一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法
【专利摘要】本发明公开了一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法，该方法为：一、对液压缸缸筒内表面进行抛光处理，然后去除油污，再进行脱水处理；二、将经脱水处理后的液压缸缸筒作为阴极置于双层辉光离子渗金属炉中，将石墨源极置于液压缸缸筒内，在氩气气氛下，利用阳极和阴极在高压电场下产生辉光对液压缸缸筒内表面进行轰击活化；三、轰击活化结束后，向双层辉光离子渗金属炉中通入氩气和氧气的混合气体，利用阳极和石墨源极以及阳极和阴极在高压电场下产生双层辉光对液压缸缸筒内表面进行碳氧共渗，在液压缸缸筒内表面得到复合膜层。采用本发明的方法制备的复合膜层结合强度高、耐磨性能好，可有效的避免钛及钛合金咬合锁死的问题。
【专利说明】一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法
【技术领域】
[0001]本发明属于钛及钛合金表面硬化【技术领域】，具体涉及一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法。
【背景技术】
[0002]随着航空航天、舰船制造等领域对于强度高、耐磨性好的钛及钛合金液压缸的需求，钛及钛合金的传动件大量使用，通常钛及钛合金的比强度高，耐蚀性能优异，因此，对于航空航天零件的减重和使用寿命都有很好的提高。但钛及钛合金表面硬度低，耐摩性能差，对黏着磨损较敏感，在大扭矩重载荷等条件下使用会因局部摩擦磨损使得零件失效，随着黏着现象持续发生以及粘着区域增大时，会导致钛及钛合金零件完全咬死而造成构件失效。为此，科研人员研究了包括材料表面改性、多元素硬化复合膜层的方法阻止钛及钛合金零件间以及钛合金与其他金属零件间发生磨损黏着失效，达到钛及钛合金零件在大扭矩重载荷频繁往复使用条件下中长期服役的目的。
[0003]目前，针对钛及钛合金表面硬化提高耐磨性能防咬死的问题，出现了很多方法，比如采用超音速火焰喷涂WC膜层；采用微弧氧化处理生成钛的氧化物膜层、采用真空条件下渗碳处理制备TiC膜层等，但受钛合金液压缸使用环境和零件外型复杂的限制，难以取得满意的效果。比如超音速火焰喷涂处理难以对深孔内壁钛及钛合金零件表面喷涂膜层，微弧氧化膜层使用寿命短光洁度低，重载下易脱落失效；真空条件下渗碳会有氢元素影响钛及钛合金力学性能，都限制了钛合金液压缸的制造和使用，无法满足钛及钛合金液压缸更高的使用需求。
【发明内容】
[0004]本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法。该方法采用双层辉光等离子表面冶金技术在钛及钛合金液压缸内表面制备一层结合强度高，长寿命耐磨损的复合涂层，达到钛及钛合金液压缸防咬死目的，是一种更有效的方法，制备的复合膜层表面硬度达到100Hv以上，同时具有较好的化学稳定性，与钛及钛合金有良好的冶金相容性；可有效的避免钛及钛合金咬合锁死的问题，能延长钛及钛合金在大扭矩重载、往复摩擦等恶劣环境下的服役寿命，满足特殊、恶劣工况条件下液压缸长寿命可靠使用的要求。
[0005]为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是:一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法，其特征在于，该方法包括以下步骤:
[0006]步骤一、对液压缸缸筒内表面进行抛光处理，然后去除经抛光处理后的液压缸缸筒表面的油污，再对去除油污后的液压缸缸筒进行脱水处理；所述液压缸缸筒的材质为钛或钛合金；
[0007]步骤二、将步骤一中经脱水处理后的液压缸缸筒作为阴极置于双层辉光离子渗金属炉中，将石墨源极置于液压缸缸筒内，在氩气气氛下，利用阳极和阴极在高压电场下产生辉光对液压缸缸筒内表面进行轰击活化；所述阴极的加载电压为200V?400V ;所述双层辉光离子渗金属炉炉内的氩气气压为20Pa?40Pa，炉内的温度为200°C?400°C ;所述轰击活化的时间为15min?20min ；
[0008]步骤三、步骤二中所述轰击活化结束后，向双层辉光离子渗金属炉中通入氩气和氧气的混合气体，在双层辉光离子渗金属炉的炉压为20Pa?50Pa，炉温为900°C?1000°C的条件下，利用阳极和石墨源极以及阳极和阴极在高压电场下产生双层辉光对液压缸缸筒内表面进行碳氧共渗，在液压缸缸筒内表面得到复合膜层；所述石墨源极的加载电压为650V?850V，阴极的加载电压为300V?500V，碳氧共渗的时间为2h?5h。
[0009]上述的一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法，其特征在于，步骤二中所述石墨源极为空心石墨。
[0010]上述的一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法，其特征在于，步骤二中所述石墨源极的外壁形状与液压缸缸筒的内壁形状相同。
[0011]上述的一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法，其特征在于，所述石墨源极外壁与液压缸缸筒内壁之间的距离为5mm?20mm。
[0012]上述的一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法，其特征在于，步骤三中所述混合气体中氩气和氧气的体积比为1: (I?3)。
[0013]上述的一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法，其特征在于，步骤三中所述双层辉光离子渗金属炉采用脉冲离子源电源，所述脉冲离子源电源的占空比为40%?60%，频率为 45kHz ?60kHz。
[0014]上述的一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法，其特征在于，步骤三中所述石墨源极和阴极的电压差为200V?400V。
[0015]上述的一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法，其特征在于，步骤三中所述复合膜层的厚度为30 μ m?100 μ m。
[0016]上述的一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法，其特征在于，所述复合膜层主要由TiC、Ti30和T12组成。
[0017]上述的一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法，其特征在于，所述复合膜层中TiC的质量百分含量为45%?55%，Ti3O的质量百分含量为25%?35%，T12的质量百分含量为15%?25%。
[0018]本发明与现有技术相比具有以下优点:
[0019]1、本发明采用双层辉光等离子表面冶金技术在钛及钛合金液压缸内表面制备一层结合强度高，长寿命耐磨损的复合涂层，达到钛及钛合金液压缸防咬死目的，是一种更有效的方法。
[0020]2、本发明首先利用阳极(双层辉光离子渗金属炉炉体)和阴极(液压缸缸筒)在IS气气氛的高压电场下产生辉光效应，对液压缸缸筒内表面进行轰击活化，破坏液压缸缸筒内表面的钝化层，实现液压缸缸筒内表面的活化；然后利用阳极(双层辉光离子渗金属炉炉体)和石墨源极以及阳极(双层辉光离子渗金属炉炉体)和阴极(液压缸缸筒)在IS气和氧气混合气氛的高压电场下产生双层辉光对液压缸缸筒内表面进行碳氧共渗，在液压缸缸筒内表面形成由Tic、Ti3O和T12组成的复合膜层，制备的复合膜层表面硬度达到100Hv以上，同时具有较好的化学稳定性，与钛及钛合金有良好的冶金相容性。
[0021]3、本发明通过控制石墨源极外壁与阴极(液压缸缸筒)内壁之间的距离，以及石墨源极与阴极(液压缸缸筒)的电压差，可以得到不同厚度的耐磨膜层；在制备相同厚度的膜层时，增大电压差和减小极间距可以有效减少膜层制备时间，提高膜层制备效率。
[0022]4、本发明的石墨源极优选空心石墨，空心石墨在一定电压下可以广生等电位空心阴极效应和不等电位空心阴极效应，使氩气和氧气离解，离解的氩离子和氧离子不断轰击石墨源极，从而溅射出大量的活性碳离子、原子或原子团，在负偏压的作用下，加速到达试样表面，使液压缸筒加快升温到所需温度，依靠轰击与扩散获得耐磨膜层。
[0023]5、采用本发明的方法制备的复合膜层结合强度高、耐磨性能好，可有效的避免钛及钛合金咬合锁死的问题，能延长钛及钛合金在大扭矩重载、往复摩擦等恶劣环境下的服役寿命，满足特殊、恶劣工况条件下液压缸长寿命可靠使用的要求。
[0024]下面结合附图和实施例，对本发明技术方案做进一步的详细说明。
【专利附图】
【附图说明】
[0025]图1为本发明实施例1中未经硬化的液压缸缸筒内表面和硬化后的液压缸缸筒内表面的摩擦系数测试曲线。
[0026]图2为本发明实施例1制备的复合膜层的XRD图谱。
【具体实施方式】
[0027]实施例1
[0028]步骤一、对液压缸缸筒内表面进行抛光处理，然后将经抛光处理后的液压缸缸筒浸泡于40°C?60°C工业清洗剂溶液中进行超声波除油清洗去除液压缸缸筒表面的油污，再采用乙醇冲洗后热风干燥的方法对去除油污后的液压缸缸筒进行脱水处理；所述液压缸缸筒的材质为TC6钛合金；所述抛光处理的具体过程为:先采用80目尼龙轮配合Al2O3抛光蜡抛光15min，抛光机转速1000r/min ;然后采用240目布轮配合Al2O3抛光蜡抛光30min，抛光机转速1800r/min ;最后采用纺布轮配合钛抛光蜡抛光30min，设备转速2200r/min ；
[0029]步骤二、将步骤一中经脱水处理后的液压缸缸筒作为阴极置于双层辉光离子渗金属炉中，将石墨源极置于液压缸缸筒内，在氩气气氛下，利用阳极(双层辉光离子渗金属炉炉体)和阴极(液压缸缸筒)在高压电场下产生辉光对液压缸缸筒内表面进行轰击活化；所述阴极(液压缸缸筒)的加载电压为400V;所述双层辉光离子渗金属炉炉内的氩气气压为25Pa，炉内的温度为300°C;所述轰击活化的时间为20min ;所述石墨源极为空心石墨，石墨源极的外壁形状与液压缸缸筒的内壁形状相同，石墨源极外壁与液压缸缸筒内壁之间的距离为15_ ；
[0030]步骤三、步骤二中所述轰击活化结束后，向双层辉光离子渗金属炉中通入氩气和氧气的混合气体，混合气体中氩气和氧气的体积比为1:2，在双层辉光离子渗金属炉的炉压为45Pa，炉温为940°C的条件下，利用阳极(双层辉光离子渗金属炉炉体)和石墨源极以及阳极(双层辉光离子渗金属炉炉体)和阴极(液压缸缸筒)在高压电场下产生双层辉光对液压缸缸筒内表面进行碳氧共渗，在液压缸缸筒内表面得到厚度为80 μ m的复合膜层；所述石墨源极的加载电压为700V，阴极(液压缸缸筒)的加载电压为500V，碳氧共渗的时间为4h ;所述双层辉光离子渗金属炉采用脉冲离子源电源，所述脉冲离子源电源的占空比为55%，频率为 50kHz。
[0031]对未经硬化的液压缸缸筒内表面和本实施例硬化后的液压缸缸筒内表面进行摩擦系数测试，结果见图1。图中a为未经硬化的液压缸缸筒内表面的摩擦系数测试曲线，b为本实施例硬化后的液压缸缸筒内表面的摩擦系数测试曲线，从图中可以看出，在相同摩擦磨损条件下，经本实施例硬化后的液压缸缸筒内表面的摩擦系数远低于未经硬化的液压缸缸筒内表面，液压缸缸筒内表面的复合膜层能够长时间保持较低的摩擦系数可以有效的保证液压缸具有长寿命防咬死的性能。
[0032]对本实施例制备的复合膜层进行X射线衍射分析，结果见图2，从图中可以看出，本实施例制备的复合膜层主要由TiC、Ti30和T12组成，复合膜层中TiC的质量百分含量约为50%，Ti3O的质量百分含量约为30%，T12的质量百分含量约为20% (其他杂质含量不计)。
[0033]实施例2
[0034]步骤一、对液压缸缸筒内表面进行抛光处理，然后将经抛光处理后的液压缸缸筒浸泡于丙酮中进行超声波除油清洗去除液压缸缸筒表面的油污，再采用干燥箱干燥的方法对去除油污后的液压缸缸筒进行脱水处理；所述液压缸缸筒的材质为TAl纯钛；所述抛光处理的具体过程为:先采用80目尼龙轮配合Al2O3抛光蜡抛光lOmin，抛光机转速100r/min ;然后采用240目布轮配合Al2O3抛光腊抛光20min,抛光机转速1800r/min ;最后采用纺布轮配合钛抛光蜡抛光20min，设备转速2200r/min ；
[0035]步骤二、将步骤一中经脱水处理后的液压缸缸筒作为阴极置于双层辉光离子渗金属炉中，将石墨源极置于液压缸缸筒内，在氩气气氛下，利用阳极(双层辉光离子渗金属炉炉体)和阴极(液压缸缸筒)在高压电场下产生辉光对液压缸缸筒内表面进行轰击活化；所述阴极(液压缸缸筒)的加载电压为300V;所述双层辉光离子渗金属炉炉内的氩气气压为30Pa，炉内的温度为200°C;所述轰击活化的时间为15min ;所述石墨源极为空心石墨，石墨源极的外壁形状与液压缸缸筒的内壁形状相同，石墨源极外壁与液压缸缸筒内壁之间的距离为10_ ；
[0036]步骤三、步骤二中所述轰击活化结束后，向双层辉光离子渗金属炉中通入氩气和氧气的混合气体，混合气体中氩气和氧气的体积比为1:1，在双层辉光离子渗金属炉的炉压为20Pa，炉温为1000°C的条件下，利用阳极(双层辉光离子渗金属炉炉体)和石墨源极以及阳极(双层辉光离子渗金属炉炉体)和阴极(液压缸缸筒)在高压电场下产生双层辉光对液压缸缸筒内表面进行碳氧共渗，在液压缸缸筒内表面得到厚度为30 μ m的复合膜层；所述石墨源极的加载电压为650V，阴极(液压缸缸筒)的加载电压为300V，碳氧共渗的时间为2h ;所述双层辉光离子渗金属炉采用脉冲离子源电源，所述脉冲离子源电源的占空比为40%，频率为45kHz。
[0037]对未经硬化的液压缸缸筒内表面和本实施例硬化后的液压缸缸筒内表面进行摩擦系数测试，在相同摩擦磨损条件下，经本实施例硬化后的液压缸缸筒内表面的摩擦系数远低于未经硬化的液压缸缸筒内表面，液压缸缸筒内表面的复合膜层能够长时间保持较低的摩擦系数可以有效的保证液压缸具有长寿命防咬死的性能。
[0038]对本实施例制备的复合膜层进行X射线衍射分析，结果显示，本实施例制备的复合膜层主要由TiC、Ti30和T12组成，复合膜层中TiC的质量百分含量约为55% ,Ti3O的质量百分含量约为25%，T12的质量百分含量约为20% (其他杂质含量不计)。
[0039]实施例3
[0040]步骤一、对液压缸缸筒内表面进行抛光处理，然后将经抛光处理后的液压缸缸筒浸泡于40°C?60°C工业清洗剂溶液中进行超声波除油清洗去除液压缸缸筒表面的油污，再采用乙醇冲洗后热风干燥的方法对去除油污后的液压缸缸筒进行脱水处理；所述液压缸缸筒的材质为TC4钛合金；所述抛光处理的具体过程为:先采用80目尼龙轮配合Al2O3抛光蜡抛光20min，抛光机转速1000r/min ;然后采用240目布轮配合Al2O3抛光蜡抛光25min，抛光机转速1800r/min ;最后采用纺布轮配合钛抛光蜡抛光30min，设备转速2200r/min ；
[0041]步骤二、将步骤一中经脱水处理后的液压缸缸筒作为阴极置于双层辉光离子渗金属炉中，将石墨源极置于液压缸缸筒内，在氩气气氛下，利用阳极(双层辉光离子渗金属炉炉体)和阴极(液压缸缸筒)在高压电场下产生辉光对液压缸缸筒内表面进行轰击活化；所述阴极(液压缸缸筒)的加载电压为350V ;所述双层辉光离子渗金属炉炉内的氩气气压为20Pa，炉内的温度为350°C;所述轰击活化的时间为18min ;所述石墨源极为空心石墨，石墨源极的外壁形状与液压缸缸筒的内壁形状相同，石墨源极外壁与液压缸缸筒内壁之间的距离为20_ ；
[0042]步骤三、步骤二中所述轰击活化结束后，向双层辉光离子渗金属炉中通入氩气和氧气的混合气体，混合气体中氩气和氧气的体积比为1:3，在双层辉光离子渗金属炉的炉压为50Pa，炉温为900°C的条件下，利用阳极(双层辉光离子渗金属炉炉体)和石墨源极以及阳极(双层辉光离子渗金属炉炉体)和阴极(液压缸缸筒)在高压电场下产生双层辉光对液压缸缸筒内表面进行碳氧共渗，在液压缸缸筒内表面得到厚度为100 μ m的复合膜层；所述石墨源极的加载电压为850V，阴极(液压缸缸筒)的加载电压为400V，碳氧共渗的时间为5h ;所述双层辉光离子渗金属炉采用脉冲离子源电源，所述脉冲离子源电源的占空比为60%，频率为 60kHz。
[0043]对未经硬化的液压缸缸筒内表面和本实施例硬化后的液压缸缸筒内表面进行摩擦系数测试，在相同摩擦磨损条件下，经本实施例硬化后的液压缸缸筒内表面的摩擦系数远低于未经硬化的液压缸缸筒内表面，液压缸缸筒内表面的复合膜层能够长时间保持较低的摩擦系数可以有效的保证液压缸具有长寿命防咬死的性能。
[0044]对本实施例制备的复合膜层进行X射线衍射分析，结果显示，本实施例制备的复合膜层主要由TiC、Ti30和T12组成，复合膜层中TiC的质量百分含量约为45% ,Ti3O的质量百分含量约为30%，T12的质量百分含量约为25% (其他杂质含量不计)。
[0045]实施例4
[0046]步骤一、对液压缸缸筒内表面进行抛光处理，然后将经抛光处理后的液压缸缸筒浸泡于丙酮中进行超声波除油清洗去除液压缸缸筒表面的油污，再采用干燥箱干燥的方法对去除油污后的液压缸缸筒进行脱水处理；所述液压缸缸筒的材质为TC4钛合金；所述抛光处理的具体过程为:先采用80目尼龙轮配合Al2O3抛光蜡抛光20min，抛光机转速100r/min ;然后采用240目布轮配合Al2O3抛光腊抛光20min,抛光机转速1800r/min ;最后采用纺布轮配合钛抛光蜡抛光25min，设备转速2200r/min ；
[0047]步骤二、将步骤一中经脱水处理后的液压缸缸筒作为阴极置于双层辉光离子渗金属炉中，将石墨源极置于液压缸缸筒内，在氩气气氛下，利用阳极(双层辉光离子渗金属炉炉体)和阴极(液压缸缸筒)在高压电场下产生辉光对液压缸缸筒内表面进行轰击活化；所述阴极(液压缸缸筒)的加载电压为200V ;所述双层辉光离子渗金属炉炉内的氩气气压为40Pa，炉内的温度为400°C;所述轰击活化的时间为18min ;所述石墨源极为空心石墨，石墨源极的外壁形状与液压缸缸筒的内壁形状相同，石墨源极外壁与液压缸缸筒内壁之间的距离为5_ ；
[0048]步骤三、步骤二中所述轰击活化结束后，向双层辉光离子渗金属炉中通入氩气和氧气的混合气体，混合气体中氩气和氧气的体积比为1:2.5，在双层辉光离子渗金属炉的炉压为45Pa，炉温为980°C的条件下，利用阳极(双层辉光离子渗金属炉炉体)和石墨源极以及阳极(双层辉光离子渗金属炉炉体)和阴极(液压缸缸筒)在高压电场下产生双层辉光对液压缸缸筒内表面进行碳氧共渗，在液压缸缸筒内表面得到厚度为100 μ m的复合膜层；所述石墨源极的加载电压为800V，阴极(液压缸缸筒)的加载电压为400V，碳氧共渗的时间为5h ;所述双层辉光离子渗金属炉采用脉冲离子源电源，所述脉冲离子源电源的占空比为60%，频率为60kHz。
[0049]对未经硬化的液压缸缸筒内表面和本实施例硬化后的液压缸缸筒内表面进行摩擦系数测试，在相同摩擦磨损条件下，经本实施例硬化后的液压缸缸筒内表面的摩擦系数远低于未经硬化的液压缸缸筒内表面，液压缸缸筒内表面的复合膜层能够长时间保持较低的摩擦系数可以有效的保证液压缸具有长寿命防咬死的性能。
[0050]对本实施例制备的复合膜层进行X射线衍射分析，结果显示，本实施例制备的复合膜层主要由TiC、Ti30和T12组成，复合膜层中TiC的质量百分含量约为50% ,Ti3O的质量百分含量约为35%，T12的质量百分含量约为15% (其他杂质含量不计)。
[0051]以上所述，仅是本发明的较佳实施例，并非对本发明做任何限制，凡是根据发明技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变化，均仍属于本发明技术方案的保护范围内。
【权利要求】
1.一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法，其特征在于，该方法包括以下步骤: 步骤一、对液压缸缸筒内表面进行抛光处理，然后去除经抛光处理后的液压缸缸筒表面的油污，再对去除油污后的液压缸缸筒进行脱水处理；所述液压缸缸筒的材质为钛或钛合金； 步骤二、将步骤一中经脱水处理后的液压缸缸筒作为阴极置于双层辉光离子渗金属炉中，将石墨源极置于液压缸缸筒内，在氩气气氛下，利用阳极和阴极在高压电场下产生辉光对液压缸缸筒内表面进行轰击活化；所述阴极的加载电压为2007?4007 ；所述双层辉光离子渗金属炉炉内的氩气气压为20？3?40？3，炉内的温度为2001?4001 ；所述轰击活化的时间为 15111111 ?20111111 ； 步骤三、步骤二中所述轰击活化结束后，向双层辉光离子渗金属炉中通入氩气和氧气的混合气体，在双层辉光离子渗金属炉的炉压为20？3?50？3，炉温为9001?10001的条件下，利用阳极和石墨源极以及阳极和阴极在高压电场下产生双层辉光对液压缸缸筒内表面进行碳氧共渗，在液压缸缸筒内表面得到复合膜层；所述石墨源极的加载电压为650乂?8507,阴极的加载电压为3007?5007，碳氧共渗的时间为2卜?5匕。
2.根据权利要求1所述的一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法，其特征在于，步骤二中所述石墨源极为空心石墨。
3.根据权利要求1所述的一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法，其特征在于，步骤二中所述石墨源极的外壁形状与液压缸缸筒的内壁形状相同。
4.根据权利要求3所述的一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法，其特征在于，所述石墨源极外壁与液压缸缸筒内壁之间的距离为5皿?20皿。
5.根据权利要求1所述的一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法，其特征在于，步骤三中所述混合气体中氩气和氧气的体积比为1: (1?3)。
6.根据权利要求1所述的一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法，其特征在于，步骤三中所述双层辉光离子渗金属炉采用脉冲离子源电源，所述脉冲离子源电源的占空比为40 %?60 %，频率为45诎2?60诎2。
7.根据权利要求1所述的一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法，其特征在于，步骤三中所述石墨源极和阴极的电压差为2007?400乂。
8.根据权利要求1所述的一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法，其特征在于，步骤三中所述复合膜层的厚度为30 4 III?100 4 III。
9.根据权利要求8所述的一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法，其特征在于，所述复合膜层主要由打匕!！#和！'102组成。
10.根据权利要求9所述的一种钛及钛合金液压缸缸筒内表面的硬化方法，其特征在于，所述复合膜层中IX的质量百分含量为45%?55%，1130的质量百分含量为25%?35%，1102的质量百分含量为15%?25%。
【文档编号】C23C8/36GK104388891SQ201410736880
【公开日】2015年3月4日 申请日期:2014年12月5日 优先权日:2014年12月5日
【发明者】罗小峰, 王宝云, 高广睿, 李争显, 屈静 申请人:西安赛福斯材料防护有限责任公司