薄膜形成装置及使用其制造显示设备的方法与流程

技术特征：

技术总结
提供了制造显示设备的方法和薄膜形成装置。制造显示设备的方法包括：制备包括炉缸和前散热器的薄膜形成装置，炉缸存储用于形成薄膜的源材料，前散热器布置在炉缸上并且包括反射板，其中，反射板包括具有第一反射率的第一表面和具有第二反射率的第二表面，第二反射率与第一反射率不同；以及通过蒸发薄膜形成装置的源材料，在衬底上形成薄膜。

技术研发人员：罗兴烈;金东昱;薛在完;郑成镐
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：2016.11.29
技术公布日：2017.09.15