1.一种提高镀膜靶材利用率的方法，其特征在于，包括：
在靶材宽度方向上确定位于靶材上的控制节点，所述控制节点包括相对于靶材宽度方向上的中心线对称设置的第一内控制节点和第二内控制节点以及相对于靶材宽度方向上的中心线对称设置且分别位于第一内控制节点和第二内控制节点的外侧的第一外控制节点和第二外控制节点；
控制所述磁条在靶材上方从第一内控制节点出发在靶材宽度方向上进行周期性摇摆变速移动，在一个周期内，依次在第二外控制节点、第一外控制节点和第二内控制节点进行反向并最终返回第一内控制节点。
2.如权利要求1所述的提高镀膜靶材利用率的方法，其特征在于，磁条在一个摇摆变速移动周期中，首先从第一内控制节点以第一内加速时间从速度为零加速至预定速度并匀速向第二外控制节点移动，再以第二外减速时间从预定速度降至零到达第二外控制节点；然后，立即以第二外加速时间从速度为零加速至预定速度并匀速向第一外控制节点移动，再以第一外减速时间从预定速度降至零到达第一外控制节点；再次立即以第一外加速时间从速度为零加速至预定速度并匀速向第二内控制节点移动，再以第二内减速时间从预定速度降至零到达第二内控制节点；再次立即以第二内加速时间从速度为零加速至预定速度匀速向第一内控制节点移动，再以第一内减速时间从预定速度降至零到达第一内控制节点；完成一个循环周期。
3.如权利要求2所述的提高镀膜靶材利用率的方法，其特征在于，所述第一内加速时间和第一内减速时间相同，且取值范围为50~200ms。
4.如权利要求2所述的提高镀膜靶材利用率的方法，其特征在于，所述第二内加速时间和第二内减速时间相同，且取值范围为50~200ms。
5.如权利要求2所述的提高镀膜靶材利用率的方法，其特征在于，所述第一外加速时间和第一外减速时间相同，且取值范围为50~200ms。
6.如权利要求2所述的提高镀膜靶材利用率的方法，其特征在于，所述第二外加速时间和第二外减速时间相同，且取值范围为50~200ms。
7.如权利要求2所述的提高镀膜靶材利用率的方法，其特征在于，各匀速行程的预定速度相同，且取值范围为500~2000mm/min。
8.如权利要求1至6中任一项所述的提高镀膜靶材利用率的方法，其特征在于，所述第一内控制节点和第二内控制节至中心线的距离相同，且取值范围为5~20mm；第一外控制节点和第二外控制节至中心线相同，且取值范围为10~40mm。
9.如权利要求2所述的提高镀膜靶材利用率的方法，其特征在于，控制所述磁条在靶材上方从靶材宽度方向上的中心线上的初始位置移动至第一内控制节点处，然后再进行周期性摇摆变速移动。