一种微纳米马达及其制备方法与流程

文档序号:12415644阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种微纳米马达的制备方法,其特征在于,包括如下具体步骤:

A、准备衬底:将基片切割成所需尺寸,清洗备用;

B、制备单层二氧化硅小球:向培养皿中注水,将二氧化硅小球溶液逐滴滴入水表面;待水面上形成薄膜后,用水替换悬浮的二氧化硅小球溶液;待替换完成后,将基片放入水底,抽干培养皿中的水,得到带有单层二氧化硅小球的基片,并晾干备用;

C、制备纳米棒:采用倾斜角沉积技术,使用电子束蒸发镀膜设备,在气压小于1×10-6托的真空沉积室中,在单层二氧化硅小球基片上沉积二氧化钛或镍,且材料蒸汽入射方向与样品台法线夹角大于70°,形成长度约为3.5μm、直径约为500nm的二氧化钛或镍纳米棒;

D、沉积金属膜层:采用倾斜角沉积技术,使用电子束蒸发镀膜设备,在气压小于1×10-6托的真空沉积室中,在二氧化钛或镍纳米棒一侧蒸镀金属铂,且材料蒸汽入射方向与样品台法线夹角为0°,形成厚度约为150nm的铂膜层,最终制得微纳米马达。

2.根据权利要求1所述的一种微纳米马达的制备方法,其特征在于,步骤A中,所述的基片采用玻璃片或硅片。

3.根据权利要求1或2所述的一种微纳米马达的制备方法,其特征在于,步骤A中,所述的清洗基片包括如下步骤:先超声清洗5 min,然后用去离子水、双氧水、氢氧化铵按体积比5:1:1配置的溶液进行清洗,再用去离子水清洗5-10次,最后用氮气吹干。

4.根据权利要求1所述的一种微纳米马达的制备方法,其特征在于,步骤B中,所述的培养皿在使用前先超声清洗5分钟,然后依次用丙酮、酒精、去离子水进行超声清洗,再用去离子水冲洗,最后用氮气吹干。

5.根据权利要求1或4所述的一种微纳米马达的制备方法,其特征在于,步骤B中,所述的二氧化硅小球溶液的制备包括如下步骤:先将直径为150-2000nm的二氧化硅小球超声清洗5 min,置于离心管中,加去离子水稀释成溶液,利用涡旋振荡器将溶液摇匀;然后向离心管中加入不小于溶液水量的高纯水,继续离心清洗,并通过不断地添加和移除高纯水,反复离心3次;最后加入酒精,制成质量百分比浓度为0.08%-2.24%的二氧化硅小球溶液。

6.根据权利要求1或4所述的一种微纳米马达的制备方法,其特征在于,步骤B中,使用注射器将二氧化硅小球溶液逐滴滴入水表面,注射速率为0.009-0.011 mL/min,且使弯成90°的注射器针头靠近培养皿边缘。

7.根据权利要求1或4所述的一种微纳米马达的制备方法,其特征在于,步骤B中,所述的替换包括如下步骤:将特氟龙环置于薄膜之上,利用注射泵进行注水,使水位升高,再用蠕动泵同时进行注水和排水操作,将薄膜以下悬浮在溶液中的二氧化硅小球溶液用超纯水替换。

8.根据权利要求1所述的一种微纳米马达的制备方法,其特征在于,步骤C中,沉积速度为0.5 nm/s。

9.根据权利要求1所述的一种微纳米马达的制备方法,其特征在于,步骤D中,沉积速度为0.5 nm/s。

10.一种利用权利要求1-8任一项所述方法制备的微纳米马达。

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