1.一种进气组件，设置在反应腔室内的顶部，且包括进气板，其特征在于，还包括间隔分布在所述进气板中的多个进气件，所述进气件采用绝缘材料制作，且与所述进气板可拆卸地连接；
在所述进气件中设置有进气孔，用以向所述反应腔室内输送工艺气体。
2.根据权利要求1所述的进气组件，其特征在于，所述进气孔包括由上而下依次设置的上孔和下孔，且二者同轴；
所述下孔的直径小于等离子体的鞘层厚度的两倍，所述下孔的深度小于所述下孔直径的七倍；
所述上孔的直径大于所述下孔的直径。
3.根据权利要求2所述的进气组件，其特征在于，在所述进气板中设置有多个沿其厚度贯穿的螺纹孔，且在各个进气件的外周壁上设置有外螺纹；
各个所述进气件通过所述外螺纹一一对应地与各个所述螺纹孔螺纹连接。
4.根据权利要求3所述的进气组件，其特征在于，在所述进气件的上表面，且与所述上孔相对应的位置处设置有拆装槽。
5.根据权利要求3所述的进气组件，其特征在于，在所述进气件的下表面，且与所述下孔相对应的位置处设置有拆装槽。
6.根据权利要求3所述的进气组件，其特征在于，所述进气件采用由螺柱和螺钉头组成的螺钉结构，且所述外螺纹设置在所述螺柱的外周壁上；
所述螺纹孔为沉头孔，且与所述螺钉结构相配合。
7.根据权利要求1所述的进气组件，其特征在于，所述多个进气件分布在所述进气板不同半径的圆周上，且同一圆周上的各个进气件均匀分布。
8.根据权利要求1所述的进气组件，其特征在于，所述进气件的下表面与所述进气板的下表面相平齐，所述进气件的上表面与所述进气板的上表面相平齐。
9.根据权利要求1所述的进气组件，其特征在于，所述进气组件还包括电极板，所述电极板设置在所述进气板上方，且与所述进气板之间形成匀流腔，并且在所述电极板上设置有进气口，用以向所述匀流腔输送工艺气体。
10.一种反应腔室，包括设置在其顶部的进气组件，用于向所述反应腔室的内部输送工艺气体，其特征在于，所述进气组件采用权利要求1-9任意一项所述的进气组件。