向下运动时，角度限制板132的高度可由指示单元180测量，指示单元 180可被安装为由人们通过腔室的窗口从外部观察。
[0070]具体地，当滑动单元131如上所述向上或向下运动时，运动单元181可与滑动单元131 一起运动。在这方面，运动单元181可被布置在位置显示单元182的一侧，因此可观察与运动单元181的位置对应的位置显示单元182的测量值。例如，工作人员等可通过根据角度限制板132的预设位置检查运动单元181的位置，来确定角度限制板132的位置是否精确。
[0071]根据本发明的示例性实施方式，可通过自动改变源单元之间的角度限制板的高度，减少与用于不同工序的角度限制板的更换相关的时间和成本。根据本发明的本实施方式，不需要打开腔室来更换角度限制板，因此可连续保持腔室的真空状态。而且，根据本发明的示例性实施方式，可执行连续的沉积，因此可增强设施的工作效率。
[0072]尽管已经参考本发明的示例性实施方式具体地显示和描述了本发明，但是本领域技术人员将理解，可进行形式和细节的各种改变而不背离由权利要求及其等同限定的本发明的精神和范围。
【权利要求】
1.一种真空动力沉积装置，包括: 驱动单元； 线性运动单元，联接至所述驱动单元并且被配置为根据所述驱动单元的操作而线性运动；以及 角度限制单元，联接至所述线性运动单元并且被配置为根据所述线性运动单元的运动而在与所述线性运动单元的运动方向垂直的方向上运动。
2.如权利要求1所述的真空动力沉积装置，其中所述驱动单元包括: 驱动力生成单元，被配置为生成驱动力；以及 旋转单元，联接至所述驱动力生成单元并且被配置为旋转。
3.如权利要求2所述的真空动力沉积装置，其中所述旋转单元包括正齿轮。
4.如权利要求2所述的真空动力沉积装置，其中所述线性运动单元包括运动块，所述运动块联接至所述旋转单元并且被配置为在所述旋转单元旋转时线性运动。
5.如权利要求1所述的真空动力沉积装置，其中所述线性运动单元包括引导单元，所述引导单元被配置为在所述角度限制单元运动时引导所述角度限制单元的一部分。
6.如权利要求5所述的真空动力沉积装置，其中所述引导单元包括: 第一引导部； 第二引导部，在第一端与所述第一引导部联接，并且从所述第一引导部对角延伸；以及 第三引导部，联接至所述第二引导部的第二端。
7.如权利要求6所述的真空动力沉积装置，其中所述第一引导部和所述第三引导部垂直偏移。
8.如权利要求5所述的真空动力沉积装置，其中所述引导单元限定出椭圆形的孔。
9.如权利要求1所述的真空动力沉积装置，其中所述角度限制单元包括: 角度限制板，位于所述源单元之间并且被配置为向上和向下线性运动；以及 滑动单元，联接至所述角度限制板和所述线性运动单元，并且被配置为在所述线性运动单元运动时在与所述线性运动单元的运动方向垂直的方向上滑动。
10.如权利要求9所述的真空动力沉积装置，其中所述角度限制单元还包括连接器，所述连接器用于使所述角度限制板与所述滑动单元联接。
11.如权利要求9所述的真空动力沉积装置，其中所述角度限制单元还包括阻塞单元，所述阻塞单元位于所述角度限制板与所述滑动单元之间并且被配置为封闭侧护板处的槽。
12.如权利要求1所述的真空动力沉积装置，还包括固定单元，所述固定单元被配置为使所述角度限制单元能够滑动。
13.如权利要求12所述的真空动力沉积装置，还包括线性引导单元，所述线性引导单元位于所述固定单元与所述滑动单元之间并且被配置为引导所述滑动单元。
14.如权利要求1所述的真空动力沉积装置，还包括辅助引导单元，所述辅助引导单元面向所述线性运动单元并且被配置为引导所述线性运动单元。
15.如权利要求14所述的真空动力沉积装置，其中所述辅助引导单元包括: 固定支架；以及 引导部，位于所述固定支架的外表面并且被配置为引导所述线性运动单元。
16.如权利要求15所述的真空动力沉积装置，还包括位于所述固定支架外表面处的加固肋。
17.如权利要求15所述的真空动力沉积装置，其中所述线性运动单元包括插入到所述引导部中的突起单元。
18.如权利要求1所述的真空动力沉积装置,还包括指示单元,所述指示单元被配置为指示所述角度限制单元的位置。
19.如权利要求18所述的真空动力沉积装置，其中所述指示单元包括: 运动单元，位于所述角度限制单元处并且被配置为与所述角度限制单元一起运动；以及 位置显示单元，被固定在外侧并且被配置为指示所述运动单元的位置。
20.如权利要求1所述的真空动力沉积装置，还包括盖单元，所述盖单元用于覆盖所述驱动单元和所述线性 运动单元的一部分。
【文档编号】C23C24/04GK104046980SQ201310464725
【公开日】2014年9月17日 申请日期:2013年10月8日 优先权日:2013年3月14日
【发明者】李英昱, 韩政洹 申请人:三星显示有限公司