1.一种用于加工类金刚石涂层轴承的离子溅射镀层机，其特征在于，包括真空室、离子源、真空泵、加热器、离子中和器、移动镀膜靶和旋转基板支架；所述移动镀膜靶、所述旋转基板支架相对设置且均位于所述真空室内，所述旋转基板支架驱动待镀层轴承旋转运动且设置有用于固定所述待镀层轴承的镀膜夹具；所述移动镀膜靶包括用于驱动靶材相对所述旋转基板之间作往复运动的直线机构。
2.根据权利要求1所述的用于加工类金刚石涂层轴承的离子溅射镀层机，其特征在于，所述移动镀膜靶还包括用于放置靶材的靶材支架；所述靶材的两侧通过转轴设置在所述靶材支架的一端，所述靶材支架的另一端与所述直线运动机构连接。
3.一种基于权利要求1所述的离子溅射镀层机的类金刚石涂层轴承加工方法，其特征在于，包括以下步骤：
使用离子源对相对所述旋转基板作往复运动的由类金刚石材料制作而成的靶材进行轰击，将从所述移动镀膜靶溅射的靶材原子沉积在处于所述旋转运动的所述待镀层轴承表面形成涂层。
4.根据权利要求3所述的类金刚石涂层轴承加工方法，其特征在于，所述使用离子源相对所述旋转基板作往复运动的靶材进行轰击之前，还包括利用射频溅射仪对真空室进行预清洗。
5.根据权利要求3所述的类金刚石涂层轴承加工方法，其特征在于，在所述使用离子源对相对所述旋转基板作往复运动的由类金刚石材料制作而成的靶材进行轰击时，所述真空室内通入达到预设工作压力的工作气体，所述工作气体包括氩气、氪气、氮气、乙炔、甲烷、氢气中的任一气体。
6.根据权利要求5所述的类金刚石涂层轴承加工方法，其特征在于，所述工作气压为6.0～8.0Pa。
7.根据权利要求3所述的类金刚石涂层轴承加工方法，其特征在于，将从所述移动镀膜靶溅射的靶材原子沉积在处于所述旋转运动的所述待镀层轴承表面的时间为14～17min。
8.一种基于权利要求3～7任意一项所述的类金刚石涂层轴承加工方法的类金刚石涂层轴承，其特征在于，类金刚石涂层轴承表面形成有所述涂层。
9.根据权利要求8所述类金刚石涂层轴承，其特征在于，所述类金刚石涂层轴承包括轴承本体；所述轴承本体包括轴承内圈和轴承外圈，所述轴承内圈和所述轴承外圈之间设置有滚动体；所述轴承内圈与所述滚动体接触面、所述轴承外圈与所述滚动体接触面都设置有类金刚石涂层。
10.根据权利要求9所述的类金刚石涂层轴承，其特征在于，所述金刚石涂层的厚度为0.5～0.8μm。