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高效率抛光垫刻整与梳理装置的制作方法
文档序号:11963431
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来源:国知局
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高效率抛光垫刻整与梳理装置的制作方法
技术总结
本实用新型公开一种高效率抛光垫刻整与梳理装置,包含:一载盘;以及一刻整层;该刻整层具有复数个交错设置的凹沟以及复数个凸部,该凹沟具有一致的深度与宽度,该凸部具有一致的高度与宽度。本实用新型的高效率抛光垫刻整与梳理装置可以提供高效率的刻整与梳理作用。
技术研发人员:
张永尧
受保护的技术使用者:
张永尧
文档号码:
201620484203
技术研发日:
2016.05.25
技术公布日:
2016.12.07
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