一种新型金刚线多晶硅片表面喷砂粗糙方法与流程

文档序号:11119626阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种新型金刚线多晶硅片表面喷砂粗糙方法,其特征为,其方法如下:

(1) 将多晶硅锭通过金刚线切片机,切割成多晶硅片;

(2)将多晶硅片预清洗,清除多晶硅片表面残留物,随后将多晶硅片烘干;

(3)将烘干后的多晶硅片至于喷砂流水线,进行喷砂粗糙处理,将碳化硅均匀喷涂于多晶硅片表面,使多晶硅片表面形成厚度为2um~6um的单面粗糙面;

(4)对喷砂粗糙处理后的多晶硅片进行化学清洗,清除多晶硅片表面金属离子残留,随后将多晶硅片烘干;

(5)将经步骤(4)的多晶硅片至于自动分选机上进行自动检测硅片表面质量,将表面无穿孔、边缘和表面无破损的多晶硅筛选出进行储存。

2.如权利要求1所述的一种新型金刚线多晶硅片表面喷砂粗糙方法,其特征为,所述烘干温度为100~120℃,烘干时间为30~40min。

3.如权利要求1所述的一种新型金刚线多晶硅片表面喷砂粗糙方法,其特征为,所述喷砂流水线包括转盘工作台、喷砂机构和精密过滤器,所述转盘工作台上设有若干漏孔,所述转盘工作台底部设有碳化硅回收室,所述碳化硅回收室与精密过滤器之间设有导料管,所述传送带顶部设有负压吸附装置,所述喷砂机构包括若干喷砂管和输料管,所述输料管分别与若干喷砂管和精密过滤器相连,所述输料管上设有气砂混合器,若干喷砂管上均设有若干导管,所述导管上设有喷头和偏心轮机构,所述喷头与转盘工作台垂直,且距离多晶硅片表面20mm,所述喷砂机构外设有护罩,所述护罩与碳化硅回收室位置对应设置。

4.如权利要求3所述的一种新型金刚线多晶硅片表面喷砂粗糙方法,其特征为,所述漏孔直径为3mm。

5.如权利要求3所述的一种新型金刚线多晶硅片表面喷砂粗糙方法,其特征为,所述负压吸附装置包括真空吸盘、吸气管和吸风机,所述吸气管一端穿过转盘工作台与真空吸盘相连,另一端与吸风机相连。

6.如权利要求3所述的一种新型金刚线多晶硅片表面喷砂粗糙方法,其特征为,所述偏心轮机构包括偏心轮、连杆和往复轨道,所述偏心轮上设有转轴,所述转轴连接电动机,电动机带动转轴使偏心轮以150r/min速度旋转,所述往复轨道两端与护罩相连,所述往复轨道上设有支架,所述支架与导管相连,所述所述连杆分别与偏心轮和支架相连。

7.如权利要求1所述的一种新型金刚线多晶硅片表面喷砂粗糙方法,其特征为,所述碳化硅粒径为6.7 um ~10.2um,碳化硅颗粒整体离散系数<23%。

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