用于薄膜太阳能电池镀膜的掩膜板的制作方法

文档序号:12430805阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于薄膜太阳能电池镀膜的掩膜板,包括外框(1)和位于外框(1)中的若干分隔板(2),外框(1)和分隔板(2)将掩膜板分隔成若干个格子(3),每个格子(3)有四条边(4),每个格子(3)内有若干个长条结构的镀膜区域(5),其特征在于,所述分隔板(2)为离散式结构,以使得所述每个格子(3)的四条边(4)中,至少有一条具有缺口。

2.根据权利要求1所述用于薄膜太阳能电池镀膜的掩膜板,其特征在于,所述分隔板(2)为单段结构,即,在一条边(4)上仅有一段分隔板(2)。

3.根据权利要求2所述用于薄膜太阳能电池镀膜的掩膜板,其特征在于,所述的一段分隔板(2)位于相应的边(4)的中间位置。

4.根据权利要求1所述用于薄膜太阳能电池镀膜的掩膜板,其特征在于,所述分隔板(2)为两段结构,即,在一条边(4)上有两段分隔板(2)。

5.根据权利要求4所述用于薄膜太阳能电池镀膜的掩膜板,其特征在于,所述两段分隔板(2)之间的空隙,位于相应的边(4)的正中间位置。

6.根据权利要求1所述用于薄膜太阳能电池镀膜的掩膜板,其特征在于,所述分隔板(2)为多段结构,即,在一条边(4)上有多段分隔板(2)。

7.根据权利要求1所述用于薄膜太阳能电池镀膜的掩膜板,其特征在于,所述分隔板(2)为单段和多段复合结构,即,一部分分隔板(2)为单段结构,在一条边(4)上有一段分隔板(2);另一部分分隔板(2)为多段结构,在一条边(4)上有多段分隔板(2)。

8.根据权利要求1所述用于薄膜太阳能电池镀膜的掩膜板,其特征在于,所述分隔板(2)互不连接,且与外框(1)也不连接。

9.根据权利要求1所述用于薄膜太阳能电池镀膜的掩膜板,其特征在于,所述每个格子(3)的至少一个顶点位置有缺口,以容纳顶角有凸角的基片。

10.根据权利要求1所述用于薄膜太阳能电池镀膜的掩膜板,其特征在于,所述格子(3)内除镀膜区域(5)外,其它部分被掩模板遮挡。

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