一种磁控溅射镀膜原膜基带卷绕抻平辊的制作方法

文档序号:11974923阅读:来源:国知局
技术总结
本技术涉及磁控溅射镀膜领域,提供一种磁控溅射镀膜原膜基带卷绕抻平辊,用于在柔性、卷绕式、连续型磁控溅射镀膜作业过程中中卷绕基带,并在卷绕基带时对基带在幅宽方向上抻平;一种磁控溅射镀膜原膜基带卷绕抻平辊,包括辊轴,辊轴由硬质材料制成;辊轴呈两端细中间粗的鼓形;辊轴外表面中截面圆的直径大于辊轴外表面端面圆的直径;在辊轴外表面上还设置有关于辊轴中截面对称的螺旋凹槽。

技术研发人员:王鲁南;杜杰;朱丽萍;叶智镇;李锺允;朴勝一;全武贤;朴翰镇;王建华;窦立峰
受保护的技术使用者:南京汇金锦元光电材料有限公司
文档号码:201620536419
技术研发日:2016.06.02
技术公布日:2016.12.07

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