一种一体式硅片精细抛光机的制作方法

文档序号:12753652阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种一体式硅片精细抛光机,包括机体(1)、第一电机(2)、主动齿轮(3)、从动齿轮(4)、第一曲柄(5)、槽轮(6)、抛光液箱(7)、第二曲柄(8)、弹簧罩(9)、弹簧(10)、固定块(11)、第一液管(12)、第一喷头(13)、精抛砂轮(14)、二级带轮(15)、二级传动带(16)、一级带轮(17)、一级传动带(18)、主动带轮(19)、第二电机(20)、粗抛砂轮(21)、第二喷头(22)、第二液管(23);其特征在于:机体(1)与第二电机(20)固定连接,第二电机(20)与主动带轮(19)固定连接,主动带轮(19)通过一级传动带(18)与一级带轮(17)连接,一级带轮(17)通过二级传动带(16)与二级带轮(15)连接,二级带轮(15)与精抛砂轮(14)同轴连接,一级带轮(17)与粗抛砂轮(21)同轴连接,第一电机(2)与主动齿轮(3)同轴连接,主动齿轮(3)与从动齿轮(4)通过啮合连接,从动齿轮(4)与第一曲柄(5)固定连接,第一曲柄(5)与槽轮(6)连接,槽轮(6)与第二曲柄(8)固定连接,第二曲柄(8)与弹簧罩(9)固定连接,弹簧罩(9)内部设有弹簧(10),弹簧(10)与固定块(11)连接,抛光液箱(7)通过第一液管(12)与第一喷头(13)连通,抛光液箱(7)通过第二液管(23)与第二喷头(22)连通。

2.根据权利要求1所述的一种一体式硅片精细抛光机,其特征在于:一级带轮(17)与二级带轮(15)的半径之比为3:1。

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