用于金属层的蚀刻组合物的制作方法

技术总结
本发明提供用于金属层的蚀刻组合物，其包括：(a)过硫酸盐；(b)氟化合物；(c)无机酸；(d)4‑甲基噻唑；(e)氯化合物；(f)非金属硫酸盐；(g)噻吩化合物；(h)有机酸或其盐；和(i)水。

技术研发人员：鞠仁说;权玟廷;李钟文
受保护的技术使用者：东友精细化工有限公司
文档号码：201610624750
技术研发日：2016.08.02
技术公布日：2017.02.22