1.一种刀具复合涂层的制备方法,包括以下步骤:
A),将清洗后的刀具装夹在高功率脉冲磁控溅射仪的工件架上,抽真空,高功率脉冲磁控溅射仪腔体的真空度高于(1~5)×10-3Pa时开启加热器至温度为300~500℃,工件架的转速为2~5rpm,当真空度为(1.2~5.5)×10-3Pa时,调节电加热器至温度为200~400℃;
B),在高功率脉冲磁控溅射仪的腔体中通入惰性气体,开启偏压电源对刀具进行辉光清洗,真空度为0.3~0.9Pa,偏压为800~1200V;
C),辉光清洗结束后将高功率脉冲磁控溅射仪腔体的真空调节为(1~9)×10-1Pa,开启高功率脉冲磁控溅射电源溅射钛靶,轰击刀具基体生长Ti金属结合层,偏压为500~1000V,占空比3~5%;
D),轰击完毕后,偏压降至50~400V,脉冲电源占空比为3%,打开氮气流量计阀门调节真空室气压为0.6~0.7Pa,控制TiSi靶材的功率为1~3KW,峰值脉冲电压为800~1000V,开始沉积TiN过渡层和TiSiN功能层,沉积60~100min,冷却后得到刀具复合涂层。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述刀具的基体材质为硬质合金基体、不锈钢、高速钢或工具钢。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤B)中,所述辉光清洗的时间为10~30min。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤C)中,所述刀具轰击的时间为5~40min。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤C)中,所述Ti金属结合层的厚度为60~300nm,所述TiN过渡层的厚度为60~300nm。
6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,步骤C)中,所述Ti金属结合层的厚度为100~200nm,所述TiN过渡层的厚度为100~200nm。
7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述惰性气体为氩气。
8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤A)中,开启加热器至温度为400~450℃。
9.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤C)中,所述偏压为600~800V。
10.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤D)中,所述冷却的温度为50℃以下。