技术总结
本实用新型公开了一种MCrALY专用超厚膜电弧靶，所述阴极体的上方设置有靶材，所述阴极体的两侧安装有调整螺母，所述调整螺母的下方安装有螺母座，所述阴极体的两侧在调整螺母的上方设置有阴极体密封胶圈，所述水管与阴极体的相接处设置有水管密封胶圈，所述水管的两侧安装有绝缘套Ⅳ，所述绝缘套Ⅳ的上方设置有连接座，所述连接座的下方安装有绝缘套Ⅰ，所述绝缘套Ⅳ套设在靶座上，所述靶座的下方设置有调整手柄，所述水管的底部安装有快接水嘴，所述水管的上方设置有辐阳，所述水管的右侧安装有绝缘套Ⅱ，所述调整螺母与水管的连接处设置有端面密封胶圈，所述螺母座通过连接板与水管固定连接，所述连接座的下方通过垫固定连接有绝缘套Ⅲ。
技术研发人员：侯玉萍;刘洋
受保护的技术使用者：大连维钛克科技股份有限公司
文档号码：201620751968
技术研发日：2016.07.18
技术公布日：2016.12.28