技术总结
本发明公开了一种工作效率较高的用于石墨舟设备的硅片取放装置。该用于石墨舟设备的硅片取放装置,包括支架,所述支架上设置有托架,所述托架用于放置石墨舟,所述托架上方设置有用于取放硅片的机械手,所述支架上通过可拆卸装置固定有硅片上料盒与硅片下料盒,该用于石墨舟设备的硅片取放装置在工作时,只需将石墨舟放置在托架的指定位置,然后利用机械手将硅片上料盒内的硅片取出后放入石墨舟内或将石墨舟内的硅片取出后放入硅片下料盒内,可以实现生产的机械化和自动化,取缔人工单调、繁复的体力劳动,大大降低了工人的劳动强度,而且每次取出和放入的硅片数量较多,大大提高了工作效率。适合在硅片加工设备领域推广应用。
技术研发人员:陈五奎;刘强;冯加保;耿荣军;任超
受保护的技术使用者:乐山新天源太阳能科技有限公司
文档号码:201611159455
技术研发日:2016.12.15
技术公布日:2017.02.22