一种改进型化学镀铜装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种改进型化学镀铜装置，包括：一反应槽体，所述反应槽体包括相互独立设置的主槽和附槽，所述主槽与所述附槽之间通过一安装有过滤网的隔板分割开来，所述过滤网位于隔板上部，加工溶液经过滤网流进或流出主槽；所述主槽两侧滑动设置一超声波换能器，所述超声波换能器连接一超声波发生器，所述主槽的上方还设置一气泵，一气泵通过管路连接的酸液槽，以及一与所述管路连接的若干个高压喷头，所述高压喷头设置于主槽的上端，且高压喷头均朝向主槽底部。本实用新型利用超声波发生器并结合喷淋清洗装置，使得在利用很少酸性溶液的基础上，能迅速清洗反应槽，具有结构简单，使用方便的特点。
【专利说明】一种改进型化学镀铜装置
【技术领域】
[0001]本实用新型属于模塑互联器件化学镀领域，具体涉及的是一种改进型化学镀铜装置。
【背景技术】
[0002]三维模塑互连器件(3D-MID,Three - dimens1nal Molded Interconnect Device)是将三维立体电路集成于塑料载体表面，实现具有电气性能和机械性能的电子元器件。目前3D-MID器件的金属化及表面处理使用化学镀技术，包括化学镀铜，化学镀镍以及化学镀金。
[0003]化学镀铜溶液为碱性溶液，含有铜离子，络合剂以及还原剂等组分。狭义的化学镀是在金属或合金层的催化下，用控制的化学还原所进行金属的沉积；
[0004]故要定期对镀槽进行倒槽清洗，清洗槽的时间应视现场工作情况和槽壁沉积物严重情况而定，目前镀槽清洗采用3%稀硝酸浸泡后，用清水刷洗或冲洗干净即可。但是使用稀硝酸进行处理，需要耗费大量酸性溶液，而且这些酸性溶液处理之后的溶液处理也是一大难题。
实用新型内容
[0005]本实用新型要解决的技术问题是提供一种改进型化学镀铜装置，利用超声波发生器并结合喷淋清洗装置，使得在利用很少酸性溶液的基础上，能迅速清洗反应槽，具有结构简单，使用方便的特点，
[0006]为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下:
[0007]一种改进型化学镀铜装置，包括:
[0008]一反应槽体，所述反应槽体包括相互独立设置的主槽和附槽，所述主槽与所述附槽之间通过一安装有过滤网的隔板分割开来，所述过滤网位于隔板上部，加工溶液经过滤网流进或流出主槽；
[0009]所述主槽两侧滑动设置一超声波换能器，所述超声波换能器连接一超声波发生器，
[0010]所述主槽的上方还设置一气泵，一气泵通过管路连接的酸液槽，以及一与所述管路连接的若干个高压喷头，所述高压喷头设置于主槽的上端，且高压喷头均朝向主槽底部。[0011 ] 在本实用新型的一个优选实施例中，所述主槽口与所述附槽口处均设置一多孔状隔板，所述多孔状隔板用于对循环过滤装置吸入的溶液进行过滤。
[0012]在本实用新型的一个优选实施例中，所述反应槽体的下方设置一镀铜液回收槽，所述镀铜液回收槽上设置有第一排液管和第二排液管，该第一排液管连接有化学镀铜溶液承接槽，第二排液管连接有反应槽体的主槽，
[0013]还包括一镀铜液储存槽，所述镀铜液储存槽和所述镀铜液回收槽通过第三排液管连通；所述镀铜液储存槽通过第四排液管连接有反应槽体的附槽，
[0014]上述第一排液管，第二排液管，第三排液管以及第四排液管上均设置有阀门，且所述第三排液管和第四排液管上还设置有液流泵。
[0015]在本实用新型的一个优选实施例中，所述镀铜液储存槽下方还设置一废液回收槽，该废液回收槽正对于镀铜液储存槽的出料口，且镀铜液储存槽上方还设置有加料口。
[0016]通过上述技术方案，本实用新型的有益效果是:
[0017]本实用新型利用超声波发生器并结合喷淋清洗装置，使得在利用很少酸性溶液的基础上，能迅速清洗反应槽，具有结构简单，使用方便的特点，
【专利附图】
【附图说明】
[0018]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0020]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
[0021]参照图1，一种改进型化学镀铜装置，包括:
[0022]一反应槽体100，该反应槽体100包括相互独立设置的主槽110和附槽120，主槽110与附槽120之间通过一安装有过滤网140的隔板130分割开来，该过滤网140位于隔板130上部，化学镀铜溶液经过滤网140流进或流出主槽110 ；
[0023]该主槽口与所述附槽口处均设置一多孔状隔板150，所述多孔状隔板150用于对循环过滤装置吸入的溶液进行过滤；隔板130将主槽110和附槽120间隔开，将加热装置安装于附槽中，可以有效避免由于局部过热而在主槽中所产生的铜颗粒，进而沉积在铜层表面而广生不良。有效提闻了的广品外观和性能；
[0024]而且由于附槽的设置，可实现在化学镀的同时完成药水补加，使得生产连续性加强，生产效率得到提升。
[0025]还包括一加热器160，所述加热器160连接若干个相互平行排布的加热管170，所述加热管170位于附槽120底部；
[0026]所述主槽110两侧滑动设置一超声波换能器200，所述超声波换能器200连接一超声波发生器210,
[0027]超声波清洗的机理是利用超声波在清洗液中传播时的空化、辐射压、声流等物理效应，对清洗件上的污物产生的机械起剥落作用，同时能促进清洗液与污物发生化学反应，达到清洗物件的目的；
[0028]在镀铜完毕之后，首先打开超声波发生器以及超声波换能器，将超声波发生器与超声波换能器结合起来使用，超声波发生器发出频率范围在10?50KHZ的超音频电能，经超声波换能器转换成高频机械振荡而传入主槽中液体中，对附着于主槽上的污垢进行预处理；预处理完毕之后的镀铜液进入回收系统中，
[0029]其中回收系统包括设置反应槽体的下方的镀铜液回收槽400，所述镀铜液回收槽400上设置有第一排液管401和第二排液管402,该第二排液管402连接有反应槽体的主槽110,
[0030]还包括一镀铜液储存槽410，所述镀铜液储存槽410和所述镀铜液回收槽400通过第三排液管403连通；所述镀铜液储存槽410通过第四排液管404连接有反应槽体的附槽120,
[0031]上述第一排液管401，第二排液管402，第三排液管403以及第四排液管404上均设置有阀门405，且所述第三排液管403和第四排液管404上还设置有液流泵406。
[0032]上述镀铜液储存槽下方还设置一废液回收槽420，该废液回收槽420正对于镀铜液储存槽410的出料口 412 ;且镀铜液储存槽410上方还设置有加料口 411。
[0033]上述主槽的上方还设置一气泵300，一气泵通过管路330连接的酸液槽310，以及一与所述管路330连接的若干个高压喷头320，所述高压喷头320设置于主槽的上端，且高压喷头320均朝向主槽底部。
[0034]高压喷头与气泵和酸液槽连接，利用气泵产生的高气压使高压喷头内的酸液雾化并对主槽内表面进行清洗，酸液雾化后，对主槽内表面进行清洗处理；该操作对主槽内的污垢进行了二次处理，经过上述预处理之后，会用极少量的酸液对主槽进行清洗，提高了处理效率,也节约了酸液和成本。
[0035]以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【权利要求】
1.一种改进型化学镀铜装置，其特征在于，包括: 一反应槽体，所述反应槽体包括相互独立设置的主槽和附槽，所述主槽与所述附槽之间通过一安装有过滤网的隔板分割开来，所述过滤网位于隔板上部，加工溶液经过滤网流进或流出主槽； 所述主槽两侧滑动设置一超声波换能器，所述超声波换能器连接一超声波发生器， 所述主槽的上方还设置一气泵，一气泵通过管路连接的酸液槽，以及一与所述管路连接的若干个高压喷头，所述高压喷头设置于主槽的上端，且高压喷头均朝向主槽底部。
2.根据权利要求1所述的一种改进型化学镀铜装置，其特征在于:所述主槽口与所述附槽口处均设置一多孔状隔板，所述多孔状隔板用于对循环过滤装置吸入的溶液进行过滤。
3.根据权利要求1所述的一种改进型化学镀铜装置，其特征在于:所述反应槽体的下方设置一镀铜液回收槽，所述镀铜液回收槽上设置有第一排液管和第二排液管，该第一排液管连接有化学镀铜溶液承接槽，第二排液管连接有反应槽体的主槽， 还包括一镀铜液储存槽，所述镀铜液储存槽和所述镀铜液回收槽通过第三排液管连通；所述镀铜液储存槽通过第四排液管连接有反应槽体的附槽， 上述第一排液管，第二排液管，第三排液管以及第四排液管上均设置有阀门，且所述第三排液管和第四排液管上还设置有液流泵。
4.根据权利要求3所述的一种改进型化学镀铜装置，其特征在于:所述镀铜液储存槽下方还设置一废液回收槽，该废液回收槽正对于镀铜液储存槽的出料口，且镀铜液储存槽上方还设置有加料口。
【文档编号】C23C18/38GK203855648SQ201420209006
【公开日】2014年10月1日 申请日期:2014年4月25日 优先权日:2014年4月25日
【发明者】王兴平, 张代琼, 朱中正 申请人:确信乐思化学（上海）有限公司