技术总结
本发明提供了一种碳化硅沉积设备的进气装置，包括MTS储液罐、混合罐和缓冲罐，MTS储液罐上设有氢气输入管道，氢气输入管道开口伸入到MTS液位下方，MTS储液罐的顶部还设有储液罐排气口，储液罐排气口通过第一管道与混合罐的第一进气口相连，混合罐还设有第二进气口，第二进气口用于输入氩气，混合罐设有混合罐排气口，混合罐排气口通过第二管道与缓冲罐的进气口相连，缓冲罐设有缓冲罐排气口，缓冲罐排气口通过第三管道与碳化硅沉积设备的炉体相连。本发明的进气装置，设置混合罐和缓冲罐，工艺气体经过两个罐体之后可以减小压力波动，气体的压力也更容易控制。
技术研发人员：戴煜;胡祥龙;周岳兵
受保护的技术使用者：湖南顶立科技有限公司
文档号码：201611177540
技术研发日：2016.12.19
技术公布日：2017.02.22